MNOIC/TIA

2017年3月23日 (木)

MNOIC(マイクロナノオープンイノベーションセンター)の活動状況

 MNOICはTIAのMEMSオープンプラットフォーム拠点として、産総研集積マイクロシステム研究センター、筑波大学と連携して、MEMS研究の知の蓄積とMEMS試作ファンドリー活動などを幅広く行っております。事業開始後6年がほぼ経過し、この間産業界、大学等から強いニーズに加え、幅広い支持が得られております。ここではMNOICの2016年度活動状況をご報告致します。

1. 工程受託コースの増加
  産総研共用施設等利用制度を利用した工程受託コースのご利用は、
 開始した2014年度の4件から2015年度は26件、2016年度31件と順
 調に増加しています。

2.技術ノウハウの蓄積
 1)品質管理、工程管理活動
   6年間における活動の中で、品質管理、工程管理マニュアルの
   整備完了
 2)国プロ研究開発参画による新技術の蓄積  
  ・道路インフラ(RIMS):高耐久性パッケージ技術
  ・ライフラインコア(UCoMS):圧電薄膜プロセス技術
  ・IoTオープンイノベーション:段差基板上のポリイミド平坦化技術

3.人材育成・国際交流活動
 1)TIA連携大学院
  <MNOIC実習講座>
  「インフラおよび産業機器モニタに利用可能な、MEMSセンサの
   回路・システム実習」
 2)TIA-CuPAL
   (科学技術人材育成)「ナノテクキャリアアップアライアンス」
    への協力
 3)MEMS短期コース
   (タイ留学生研修)「さくらサイエンスプラン」への協力
 
4.広報・普及活動
 ・「MEMS センシング&ネットワークシステム展 2016」出展
                 2016/9/14-16(パシフィコ横浜)
  http://www.nanomicro.biz/mems/2016/09/2016916-4c83.html

 ・「センサエキスポジャパン2016」ポスター展示 
                2016/9/28-30(東京ビッグサイト)


         写真1 センサエキスポジャパン2016

 ・「TIAシンポジウム」ポスター展示 
                  2016/10/11(イイノホール)


            写真2 TIAシンポジウム

 ・「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 出展
            2016/10/24-26(長崎県平戸文化センター)
  http://www.nanomicro.biz/mems/2016/10/mnoic-1c7f.html

 ・「nano tech 2017」ポスター展示 
                2017/2/15-17(東京ビッグサイト)


           写真3 nanotech2017

 ・「微細加工ナノプラットフォームシンポジウム」ポスター展示
                   2017/3/8(東大武田先端知)
  http://www.nanomicro.biz/mems/tianmems/index.html

| | コメント (0)

2017年3月 9日 (木)

「微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム シンポジウム」でMNOICを紹介

 MEMS、ナノテク、微細加工技術の情報発信と関係者の交流を目的に、文部科学省の委託事業である微細加工ナノプラットフォームについてのシンポジウムが本年3月8日(水)、東京大学 浅野キャンパス 武田先端知ビル武田ホールにて開催されました。昨年に引き続きこのシンポジウムに一般財団法人マイクロマシンセンターからMNOIC(マイクロナノ・オープンイノベーションセンター)の概要とサービスの内容についてポスター展示致しましたのでご報告します。

 この微細加工ナノプラットフォームシンポジウムは、最先端のナノテクノロジーの研究開発動向と、微細加工ナノプラットフォームを活用し産学官の緊密な協力の下で生まれた技術開発の成功事例、ならびに現在開発を進めている企業の生の声などを紹介するもので、100名を超える参加者でほぼ満席の中、開催されました。冒頭、本プラットフォームコンソーシアムの代表機関である京都大学の運営責任者、小寺秀俊教授から、開始から5年を経過し、大学等の施設の共用と蓄積された知により企業の新技術開発、課題解決を支援し、順調に利用件数が増加していることが報告されました(写真1)。

 次に、文部科学省研究振興局岡村直子参事官の来賓挨拶では、政府の総合科学技術・イノベーション会議で検討され、その後2016年1月に閣議決定されたSociety 5.0における科学技術政策に乗った試みであるとのコメントがありました。続いて、総合科学技術イノベーション会議 原山優子議員の基調講演「微細加工プラットフォームのポテンシャルを探る」の中で、MEMS発展の事例紹介的な講演がありました。

 その後特別講演として、リコー未来技術研究所山口高司顧問技師長の「リコーのナノテクノロジーを活用した新規事業への挑戦」と、産総研の原史朗ミニマルシステムグループ長から「研究->開発->生産を一体化加速する超小型デバイス製造システム・ミニマルファブ」の2件の講演ありました。

 休憩後、微細加工ナノプラットフォームの利用事例として、リオン株式会社 伊藤平 氏による 「シリコンエレクトレットマイクロホンの開発」と 獨協医科大学 清水理葉 医師から、「新しいEx vivo微小血管モデルの作成」の報告がありました。2件とも、実施者はMEMSの専門外ながらも、このプラットフォームの支援機関の強力なサポートを得て、新規なデバイス作製に成功しており、異分野融合によるイノベーションの創出モデルとして注目されます。講演会の最後に「マテリアルズインフォマティクスにおける材料データベース」と題し、情報統合型 物質・材料イニシアティブ 伊藤聡 氏の報告がありました。
 
 講演会終了後は、ポスターセッションと意見交換会が武田ホールホワイエで開かれました(写真2)。ポスター展示には、微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム16機関に加え、協賛機関7機関、協力機関3機関もセッションに参加し、各機関の特色に重きを置いた説明が各所で行われました。MNOICでは、微細加工ナノプラットフォームで開発された成果の技術移転先として注目されており、いくつかの実用化研究やサンプル作製の打診を受けました。MNOICの特色である、サンプル販売も可能なことを活かし、本コンソーシアムとの連携をさらに強化することで、研究開発から商品開発までのリードタイムを短縮し、我が国の産業競争力強化につながる活動を継続してまいります。



写真1


写真2

| | コメント (0)

2016年10月26日 (水)

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムにMNOICを出展・報告

 センサやMEMS関係の国内最大のシンポジウムである第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(以下センサシンポと略します)が本年10月24日(月)~26日(水)、長崎県平戸市の平戸文化センターで開催されました。このシンポジウムに一般財団法人マイクロマシンセンターからMNOIC(マイクロナノ・オープンイノベーションセンター)の概要とサービスの内容について展示しましたので紹介いたします。

 平戸市は、九州本土の西北端、平戸瀬戸を隔てて南北に細長く横たわっている平戸島と、その周辺に点在する大小およそ40の島々から構成されており、北は玄界灘、西は東シナ海を望んでいます。平戸文化センターは、2000席収容の大ホールや体育館、いくつかの会議室がある本格的施設であり、参加者数は500人超と、決して交通アクセスが良いとは言えない九州の島で開催されたことを考えると、盛況であったといえます。今回のセンサシンポは「Future Technologies from HIRADO 」と題し、電気学会・E部門の部門大会であるとともに、応用物理学会集積化 MEMS 技術研究会主催「集積化 MEMS シンポジウム」が同時開催され、更に、10月24日(月)に2学会共催で,開催地にちなんだシンポジウムとして「日本・台湾国際交流シンポジウム」を開催されました。平戸市は、台湾の英雄「鄭成功(チェンチェンコウ)」の生誕地で、台湾では孫文、蒋介石とならぶ「三人の国神」の一人として尊敬されています。 また、台湾はファンドリメーカが集約し、集積化MEMS技術の研究開発も活発であるため、日台国際交流シンポ開催に至ったそうです。

 まず、「夢 持ち続け日々精進」と題し、株式会社 A and Live 代表取締役、というよりもジャパネットたかた前社長の髙田明氏(平戸市出身)の、学会の基調講演としては異色の講演がありました。講演の演題通り「夢を持ち続け、日々精進」することの大切さを強く訴えるもので「1つの目標を達成するときには、妥協はダメ。その覚悟が絶対に人生にはいる。」は、研究開発にも通じる言葉として印象に残りました。他の基調講演は「CMOSとMEMSの融合が創造する次なるIoT」 National Tsing Hua University(台湾)Weileun Fang氏、「味と匂いを測るセンサの開発」 九州大学教授 都甲潔氏、「医師がシリコンを処方する未来-新しいヘルスケアシステムの幕開け」 Imec(ベルギー)Chris Van Hoof氏 、「昆虫撮影における工夫と電子技術の応用」 栗林自然科学写真研究所 栗林 慧氏、「加速度センサを用いたパーキンソン病の早期診断と歩行支援」 東京工業大学教授 三宅美博氏の4講演が行われました。

  MNOICについては、10/24に技術プレゼンテーション(写真1)と会期中を通して技術展示を行いました(写真2)。全国的にはかなりMNOICの知名度は浸透していますが、九州地区のいくつかの企業や公設試には初めて存在を知る方々もおられ、サービス内容や、試作実績や価格、納期について詳細な問い合わせを受けました。

Photo_3

                  写真1

Photo_4

                  写真2

 今、社会経済にインターネット出現以上に衝撃を与えつつあるIoTですが、特に今後のIoTデバイスには、多機能かつ小型、低消費電力等が求められるので、MEMSへのニーズが大きく高まることは明らかです。この分野でMNOICのサービスの実力をさらに向上させ、オープンイノベーションを推進し、我が国のIoTデバイスをはじめとする産業の発展に貢献していきます。

               (MEMS協議会 渡辺 秀明)

| | コメント (0)

2016年8月30日 (火)

2016MNOIC実習講座「インフラおよび産業機器モニタに利用可能な、MEMSセンサの回路・システム実習」の実施

 一般財団法人マイクロマシンセンター・MEMS協議会では、MEMS・マイクロナノ領域における産業推進の一環として、国立研究開発法人産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センターの研究施設を用いた研究支援サービスであるMNOIC(Micro Nano Open Innovation  Center)事業を実施しています。また、これらの研究施設を使ったMNOIC実習セミナーをTIAサマーセミナーの一環として夏季に実施し、好評を頂いています。
 昨今、「インダストリー4.0」や「Industrial Internet Consortium」などの産業の新たな方向を目指す動きが活発になるにつれ、その根幹をなすIoT(Internet of Things)がさらに脚光を浴びております。そこで今回は、2016年8月25日(木)と26日(金)の2日間にわたり、「インフラおよび産業機器モニタに利用可能な、MEMSセンサの回路・システム実習」という題目のもと、IoTの重要な構成要素であるセンサとマイコン及び無線が一体化したセンサ端末モジュールで世界標準であるArduinoの実習会を開催しました。

写真1 産総研廣島洋集積マイクロシステム研究センター長(左)による開講の挨拶

 先ず事務局からオリエンテーション、引き続いてArduinoの基本を萬代講師より説明後、Arduinoを用いて、温度、光量を計測して、マイコンで処理し、LEDの点灯、LEDの光量制御、パソコンでの制御やパソコンの表示装置への出力、液晶表示装置(LCD)への表示と言う、最も基本的な動作の実習を行いました。

写真2 Van Technoの萬代講師による講演風景

 2日目の実習では、マイコンボード、ブレッドボード、センサの実装や配線、実際のC言語を使ったプログラミングを行いました。
 また、これらの実習で得たスキルを用いて、受講者ご自身がMEMS加速度センサを用いて配線、プログラムを作成し、振動状態をパソコンに表示する振動モニタシステムを構成しました。受講者全員が加速度センサの動作を確認できた際には、自然と受講者より喝采が沸き起こりました。

写真3 今回の実習に使ったArduino Unoマイコンボード(左)と、センサ端末ブレッドボード:BB-801(右)の組み立て例。 BB上は実装されたLCDやLED、抵抗等。
写真4 今回使用したKionix社MEMS3軸加速度センサモジュール KXSC7-2050

 更に、この振動状態をLEDにPWM手法を用いてその強弱で表示するプログラミングにも挑戦し、見事成功した受講者も出ました。

写真5 萬代講師(中央)や三原講師(右)を交えた実習風景

 実習時に購入して頂きました教材はもちろん持ち帰ることが出来て、更なるスキルアップが可能となっています。一日目のセミナーの後、交流会にて「IoTの実際を体験できる貴重なセミナー」などのお言葉を受講者様より頂けたことは、開催者冥利に尽きました。また、実習の閉会にあたり受講者の感想をお聞きしましたが、全体的には大変好評で、初めてさわったArduinoを使い各種センサの動作確認まで行えたその実習内容に満足していただけました。今回はArduinoを使った実習でしたが、さらにRaspberry Piなど他の端末実習も要望される受講者もおり、今後の検討課題としたいと思います。
                (産業交流部 松本一哉)

| | コメント (0)

2016年7月 1日 (金)

MNOIC実習講座のご案内

2016MNOIC実習講座「インフラおよび産業機器モニタに利用可能な、MEMSセンサの回路・システム実習」
 
主催:一般財団法人マイクロマシンセンター MNOIC事業
日時:2016年 8月 25日(木)13:30から26日(金)16:30まで
場所:産業技術総合研究所つくば東事業所 4G棟(NMEMSイノベーション棟)会議室

 一般財団法人マイクロマシンセンター・MEMS協議会は、TIAの掲げるオープンイノベーションの一つ、MEMS・マイクロナノ領域における産業推進の一環として国立研究開発法人・産業技術総合研究所・集積マイクロシステム研究センターの研究施設を用いた研究支援を行うMNOIC(マイクロナノ・オープンイノベーションセンター)事業を実施しています。また、これらの研究施設を使ったMNOIC実習セミナーをTIAサマーセミナーの一環として夏季に実施し、好評を頂いています。特に最近のIoT(Internet of Things)の大きな流れを受けて、センサとマイコン、無線が一体化したセンサ端末モジュールと、その利用方法に関する注目が一気に広がっています。このようなセンサ端末は、センサ製造販売企業や、半導体各社が既に製品化していますが、センサは個別課題を解決するために多様性が重視され、既存モジュールを置くだけでは有効に利用できない場面が多々あります。そのためには利用者が、センサ+マイコン+無線のモジュールの特徴、動作原理やその構成をよく理解する必要がありますが、高度な専門技術が必要であって、簡単ではありません。今回はこのような課題に少しでも貢献するために、世界標準のセンサ実験端末であるArduinoを用いて、温度、光量を計測して、マイコンで処理し、LEDの点灯、LEDの光量制御、パソコンでの制御やパソコンの表示装置への出力、液晶表示装置(LCD)への表示と言う最も基本的な動作の実習を行います。実習にはマイコンボード、ブレッドボード、センサの実装や配線、実際のC言語を使ったプログラミングを行います(C言語の知識は特に必要ありません)。また、これらの実習で得たスキルを用いて、受講者ご自身にMEMS加速度センサを用いて配線、プログラムを作成し、3軸の振動状態をパソコンに表示する振動モニタシステムを構成して頂きます。更に、この振動状態をLEDにその強弱で表示、LCDに数値で表示、更に光量センサと連動して、暗い時だけ信号が出る等のプログラミングにも挑戦していただきます。この機会に是非、IoTの実際を体験していただければと思います。
 
【本実習講座の特徴】
 実習講座の構成としては、教材は、Arduinoマイコンボード、ブレッドボード、MEMS加速度センサを含むセンサ一式、LCDやLEDの表示デバイス一式、教材ドキュメント、教材として使うソフトウェア例を含むCDROMとなります。また実習構成としては、第一日目は学習プログラムに従って各自が機能を確認すること、また第二日目は、初日に学習したことの理解を深めるために、MEMS加速度センサの回路およびシステムの配線とプログラミングを行って頂き、この開発環境の中でセンサを使いこなせるようにして頂きます。教材として準備されたプログラムを修正して使うことにより、僅か2日間で高度なMEMSセンサが使いこなせるレベルに達する有意義な実習となっています。更に、教材は実習時に購入頂きますので、作成した教材を持ち帰ることが出来て、更なるスキルアップが可能です。
 
【教材に関する説明】
(1) Arduinoマイコンボード (Arduino Uno Rev3)
通常のマイコンは、その開発環境を(多くは)有料で開発ソフトとインタフェースボードキットを購入し、また難解なマイコンのマニュアルや、C言語で書かれた制御プログラムのマクロを学習して多くのスキルを身に付ける必要があります。しかしArduinoはマイコンボードに直ぐに使えるインタフェース、特に開発に使うパソコンとのシリアル通信ボードを供え、マイコンへのデータ入力や、出力の表示を行うことで、LCD等の追加表示デバイスを追加することなし、プログラムのデバッグが行え、かつプログラムが完成すると、センサ端末として直ぐに使えることです。また難解なプログラム開発も、準備された教材プログラムの一部を修正するのみで独自仕様に構成することができ、マイコンの利用障壁を大幅に下げることが可能です。このため、新規なセンサを短時間で有用なセンサ端末に仕上げることが可能になります。
 主な仕様
・搭載マイコン:ATmega328(
・マイコン動作電圧:5V
・ボード入力電圧:7-12V
・デジタルI/Oピン:x 14
・PWM出力可能ピン:x 6
・アナログ入力ピン:x 6
・フラッシュメモリ:32キロバイト
・SRAM:2キロバイト
・EEPROM:1キロバイト
・クロック周波数:16MHz

  図1 今回実習に使うArduinoマイコンボード
 
(2)ブレッドボード BB-801
 はんだごてを使わずに電子工作ができる万能ボードです。 部品の組み換えが、部品や配線の抜き差しですぐにできます。 簡単な電子回路の製作や、センサ回路の動作テスト等に最適です。
 
・穴数:400
・サイズ:82X53X8mm
・電源ライン(赤・青):2系統
  
  図2 今回実習に使うセンサ端末ブレッドボードと組み立て例
 
(3) MEMS加速度センサ
 3軸加速度センサモジュール KXSC7-2050
 Kionix社のチップ型3軸加速度センサである、KXSC7-2050をDIP基板に半田付けして取り扱いを容易にしたものです。本体の共振周波数はZ軸で2kHz、他は4kHzですが、このモジュールは基板上にローパスフィルタ用コンデンサを装備し出力周波数帯域を50Hzにしています。また660mV/Gの高い感度と、ノイズスペクトルが100uG/Sqr(Hz)と大きなダイナミックレンジを持っています。
 【主な仕様】
・レンジ:±2G
・感度:660mV/G
・オフセット:1.65V
・標準動作電圧:3.3V
  
  図3 MEMS加速度センサ
 
【実習プログラム】
2016年 8月25日(木)
13:30  開講の挨拶
13:40  オリエンテーション 実施担当 MMC 三原
14:00 Arduino とは? Van Techno 萬代氏
15:00 Arduino インストールからプログラム開始 萬代氏
16:30  各種センサ、LCD等のプログラミング実習 萬代氏
17:30  終了
18:00 交流会
 
2016年 8月26日(金)
9:00 MEMS加速度センサ実習 以下担当 三原
9:30 受講者各自による回路配線、プログラミング
(加速度センサのパソコン出力)
12:00 昼食休憩
13:00 MEMS加速度センサのLCD出力
15:00 MEMS加速度センサと光量センサの連動、
LED光量変更
16:00 反省会
16:30 閉講
 
【費用】研究支援料および資料代(ホテル代、昼食代は含みません)
l 一般(企業等) 30,000円(教材費、消費税込)
l アカデミア(大学、公的研究機関) 15,000円(教材費、消費税込)
l 学生(社会人学生を含む)無料 ただし教材費として 7,000円(消費税込)
 
【支払方法】
お申込みの確認後、受付メールをお送りします。お申し込みのご住所に請求書と受講票をご郵送しますので、当日は、受講票をご持参ください。お振込みは9月30日(金)までにお願いいたします。また、お振込み期限を過ぎる場合には、お振込み予定日をメールまたはFAXにてお知らせください。尚、MNOICの年間利用コースの利用法人は1法人につき1名が無料となります。またMEMS協議会会員はアカデミア料金でご参加可能です。
 
【申込方法、および申込み先】以下を記入の上、メールにてお申し込みください。
********************************
l 郵便番号:
l ご住所:
l 法人名:
l ご所属:
l ご氏名:
l 連絡先(電話):
l メールアドレス:
l 請求書の宛先・宛名(上記と異なる場合):
l 参加費区分(ご選択ください):①一般・学生 ②MNOIC年間利用コース ③ MEMS協議会
l その他、ご連絡内容:
********************************
 
申込先:
 〒101-0026 東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル 6F
 TEL:03-5835-1870 FAX:03-5835-1873
 email:mnoic @mmc.or.jp
 一般財団法人 マイクロマシンセンター(MMC) MNOIC研究企画部 宛
申込み期限 8月5日
<その他> 宿泊場所等は各自でご予約ください。
 
【最小実施人数】
・3名
 恐れ入りますが、申込者が2名以下の場合は実施を延期、或いは中止する場合がありますのでご容赦ください。また実習形式のため、先着順に10名に達した時点で締切とさせて頂きます。
 
【備考】:
1) 実習対象者
① IoT分野で研究開発している最先端研究者、エンジニア
② IoTの企画担当者、管理者
③ IoTを将来専門としたい学生
④ IoTを応用する企業のエンジニア、企画担当者、管理者
2) 実習によって得られるスキル、知識
① IoTを構成する部品を手に触って配線することが出来る
② C言語を使った最低限のプログラムが出来る。
③ 温度センサ、光量センサ、加速後センサを扱うことが出来る。
④ LED、LCDの出力デバイスを扱うことができる。
⑤ センサシステムの構成を知り、扱うことが出来る。
 
   <MEMS協議会 渡辺秀明、三原孝士>

| | コメント (0)

2016年5月10日 (火)

MNOIC(マイクロナノオープンイノベーションセンター)の活動状況

 MNOIC事業開始後5年を経て、本格稼動ステージに進み、着実にユーザが増加し、我が国有数のMEMSファンドリーになりつつあります。工程受託の充実、研究施設の拡充、技術ノウハウの蓄積、人材育成を活動の柱として、産官学連携を通じたTIAのオープンイノベーション活動を強化しています。

 産総研共用施設等利用制度を利用した工程受託コースのご利用は、平成26年度の4件から27年度は26件と大幅に増加しています。

 研究施設の現状は以下の通りとなっております。
 1)最先端MEMS装置 54台
 2)主要設備
  ・12“ウェハ常温接合装置
  ・8“ナノインプリント装置
  ・圧電定数評価装置
 3)産総研クリーンルーム面積
  ・3B棟    250m2
  ・3D棟    350m2

 以上の実績を踏まえ、技術ノウハウの蓄積を進めています。
 1)品質管理、工程管理活動
  5年間における活動の中で、地道に品質管理、工程管理ノウハウを蓄積しています。
 2)国プロ研究開発参画による新技術の蓄積  
  ・道路インフラ(RIMS):高耐久性パッケージ技術
  ・ライフラインコア(UCoMS):圧電薄膜プロセス技術
  ・革新認識システム(IRiS):ナノ構造加工技術

 また、人材育成・国際交流に努めています。
 1)TIA連携大学院
  <MNOIC実習講座>大口径最先端光学式評価装置を用いた強誘電体薄膜の評価
 2)TIA-CuPAL
    (科学技術人材育成)「ナノテクキャリアアップアライアンス」への協力
 3)MEMS短期コース
    (タイ留学生研修)「さくらサイエンスプラン」への協力
 
 <MNOIC研究企画部長 渡辺秀明>


| | コメント (0) | トラックバック (0)

2016年3月16日 (水)

「微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム シンポジウム」でMNOICを紹介

 MEMS、ナノテク、微細加工技術の情報発信と関係者の交流を目的に、文部科学省の委託事業である微細加工ナノプラットフォームについてのシンポジウムが本年3月11日(金)、東京大学 浅野キャンパス 武田先端知ビル武田ホールにて開催されました。このシンポジウムに一般財団法人マイクロマシンセンターからMNOIC(マイクロナノ・オープンイノベーションセンター)の概要とサービスの内容について講演並びにポスター展示致しましたのでご報告します。

 この微細加工ナノプラットフォームシンポジウムは、最先端のナノテクノロジーの研究開発動向と、微細加工ナノプラットフォームを活用し産学官の緊密な協力の下で生まれた技術開発の成功事例、ならびに現在開発を進めている企業の生の声などを紹介するもので、100名を超える参加者でほぼ満席の中、開催されました。冒頭、本プラットフォームコンソーシアムの代表機関である京都大学の運営責任者、小寺秀俊教授から、開始から4年目を経過し、大学等の施設の共用と蓄積された知により企業の新技術開発、課題解決を支援し、順調に利用件数が増加していることが報告されました。そして、文部科学省研究振興局尾西参事官補佐の来賓挨拶に続き、北九州産業学術推進機構理事長國武豊喜氏の基調講演「ナノマテリアルの可能性」と、富士フイルム株式会社の特別講演の後、利用事例の紹介が行われました。そして講演の最後に「MNOICが提供するオープンイノベーション」として、渡辺が講演しました(写真1)。この中でMNOICは、急拡大するMEMS、センサ市場で低成長下の日本のMEMS 産業が成功するためには、多額の投資を抑えつつ、開発スピードの飛躍的向上が必須であって、解決策の一つとして、オープンラボを活用したMNOICで実行中のオープンイノベーションの実例について紹介いたしました。休憩の後、主催者である微細加工プラットフォームの京都大学と物質・材料研究機構から事業紹介がされ、最後に東京大学生産技術研究所の藤田博之教授より、このような取組みは、収益を出すのが難しいとされるMEMSにおいて、開発費の負担を減らすということなどで非常に意義のあることであるという締めくくりのご挨拶で終了しました。

         (写真1)

 講演会終了後は、ポスターセッションと意見交換会が武田ホールホワイエで開かれました(写真2)。ポスター展示には、微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム16機関に加え、協賛機関8機関、協力機関3機関もセッションに参加し、各機関の特色に重きを置いた説明が各所で行われました。MNOICのポスターでは、ユーザニーズに応じた幅広いコース選定を提供していること、並びに、研究員を派遣することなく研究委託や工程委託が可能なことに興味が寄せられました。今後も、微細加工ナノプラットフォームコンソーシアムとの連携を強化することで、研究開発から商品開発までのリードタイムを短縮し、我が国の産業競争力強化につながる活動を継続してまいります。

               (写真2)
       <MEMS協議会 渡辺秀明>


| | コメント (0) | トラックバック (0)

2015年11月 5日 (木)

第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムにMNOICをポスター展示

 センサやMEMS関係の国内最大のシンポジウムである第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(以下センサシンポと略します)が本年10月28日(水)~30日(金)、新潟市にて開催されました。このシンポジウムに一般財団法人マイクロマシンセンターからMNOIC(マイクロナノ・オープンイノベーションセンター)の概要とサービスの内容についてポスター展示致しましたのでご紹介させて頂きます。

 このセンサシンポは、新潟市の中心部、信濃川の河口に2003年開業した朱鷺メッセで開催され、1万人収容の本格的な展示場、大小13の会議室、ホテルなどが一体化した施設であり、開催するまでに数年待ち続けた待望の会場でした。参加者数は761人とここ数年では最大の規模であったそうです。今回のセンサシンポは「Future Technologies from NIIGATA 」と題し、電気学会・E部門の部門大会であるとともに、日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門主催「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」、応用物理学会集積化 MEMS 技術研究会主催「集積化 MEMS シンポジウム」が同時開催され、更に、電子情報通信学会、日本材料学会、エレクトロニクス実装学会との協力による企画セッションも開催されました。招待講演では技術研究組合NMEMS 技術研究機構理事長今仲 行一氏の「IoT 時代の実現に向けて今なすべきこと」(写真1)、豊橋技術科学大副学長 石田 誠氏の「異分野融合研究と価値創造工へ」、大阪大学 産業科学研究所 教授 谷口 正輝氏の「マイクロナノ工学を用いた次世代DNAシークエンサー」、そして東京大学生産技術研究所 マイクロナノメカトロニクス国際研究センター 教授 藤田 博之氏の「MEMSの昨日、今日、明日」の4講演が行われ、学生・研究者に共通した興味深い話題をわかりやすく解説されました。


(写真1)

 今回の技術展示は、ポスター会場にもなったメインホール入口のホワイエで行われ、最優秀展示賞には,愛知県「知の拠点」研究開発プロジェクト成果が選ばれました。MNOICについては、このセンサシンポに参加される層にはかなり知名度が浸透し、サービス内容についての問い合わせはほとんどなく、試作実績や価格、納期についての具体的な内容が多く寄せられました(写真2)。


(写真2)

 大学、産業界、更に公的な研究所にとって有意義な活動を今後も展開していく所存です。

<MEMS協議会 渡辺 秀明>

| | コメント (0)

2015年9月 2日 (水)

MNOIC実習セミナー 「大口径最先端光学式評価装置を用いた圧電体薄膜の評価」【TIA連携大学院サマー・オープン・フェスティバル2015】の実施

 一般財団法人マイクロマシンセンター・MEMS協議会では、MEMS・マイクロナノ領域における産業推進の一環として国立研究開発法人産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センターの研究施設を用いた研究支援サービスであるMNOIC(MicroNano Open Innovation  Center)事業を実施しています。その中のサービスの一つである人材育成について、MNOICで利用可能な最先端装置を用いた実習形式の「MNOIC実習セミナー」を毎年開催し、好評を得て参りました。今年は、「大口径最先端光学式評価装置を用いた圧電体薄膜の評価」を2015年8月27/28日に実施致しました。尚、この実習講座はTIA人材育成活動の一環として、「TIA連携大学院サマー・オープン・フェスティバル2015」として実施しました。
 「インダストリー4.0」や「Industrial Internet」などの製造業の新たな方向を目指す動きが活発になるにつれ、センサの製造に用いられるMEMS技術の重要性はますます増していきます。そのMEMSの材料の中でも、優れた圧電特性を有する薄膜は機械的(Mechanical)作用と電気的(Electrical)作用を橋渡しする材料として、MEMSへの応用が盛んに研究されています。本実習では圧電体薄膜の物性を理解して、最適なMEMSを設計する手法を短時間で習得するとともに、大口径最先端光学式評価装置を実際に使い、圧電材料への理解を深めることを意図しました。
 今回の参加者は企業から6名、学部、大学院生6名の計12名でした。例年になく、企業からの参加者が多く、本材料への産業界側の期待の高さがうかがえます。なお、装置を使っての実習になるため、あまり多くの参加者を募集することができず、締切間際で応募された方には、参加をお断りせざるを得ませんでした。
 開講にあたって、まず産総研廣島洋集積マイクロシステム研究センター長から挨拶(写真1)があり、その後事務局からオリエンテーションの後、産総研集積マイクロシステムセンター社会実装化センサシステム研究チーム長小林健氏の講義(写真2)から実習セミナーが始まりました。講義内容は、PZT薄膜を中心にその形成プロセスとデバイスへの応用を初歩から応用までを詳説し、講義の後半は2日目の実習で測定する圧電定数の理論的導出を解説されました。評価サンプル電極の直径依存性があることや、変位量の印加電圧依存性がバタフライカーブになる理由などを解説し、受講者アンケートでも全員が非常にわかりやすい講義だったとの評価でした。

   写真 1セミナーの風景(廣島センター長挨拶)

   写真2セミナーの風景(小林氏)

 次に、2日目の実習で使う強誘電体テストシステム (aixACT)の日本代理店である、ヤーマン株式会社先端電子グループの山﨑常生氏が、ダブルビームレーザー変位計を取り入れ強誘電体薄膜の絶対変位計測をも可能にした同システムについて解説しました。また途中から、本装置の製造メーカーのドイツのアグザクトシステムズ社の Roland Kessels 氏(写真3)も加わり、600℃までの温度特性を測定可能にしたシステムと実際のデータについて紹介しました。示されたデータには若干の温度依存性がありましたが、それが装置起因なのか、材料特性なのか、熱心な討論がなされ、さながら、圧電材料分野の国際会議のような雰囲気でした。

   写真 3 セミナーの風景(Kessels 氏)

 最後に2日目の実習プログラムについて、マイクロマシンセンターMNOIC開発センターの野田大二研究員から説明があり、1日目の講義を終えました。
 2日目は2班に分かれ、1班は圧電体薄膜評価からサンプル作製・評価、2班はその逆で実習しました。
 圧電薄膜評価は、産総研の小林チーム長と牧本なつみ研究員、さらにはヤーマンの山﨑氏、アグザクトシステムズ社の Kessels氏も加わった講師陣のもと、様々な電極径の圧電薄膜の圧電定数の測定実習を行いました(写真4、5)。受講者の中には、自ら作製した圧電薄膜のサンプルを持参し、aixACTでの測定を試した受講者もいました。測定サンプル作製のプロセスでは、MNOIC野田研究員の指導により、ドライエッチングとレーザー顕微鏡での形状測定と触針段差計を使ったエッチング深さ測定実習を行いました。またクリーンルーム内のプロセス装置の紹介も実施しました。

   写真 4 実習風景

   写真5 実習風景
 最後に、今回の実習を振り返って皆様にアンケートの実施と、実習の感想をお聞きしました。全体的には大変好評で、普段はあまり触れることのできない最先端の評価装置を使った内容に満足いただきました。今回は材料としての薄膜評価でしたが、実デバイスを用いた評価も実施してほしいとの要望もありました。今後の検討課題としたいと思います。
(MEMS協議会 渡辺 秀明)




| | コメント (0)

2015年7月13日 (月)

MNOIC実習講座「大口径最先端光学式評価装置を用いた圧電体薄膜の評価」開催のご案内

            ◆MNOIC実習講座◆
============================
  「大口径最先端光学式評価装置を用いた圧電体薄膜の評価」
    【TIA連携大学院サマー・オープン・フェスティバル2015】
                開催のご案内
============================

主催:一般財団法人マイクロマシンセンター
後援:国立研究開発法人産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
後援:つくばイノベーションアリーナナノテクノロジー拠点 運営最高会議

【概要】
 一般財団法人マイクロマシンセンター・MEMS協議会では、MEMS・マイクロナノ領域における産業推進の一環として国立研究開発法人・産業技術総合研究所・集積マイクロシステム研究センターの研究施設を用いた研究支援を行うMNOIC(マイクロナノ・オープンイノベーションセンター)事業を実施しています。その中で特に人材育成には力をいれ、MNOICで利用可能な最先端装置を用いた実習形式の「MNOIC実習講座」を開催し、好評を得て参りました。今回はその第四弾として、「大口径最先端光学式評価装置を用いた圧電体薄膜の評価」を企画致しました。
 ご存知のように「インダストリー4.0」や「Industrial Internet」などの製造業の新たな方向を目指す動きが活発になるにつれ、センサ等の製造に用いられるMEMS技術の重要性はますます増していきます。MEMSの事業規模は世界で大きく成長しており、その成長は今後も続くと予想されています。そのMEMSの材料の中でも、優れた圧電特性を有する薄膜は機械的(Mechanical)作用と電気的(Electrical)作用を橋渡しする材料として、MEMSへの応用が盛んに研究されています。したがって、電気-機械変換を行う圧電性材料は,MEMSにとって非常に重要な機能材料です。
 しかし、薄膜形成の難しさからウェハの大口径化が進まず、低コスト化の障壁となっていました。また、大口径の薄膜試料の物性を知るためにインピーダンス測定をしようとした場合、従来の測定器(インピーダンスアナライザなど)単体の使用だけでは不充分で、光学式の評価装置が必須になりつつあります。本実習は圧電体薄膜の物性を理解して、最適なMEMSを設計する手法を短時間で習得するとともに、大口径最先端光学式評価装置を実際に使い、理解を深めていきます。
 尚、この実習講座はTIA人材育成活動の一環として、「TIA連携大学院サマー・オープン・フェスティバル2015」として実施します。このため学生の皆様は無料で参加できます。この機会に今回の実習講座を体験して頂き、更に多数の皆様にMNOICを利用して頂くことに期待しております。

*TIA連携大学院サマー・オープン・フェスティバル2015
http://tia-edu.jp/summer_fes2015/

【日程】
2015年8月27日(木曜)13時30分開始、28日(金曜)16:30終了予定

【場所】
〒305-8564 茨城県つくば市並木1-2-1
産業技術総合研究所 東事業所:集積マイクロシステム研究センター内NMEMSイノベーション棟
一般財団法人マイクロマシンセンター、MNOIC開発センター
http://mnoic.la.coocan.jp/access/index.html
(MNOIC開発センター@つくば:秋葉原ではありません)

【学習・実習内容】
 ◆センサ、MEMSの原理、、MEMSの産業概観
 ◆圧電MEMSの実用化例とトレンド
 ◆圧電体サンプルの作製、微細加工技術
 ◆圧電薄膜の評価方法
 ◆MEMSへの応用

【費用】研究支援料および資料代(ホテル代、昼食代は含みません)
 ■ 一般(企業等)   30,000円(消費税込)
 ■ アカデミア(大学、公的研究機関) 15,000円(消費税込)
 ■ 学生(社会人学生を含む)  無料

【支払方法】
 お申込みの確認後、受付メールをお送りします。お申し込みのご住所に受講票と請求書をご郵送しますので、当日は受講票をご持参ください。
 お振込みは9月30日(水)までにお願いいたします。また、お振込み期限を過ぎる場合にはお振込み予定日をメールまたはFAXにてお知らせください。
 尚、MNOICの年間利用コースの利用法人は1法人につき1名が無料となります。
 またMEMS協議会会員はアカデミア料金でご参加可能です。

【申込方法、および申込み先】以下を記入の上、メールにてお申し込みください。
****************************
・郵便番号:
・ご住所:
・法人名:
・ご所属:
・ご氏名:
・連絡先(電話):
・メールアドレス:
・請求書の宛先・宛名(上記と異なる場合):
・参加費区分(ご選択ください):
  □ 一般  □ 学生  □ MNOIC年間利用コース  □ MEMS協議会
・その他、ご連絡内容:
****************************
申込先:
〒101-0026 東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル 6F
TEL:03-5835-1870 FAX:03-5835-1873
email:h_watanabe@mmc.or.jp
一般財団法人 マイクロマシンセンター(MMC)
MEMS協議会事務局 MNOIC研究企画部
渡辺 秀明 宛

<その他> 宿泊場所等は各自でご予約ください。

【最小実施人数】
・3名
恐れ入りますが、申込者が2名以下の場合は実施を延期、或いは中止する場合がありますのでご容赦ください。また実習形式のため、先着順に10名に達した時点で締切とさせて頂きます。

【実習プログラム】
----------------------------------------------------
2015年 8月27日(木曜)  1日目
13時30分集合(NMEMSイノベーション棟1F受付ロビー):
入構方法、集合場所等は参加者に別途ご案内致します。

1)13:40-13:45 開催の挨拶
2)13:45-14:10 オリエンテーションとMNOICの概要説明(担当 MMC渡辺 )
3)14:10-15:10 圧電体薄膜とMEMS応用概論(産総研 小林 健 氏 )
            休憩
4)15:20-16:20 圧電体薄膜評価装置の概要(ヤーマン株式会社 山崎 常生 氏 )
5)16:20-17:20 実習の説明(MMC 野田 大二 )
6)17:30-18:00 簡単な懇親会(参加者+関係者:ビールとおつまみ程度)
----------------------------------------------------
2015年 8月28日(金曜)  2日目
1)9:00 集合(NMEMSイノベーション棟2F会議室)
2)9:00-10:45  測定用サンプル作製(エッチング&形状観察)(野田)
            休憩
3)11:00-12:00 圧電測定評価(アグザクトおよびマニュアルプローバー)(野田)
            昼食
4)13:00-15:00 圧電測定評価続き(野田)
            休憩
5)15:15-16:15 データ整理 (野田)
6)16:15-16:30 まとめと反省会(渡辺)
            解散
以上

| | コメント (0)

より以前の記事一覧