活動全般

2022年1月 6日 (木)

新年のご挨拶(MMC/NMEMS 2021年10大ニュース)

 新年あけましておめでとうございます。

 当センターは本年1月に創立30周年を迎えます。国プロのマイクロマシンの研究開発からスタートし、これまで20ほどの国・NEDOプロを推進してまいりました。また同じく10周年となりますMNOIC(マイクロナノ・オープンイノベーションセンター)では、民間企業等のMEMS研究を支援し、工程を受託するなど、日本のMEMS技術や産業の発展に一定の貢献ができたのではないかと思っております。

 本年もコロナ禍による経済の不透明感は続くと見られており、急激に需要が回復しようとする自動車や情報機器に半導体供給が追い付かないなどの状況はありますものの、国が推進しておりますグリーン成長戦略やデジタル・トランスフォーメーション(DX)において、フィジカル空間をサイバー空間に変換するためのゲートともなる各種MEMSセンサへの期待は益々高まっています。

 当センターでは引き続きNEDOプロにおいて非侵襲で血中成分を計測するBaMBIプロジェクトや、防衛装備庁の委託事業で小型原子時計の基礎研究であるHS-ULPACプロジェクトなどを推進していますが、次の課題として政府のグリーン&デジタルにも応えるべく、広大な空間を測る技術と今まで測ってこなかったものを測るという技術に挑戦しようと考えています。
 前者が「環境調和型MEMS(EfriM : Environment friendly MEMS)」と呼ぶもので、インフラ、防災、農業分野において、広く環境に無害なMEMSセンサを配置し、それぞれの分野の課題を解決しようというものです。
 後者は人間の5感の次に来る「感情センシング」により、IoH(Internet of Human)システムを構築し、オフィスや作業環境での生産性や快適性、さらには介護分野などに資するフィードバックを与えようというものです。これらも含め当センターでは常に新たな研究開発プロジェクトの提案を目指し、さらなる検討を続けてまいります。

 さて、当センターでは通算32回目にあたるマイクロナノ分野の展示会である「MEMSセンシング&ネットワークシステム展2022」を1月26日から28日にかけて東京ビッグサイトで開催いたします。ここでは、MEMSの過去30年の歴史と今後20年の技術展望をテーマとした創立30周年の記念講演会を実施いたします。是非、多くの皆様にご来場いただき、今後のMEMSの発展のために当センターに対するご指導・ご支援を賜れれば幸いです。

 また、皆様方には以下のマイクロマシンセンターの2021年の10大ニュースをご覧いただき、私どもの活動状況をご賢察いただければ幸いです。

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MMC/NMEMS 2021年 10大ニュース
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1.2020年以上に厳しかった2021年のコロナ禍の中でも、業務を滞ることなく実施
 2020年以上に厳しかった2021年のコロナ禍の中でも、新型コロナウイルス感染症に伴う緊急事態宣言やまん延防止等重点措置が発出されるなか、当センターの業務を滞ることなく実施するため、理事会、委員会等をweb、書面により開催しました。 また、職員への感染を防止するため、基本的な感染対策を施しつつ、在宅勤務、時差通勤を実施しました。

2.LbSS、数々の成果を上げて5年半の研究開発が終了、次への展開へ向けて始動
 2016年から開始した「超高効率データ抽出機能を有する学習型スマートセンシングシステムの研究開発(LbSS)」プロジェクトが、実証実験でのシステム検証を終え、9月30日をもって終了しました。 また、「NEDO IoT推進のための横断技術開発プロジェクト」成果報告会では、5年半の研究成果として、13テーマの技術成果資料・デモ動画及び基調講演の公開を実施し、IoT横断プロジェクト全体の成果・普及を図ることができました。
現在は、LbSS研究成果のヒトセンシングへの展開を調査しています。
  ■ この成果は、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の委託業務の結果得られたものです。

3.「節目の年」2022年を迎えるにあたり、イベントや記念誌を企画・制作、あわせてMEMS技術の歴史と今後20年の進展予測をまとめる
 2022年にマイクロマシンセンター設立30周年、MEMS協議会15周年、MNOIC10周年という「節目の年」を迎えるにあたり、セミナーイベントや記念誌の企画・制作を行うとともに、「マイクロマシンセンター産業動向調査委員会」では、MEMS技術の進展の歴史と、今後20年のMEMS関連技術の進展を予測した調査を実施しました。

4.EfriMは開発戦略をまとめて3月に事業終了、SSN研究会「EfriM-WG」を立ち上げ、プロジェクト化に向け本格始動
 一般財団法人機械システム振興協会の「令和2年度イノベーション戦略策定事業」の委託事業として実施し、昨年3月終了した「環境調和型MEMS(EfriM*)技術の研究開発に関する戦略策定」の成果を基に、SSN研究会**のWGとして「EfriM-WG」を立ち上げ、15企業、9大学、6研究機関・財団の49名の会員を集め、プロジェクト化に向けた活動を本格始動しました。
     * EfriM : Environment friendly MEMS
     ** SSN研究会:スマートセンシング&ネットワーク
       (Smart Sensing & Network)研究会

5.MNOIC設立10年で事業成熟、工程受託コースなど定期利用が定着
 2011年に設立し10年経過したマイクロナノ・オープンイノベーションセンター(MNOIC)の利用件数が2021年末で1,300件を超え、産学連携によるマイクロナノ分野のイノベーション実現の場として定着しています。特に近年は、MNOICが研究支援によって開発したサンプルや技術を実用化するために、仕様書に基づいてMNOICの研究員が試作を行う、工程受託コースの利用が急増しています。

6.HS-ULPAC中間を無事終了
 防衛装備庁の「令和元年度安全保障技術研究推進制度(JPJ004596)」の委託事業として実施している「量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究(HS-ULPAC*)」の中間評価審査会が11月12日に開催されました。一部新型コロナの影響で中間目標の達成が年度末に延びるものもありますが、ほとんどが中間目標を達成するとともに当初予定していなかった画期的な副次的成果が出ていることを報告し、無事に終了しました。
      *HS-ULPAC : High Stability Ultra Low Power Atomic Clock

7.BaMBIが、NEDOステージゲートを受審し、来年度からのフェーズBに向けて検討を開始
 NEDOの「IoT社会実現のための革新的センシング技術開発」の中で、2019年度に採択され、研究開発進めてきたテーマ「血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイス及び行動変容促進システムの研究開発(BaMBI*)」は、この11月2日にステージゲート審査を受審しました。本事業は、フェーズAの委託3年間を経てステージゲートをクリアすれば、その後の2年間はフェーズBの助成事業として実用化に向けて加速していくことになりますが、本テーマはフェーズAの目標を全て達成できる見込みで、審査結果を待つばかりです。
*BaMBI : Non-ivasive Blood analytic Monitor for Behavior Improvement System

8.MEMS関連標準化についてオンラインで国際会議で規格案審議を推進、関係者がIEC1906賞を受賞、新標準化事業の開始など、活発に活動
 コロナ禍中、オンラインながらも、5月に「IEC(国際電気標準会議)TC47(半導体分野技術委員会)/SC47E(個別半導体デバイス)WG1(半導体センサ分野)、TC47/SC47F(MEMS分野)、TC47/WG7」、10月に「IEC/TC47 国際標準化全体会議」に出席し、活発な議論を交わし、規格案審議を着実に前進させることができました。また、当センターが取り纏めている標準化活動で活躍して頂いた2名の方が、IEC1906 賞を受賞されました。標準化事業では、経済産業省の委託事業で、「薄膜圧電MEMSデバイスの寿命試験及び多方向折り曲げ信頼性法に関する国際標準化」が採択され、国際規格の開発を開始しました。

9.技術研究組合NMEMS技術研究機構の理事長に、東京都市大学の藤田教授が就任
 今仲行一理事長が2021年2月に急逝されました。ご冥福をお祈り申し上げます。
 組合の3月に開催された理事会において、東京都市大学の藤田博之教授が理事長にご就任されました。

10.SNIFがNEDOプロジェクトとしては終了するも、将来の実用化へ向け、今後の研究開発は着実に履行 
 2019年度にBaMBIとともにスタートした革新的センシングのプロジェクト「薄膜ナノ増強蛍光による経皮ガス成分の超高感度バイオ計測端末の開発(SNIF*)」として推進されてきましたが、参加企業の社内体制変更により、残念ながらNEDO受託事業としては2021年度上期までとなりました。ただ、東京医科歯科大学とNMEMS組合で2022年半ばまでフェーズAの研究開発は着実に履行し、将来の実用化への道を繋ぐこととしています。
   *SNIF: Skin volatile biosensor based on Nano-Integrated Fluorometry

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2021年6月30日 (水)

マイクロマシンセンター委員会、MEMS協議会活動報告について

 新型コロナウイルス感染症に関する情勢を踏まえ、今年度のMEMS協議会をはじめとするマイクロマシンセンターの各種委員会活動(図1)も、オンライン開催(以降OL開催と略します)、書面開催中心に運営しております。

 マイクロマシンセンターの第1回運営委員会、第1回理事会、定時評議員会をそれぞれ6月2日(書面)、6月11日(書面)、6月23日(OL開催)に開催しました。

 事業関連の委員会では、6月8日に、産業動向調査委員会をOL開催し、委員長である東京大学の竹内昌治教授から、2021年度は、マイクロマシンセンター創立30年にあたるため、本委員会でもそれに対応した調査を実施したいことなどが述べられました。続いて新委員の紹介、本年度活動方針説明の後、今年度のテーマである「過去のMEMSの歴史とこれから20年の技術展望」について、どの様に進めるかのディスカッションが行われました。

 6月21日には、マイクロマシンセンターの調査研究事業委員会をOL開催し、厳選した活動を行うことなどが議論されました。
 さらに翌22日は、標準化事業委員会をOL開催(一部対面開催)し、経済産業省委託事業である「薄膜圧電MEMSデバイスの寿命試験及び多方向折り曲げ信頼性試験方法に関する国際標準化」への取組みについて議論いたしました。
 また、同日、これらのMEMS協議会委員会活動を統括する産業交流委員会を書面開催し、2020年度のMEMS協議会活動結果と2021年度の活動計画について、報告いたしました。

 また、スマートセンシング&ネットワーク研究会(SSN研究会)で新たに発足したWG9のキックオフミーティングとして、環境調和型MEMS(EfriM : Environment friendly MEMS)技術の研究開発について、6月23日に開催いたしました。

 さて、MEMS協議会推進委員会は、上述の委員会活動に加えて、当協議会の主力事業であるMNOIC事業と、現在実行中の先端技術開発プロジェクト推進について、2020年度成果と今年度の活動計画を議事内容に含め、6月29日にOL開催いたしました。
 喫緊の国家的課題となっている半導体・デジタル産業戦略がMEMSに与える影響についてなど、事務局側が想定していた以上に多くの意見をいただくことが出来まして、大変有意義な会議となりました。

 なお、ファンドリーサービス産業委員会は7月19日に開催します。
また国際交流委員会は国際交流活動が現状では見通せないことから、やむを得ず開催中止といたしました。

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図1 2021年度 委員会構成
(図をクリックで拡大)



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2021年4月 1日 (木)

マイクロマシンセンター 令和3年度事業計画について

 令和3年度は一般財団法人マイクロマシンセンターが設立されて30年という節目の年に当たります。
 過去30年のマイクロマシン/MEMS分野及びスマートセンシング分野(以下、「マイクロマシン/MEMS分野等」という。)での技術の進展を振り返りつつ、コロナ禍も乗り越えて新たな同分野の発展に踏み出すことで、Soceiety5.0の実現を目指します。
 それに向け、非営利セクターとしての利点を活かしながら、以下のとおり、基盤技術の研究開発、事業環境整備及び普及促進のための取組みを一層強化していきます。

(1)MEMS協議会事業では、まず、MEMS分野におけるオープンイノベーション実践の我が国最大の拠点となったMNOIC(マイクロナノオープンイノベーションセンター)について、広範なユーザーからの多様な要望に応えていくことを目指して、更なる体制整備や活動強化に努めます。
 また、スマートセンシング&ネットワーク(SSN)研究会においては、これまで実施してきたWG活動から、複数のナショナルプロジェクトが生まれるなど、一定の成果を上げてきましたが、本年度も新たなWGの立上げなどを通じ、産業技術力強化のためのプロジェクト提案を目指して研究会活動を推進します。

(2)我が国マイクロマシン/MEMS分野等のイノベーション創出に寄与し、Soceiety5.0の実現にも貢献すべく、本年度も、以下のような国/NEDO等が主導する先端技術に係る研究開発プロジェクトや国際標準化の推進に参加します。

  1. 学習型スマートセンシングシステム(LbSS)の研究開発
     平成28年度~令和3年度
  2. 振動発電エネルギーハーベスタのIoT・ウエアラブル適用拡大に向けた国際標準化
     令和元年度~令和3年度
  3. 血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイス及び行動変容促進システムの研究開発(BaMBI)
     令和元年度~令和3年度
  4. 薄膜ナノ増強蛍光による経皮ガス成分の超高感度バイオ計測端末の開発(SNIF)
     令和元年度~令和3年度
  5. 量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究(HS-ULPAC)
     令和元年度~令和5年度
  6. 薄膜圧電MEMSデバイスの寿命試験及び多方向折り曲げ信頼性試験方法に関する国際標準化
     令和3年度~令和5年度

(3)その他、マイクロマシン/MEMS分野等の国内外の技術動向や産業動向の調査をはじめとする調査研究、MEMSセンシング&ネットワークシステム展の開催なども含めた内外関係機関との交流・協力、標準化の推進など、これまで当センターが推進してきた諸活動も引き続き拡充強化しつつ実施していきます。

 また、これらの活動の広報や成果発信のために、インターネット上でのホームページ、ブログ及び月例ニュース(MICRONANO Monthly)など多様な媒体を活用した情報発信・情報公開に努めます。

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2021年1月 7日 (木)

新年のご挨拶(MMC/NMEMS 2020年10大ニュース)

 新年あけましておめでとうございます。

 昨年は新型コロナウイルスの感染拡大を受け、日本経済は急速に悪化し4-6月期のGDPは過去最大のマイナス成長となりました。また5月の緊急事態宣言の解除を受けて7-9月期のGDPはプラスに転じましたものの、感染者の推移から、先行きの不透明感も年を越えてしまいました。
 MEMS市場も同様に不透明感はございますが、医療や通信などの分野は成長を続けております。コロナ禍でニーズの高まった非接触体温計や人工呼吸器、各種検査機器などに対応して、マイクロボロメータ、圧力センサ、流量計、マイクロ流路などの医療用MEMSの需要は増加しております。

 マイクロマシンセンター/NMEMS技術研究機構においても、医療・ヘルスケア用MEMSの研究開発として、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の委託事業で「血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイス及び行動変容促進システムの研究開発(BaMBI)」と、「薄膜ナノ増強蛍光による経皮ガス成分の超高感度バイオ計測端末の開発(SNIF)」を実施しております。
 また、防衛装備庁の委託事業で実施しております「量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究(HS-ULPAC)」は衛星搭載原子時計の性能レベルを小型低消費電力で実現するための研究開発ではありますが、モビリティや通信分野のみならず医療・ヘルスケアを含む多様な分野での応用が可能な課題と考えております。

 これらの研究開発を支えるMEMS試作ファンドリである「マイクロナノ・オープンイノベーションセンター(MNOIC)」は今年10年目を迎えます。企業・ベンチャー、国研・大学によるMEMSの研究・試作並びに少量生産に活用いただいており、2011年の開設当初と比較し、近年では約5倍の年間80件以上の研究・工程の受託をし、フル稼働の状態にあります。

 加えて昨年から一般財団法人機械システム振興協会の委託事業で、SDGsに資する環境調和型MEMS(EfriM:Environment friendly MEMS)を実現するための戦略策定事業も実施しております。

 本年も当センターはMEMSを活かしたソサエティー5.0やデジタル・トランスフォーメーションの実現を目指し、MEMSの基盤技術検討から応用まで幅広い研究開発を行ってまいりますので、引き続きご指導、ご鞭撻の程、よろしくお願い申し上げます。

 皆様方には以下のマイクロマシンセンターの2020年の10大ニュースをご覧いただき、このような私どもの活動状況をご賢察いただければ幸いです。

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MMC/NMEMS 2020年 10大ニュース
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1.コロナ禍で多くのイベント等が中止になる中も、職員が無事に業務を推進
 未曽有の新型コロナウイルス感染症の拡大を防止するため、理事会、委員会等を書面、Webによる開催方法に変更しました。また、職員の感染防止対策として在宅勤務、時差通勤の導入などを実施し、1年間業務を無事に遂行できました。

2.年に2回のMEMS展開催
 例年開催しておりますMEMS センシング& ネットワークシステム展を、2020 年1月29日(水)~31日(金)にMEMS展2020として、2020年12月8日(水)~10日(金)をMEMS展2021として開催しました。2020は5万人、2021は1万人の来場者数となりましたが、当センターが併催した各種シンポジウ等は好評裡に実施できました。

3.LbSSの実証試験が着実に進展
  振動発電はCEATECアワードのオープン部門グランプリを獲得

 LbSSプロジェクトは最終年度に差し掛かり、多くの成果を上げつつ、最後の実証試験に取り組んでいます。その中で開発した「コインサイズの振動発電器」が、世界最高レベルのエネルギー回収効率93%を達成しつつ、10月のCEATEC 2020 ONLINEでCEATEC AWARD 2020オープン部門グランプリを受賞しました。
  この成果は、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の委託業務の結果得られたものです。
  https://www.nedo.go.jp/news/press/AA5_101370.html

4.EfriMの検討が着々と進む
 機械システム振興協会からの受託により、環境調和型MEMS(EfriM:Environment friendly MEMS)に関する新たな研究開発戦略策定を行っています。これまでの屋内設置や機器内部への搭載が主であったMEMSデバイスをインフラ・災害・農業モニタリング分野等の屋外や自然環境に広く設置し、回収が不要で、環境に放置されても自然に還ったり、有害とならなかったりするMEMSシステムの開発とその低炭素負荷での製造や利用を目指してまいります。

5.HS-ULPACが順調に始動
 測位衛星搭載の原子時計と同等の性能を有し、且つ手のひらサイズで低消費電力の小型原子時計を実現するための基礎研究として、原子時計の安定性を阻害する各種周波数変動要因を根本から解明するとともに、自動車等の移動体に搭載可能な耐振性を有するプロトタイプを試作して、その性能を車載環境で実証・評価する研究開発を本格的に開始しました。
 本研究開発は、防衛装備庁が実施する安全保障技術研究推進制度JPJ004596の支援を受けたものです。

6.BaMBI、SNIFの研究開発がコロナで厳しい中も進展
 ヘルスケア系の革新的センシングの開発を目指す、BaMBIとSNIFの両プロジェクトは、コロナ禍のため、一部研究サイトへの立入制限や、装置の導入や利用の停滞などが起こり、研究開発自体にもやや遅れが生じています。これに対して、主にWeb会議の活用により、技術推進研究会等を頻繁に実施することで、毎回、研究サイトごとの課題、問題点を含む研究進捗の共有を行い、迅速な研究開発の実施に努めています。

7.MNOIC事業が前年度より回復基調
 国立研究開発法人産業技術総合研究所様ご協力のもと、研究支援、研究受託、工程受託コースなどのMNOIC試作支援事業がコロナの中でも比較的順調に推移しました。本年度の12月時点で、工程受託コースでは7件の新規契約を獲得し、継続案件を含めて合計86機関の顧客様にMEMSデバイス開発の支援で貢献いたしました。また、MNOICの技術スタッフが、前述のHS-ULPACやBaMBIなどの国家プロジェクトに研究員として参画し、新デバイスの試作開発を通して新しいプロセス技術の腕を磨いて参りました。

8.標準化活動の会議が中止になる中も着実に前進
 4月に国際標準「圧電MEMSデバイスのセンサ特性信頼性試験方法」を発行、9月~12月に3件の新規格を提案するなどの成果を上げています。またコロナ禍のため11月にオンラインで開催されたIEC(国際電気標準会議)/TC47(半導体分野技術委員会)国際標準化全体会議に出席して、既提案の改訂説明や新規提案などを積極的に行いました。

9.センサ&IoTコンソーシアムの事務局活動を遂行
 生体情報センサを初めとした各種センサとIoT技術を利用した快適な生活・社会空間の創出を目指す当該コンソーシアムの事務局業務が、2020年4月から当センターに移管されました。例年実施されている公開シンポジウムも今年は「バイオメディカル計測と健康医療センシング」をテーマとして、無事12月にWeb開催することができ、180名を超える参加者がありました。

10.産業動向調査報告「MEMSトップ企業の事業戦略とSDGsへの対応」が好評
 毎年MEMS産業を取り巻く各種環境などを取り上げて、産業動向調査報告を行っていますが、昨年はSDGsに対して、大手MEMS企業がどのような取組みをしているのか等を中心に分析をしました。また、MEMSがどのようにSDGsに貢献できるかについて議論し、その内容をまとめた報告書を作成し、会員企業にご提供いたしました。MEMS展2021でもその内容に注目が集まりました。

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2020年12月24日 (木)

MEMS協議会 2020年度MEMS懇話会オンライン開催(2020年12月23日)

 MEMS懇話会は、毎年年末にMEMS協議会正メンバーの委員と経済産業省など行政側との意見交換を行う大変貴重な場となっております。本年も開催直前まで対面での会議を目指し準備を進めて参りましたが、コロナ感染拡大が続くため、急遽Webexによるオンライン開催に切り替え、12月23日にマイクロマシン・MEMS分野に係る今後の課題について意見交換を行いました。

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写真1 オンライン会議によるMEMS懇話会

 最初に山中康司MEMS協議会会長(デンソー代表取締役副社長)による主催者挨拶があり、学習型スマートセンシング研究開発プロジェクトにおいて「高出力MEMS振動発電モジュール」が、CEATEC AWARDの部門グランプリを受賞したことなどが紹介されました。

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写真2 山中MEMS協議会会長 ご挨拶

 その後、経済産業省産業機械課長玉井優子氏から最近の経済、産業動向として、令和3年度(2021年度)経済産業省関係予算案及び税制改正と、2050年カーボンニュートラルの実現に向けた取組みについての紹介がありました。

 続いて長谷川MEMS協議会事務局長から、産業・研究開発動向報告の中で、2025年までのMEMS市場規模は年率7.4%で成長し、分野・デバイス別では5G関連のindustry、RF-MEMS・発振器などで高い伸びが予測されることなどが紹介されました。

  これらの2つの話題提供の後、経済産業省、NEDO,産総研との意見交換が始まりました。今年度のテーマは「DXを支えるMEMS,センサ等の中核技術への自社の取組みと、行政・国研への要望」についてです。
 この中で、DX実現の鍵は計測や制御であり、それらの高機能化のためにはMEMS技術はキーデバイスであること、そのデバイス技術開発は足が長いので、将来重要となる技術を先取りして国家プロジェクトとして進めていただきたいことなどの意見が出されました。
 それを受けて、経済省、NEDO、産総研から、コロナ感染症拡大の中、テレワーク勤務が普及するなど、デジタルを活用した産業の転換のための技術開発をバックアップしていきたいなどのコメントが出されました。

 例年ですと、懇話会に引き続き参加メンバーの懇親会を開きますが、今年は中止となりました。

 MEMES懇話会としては初のオンライン開催で、プレゼン資料を適切なタイミングでアップできないなどの運営上の不手際が若干ありましたが、大きなトラブルはなく予定通り終了しました。
 「ウィズコロナ時代」では、このようなオンライン会議システムは不可欠なツールとなりますので、MEMS協議会推進委員会などの委員会運営のスキルを高めて参りたいと思います。

(MEMS協議会 渡辺秀明)

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2020年4月20日 (月)

マイクロマシンセンター 令和2年度 事業計画について

 令和2年度事業において一般財団法人マイクロマシンセンターは、政府が推進するコネクテッド・インダストリーズによるSociety5.0の実現に不可欠なマイクロマシン/MEMS分野及びスマートセンシング分野(以下、「マイクロマシン/MEMS分野等」という。)の一層の発展を支援するため、非営利セクターとしての利点を生かしながら、以下のとおり、基盤技術の研究開発、事業環境整備及び普及促進のための取組みを一層強化していきます。

(1) MEMS協議会事業では、まず、MEMS分野におけるオープンイノベーション実践の我が国最大の拠点となったMNOIC(マイクロナノ・オープンイノベーションセンター)について、広範なユーザーからの多様な要望に応えていくことを目指して、更なる体制整備や活動強化に努めます。
 また、スマートセンシング&ネットワーク(SSN)研究会においては、これまで実施してきたWG活動から、複数のナショナルプロジェクトが生まれるなど、一定の成果を上げてきましたが、本年度も新たなWGの立上げなどを通じ、産業技術力強化のためのプロジェクト提案を目指して研究会活動を推進します。

(2) 我が国マイクロマシン/MEMS分野等のイノベーション創出に寄与し、コネクテッド・インダストリーズの推進に貢献すべく、本年度も、以下のような国/NEDO等が主導する先端技術に係る研究開発プロジェクトや国際標準化等の推進に参加します。

  1. 学習型スマートセンシングシステム(LbSS)の研究開発
      平成28年度~令和2年度
  2. 圧電及びフレキシブルMEMSデバイスの信頼性試験及び繰返し曲げ耐久性試験方法に関する国際標準化
      平成30年度~令和2年度
  3. 振動発電エネルギーハーベスタのIoT・ウエアラブル適用拡大に向けた国際標準化
      令和元年度~令和3年度
  4. 血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイス及び行動変容促進システムの研究開発
      令和元年度~令和3年度
  5. 薄膜ナノ増強蛍光による経皮ガス成分の超高感度バイオ計測端末の開発
      令和元年度~令和3年度
  6. 量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究
      令和元年度~令和5年度
  7. 環境調和型MEMS技術の研究開発に関する戦略策定
      令和2年度

(3) その他、マイクロマシン/MEMS分野等の国内外の技術動向や産業動向の調査をはじめとする調査研究、MEMSセンシング&ネットワークシステム展の開催なども含めた内外関係機関との交流・協力、標準化の推進など、これまで当センターが推進してきた諸活動も引き続き拡充強化しつつ実施していきます。
 また、これらの活動の広報や成果発信のために、インターネット上でのホームページ、ブログ及び月例ニュース(MICRONANO Monthly)など多様な媒体を活用した情報発信・情報公開に努めます。

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2020年2月17日 (月)

MEMSセンシング&ネットワークシステム展2020 開催報告 (2020年1月29-31日)

 マイクロマシンセンター(MMC)は、1月29日から31日までの3日間、東京ビッグサイトで開催された「MEMSセンシング&ネットワークシステム展」に出展しました(写真1)。

 MMCブースでは、今年度新たに開始した2つの研究開発プロジェクト(PJと略します)「血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイスおよび行動変容促進システムの研究開発(BaMBI)」と「薄膜ナノ増強蛍光による経皮ガス成分の超高感度バイオ計測端末の開発(SNIF)」のテーマ紹介を始め、MNOIC事業、標準化事業、SSN研究会の概要などを展示しました。また、ブース入口には「マイクロマシンセンター 活動の歩み」として、上述の2PJを含む、1991年のマイクロマシン技術研究開発PJからほぼ30年間に渡る研究開発PJの歴史を展示紹介しました(写真2)。

 また、会議棟102会議室において、1月29日~30日にかけて、スマートセンシング&ネットワーク(SSN)研究会公開シンポジウム、MEMS協議会フォーラム、研究開発プロジェクト成果報告会を連続して開催しました。
 SSN研究会公開シンポジウムには、前述の今期開始したIoT社会実現のための超微小量センシング技術開発に関する2つのPJと医療・ライフサイエンスのプラットフォーム構築に有用なオリンパスのオープンAPI構想について紹介しました。
 MEMS協議会フォーラムでは「注目すべき海外でのMEMS関連トピックス、市場・技術動向」として、MEMS・IoTスマートセンサなどに関連した国際標準化や国際会議でのMEMS関連研究動向についての講演の後、西安交通大学の前田龍太郎教授から「内側から見た中国のMEMS開発動向」と題して、講演を行いました(写真3)。
 2日目の午後に開催した「超高効率データ抽出機能を有する学習型スマートセンシングシステム(LbSS:Learning-based Smart Sensing System)の研究開発」成果報告会では、プロジェクトリーダーの藤田博之先生とサブプロジェクトリーダーの日立製作所高浦則克氏、東大生産技術研究所の年吉洋先生から最新の研究成果の紹介があり、最後に「エッジデバイス向け名刺サイズCMOSアニーリングマシンの開発」と題して、日立製作所の山岡雅直氏から講演がありました。どの報告会もほぼ満員の盛況で当該分野への関心の高さが伺われました。

 2021年度も、今年度同様、Nanotech展などと同時開催で、2021年1月27~29日、東京ビッグサイト東ホールで開催予定です。

(MEMS協議会 渡辺 秀明)

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写真1 MMCブース(青)/NMEMSブース(緑)

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写真2 MMCの歴史

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写真3 MEMS協議会フォーラム

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2020年1月10日 (金)

令和2年ロボット関連3団体 新年賀詞交歓会、今年も盛況のうちに終了

 令和2年1月10日(金)12時から、(一社)日本ロボット工業会、(一財)製造科学技術センター及び(一財)マイクロマシンセンターの主催による「令和2年ロボット関連3団体 新年賀詞交歓会」を、東京プリンスホテル プロビデンスホールにて開催しました。

 開会にあたり3団体を代表しまして、(一社)日本ロボット工業会 橋本会長が、3団体の本年の抱負や重点項目への取り組みなどについて挨拶を行い、御来賓の経済産業省 髙田製造産業局長からご挨拶を賜り、続いて、(一社)日本ロボット工業会 小笠原副会長が乾杯の挨拶を行い、新年賀詞交歓会が開会しました。

 本年も、ロボット分野、マイクロマシン/MEMS分野等に関心が寄せられていることもあり、524名もの大勢の業界関係者が参集する盛況な賀詞交歓会となり、出席者は時間の許す限り、交流・歓談に花を咲かせていました。

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 この機会をお借りしまして、ご参加いただきました多くの皆様方に御礼申し上げます。

一般財団法人マイクロマシンセンター 事務局一同

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2020年1月 6日 (月)

新年のご挨拶(MMC/NMEMS 2019年10大ニュース)

 新年あけましておめでとうございます。

 本年の世界情勢としましては、米中貿易摩擦、英国のEU離脱、中東情勢等の不確実性が残ってはいますが、国内では令和の代を迎え、東京2020オリンピックによる経済効果が期待されています。オリンピックを支える技術としては、「AI」、「4K」、「5G」を核にして、「スマートホスピタリティ」、「次世代都市交通システム」、「新・超臨場感映像システム」等の開発が積極的に行われています。

 マイクロマシンセンターは、これら新技術に不可欠なスマートセンサを支えるマイクロマシン・MEMSなどのナノマイクロ分野に係る基盤技術の確立を図るべく産官学の力を結集し、国やNEDO主導の技術研究開発プロジェクトを推進しています。最近では、今後期待される人間の五感を補うセンサとして、人間がとらえられない物理量や化学量を捉えるセンサが重要との観点から、革新センシング基盤技術の研究開発に注力し、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)から2019年の10大ニュースの1番目に記載の2つのテーマを受託し、研究開発に邁進しております。また、10大ニュースの2番目に記載のように、防衛装備庁から原子時計関連のプロジェクトを採択頂けました。

 さらに、これらの研究開発を支えるMEMS試作ファンドリとしまして、2011年に開設しましたつくばの「マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)」を運営し、これまで企業・ベンチャー、国研・大学も含む100近い機関からの研究や工程の受託を行ってきており、現時点でもフル稼働の状況にあります。

 本年度は引き続き革新センシング技術の研究開発を進めるととともに、その基盤となるMEMS技術を社会が求めるSociety5.0のキー技術ととらえ、新たな技術開発やそれらの広報・普及に努めて参ります。MEMS技術の広報・普及活動の一環として、主催していますMEMSセンシング&ネットワークシステム展2020(https://www.optojapan.jp/mems/ja/)が1月29日から31日まで、東京ビッグサイト西ホールにてナノテック2020と同時開催されますので、多数のご来場をお待ちしています。

 当センターとしましては、本年もMEMS・スマートセンシング技術の開発や普及に真摯に取り組み、我が国のコネクテッド・インダストリーズの推進に微力ながらも貢献してまいりますので、引き続きご指導、ご鞭撻の程、よろしくお願い申し上げます。

 皆様方には以下の2019年の10大ニュースをご覧いただき、このような私どもの活動状況をご賢察いただければ幸いです。

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MMC/NMEMS 2019年 10大ニュース
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1.NEDO事業「IoT社会実現のための超微小量センシング技術開発」に BaMBI、SNIF の 2件が採択される
 新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の2019年度新規委託事業「IoT社会実現のための超微小量センシング技術開発」の採択4テーマのうち、マイクロマシンセンター等が提案した「血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイス及び行動変容促進システムの研究開発(BaMBI)」とNMEMS技術研究機構等が提案した「薄膜ナノ増強蛍光による経皮ガス成分の超高感度バイオ計測端末の開発(SNIF)」の2テーマが入り、それぞれ、6月及び7月から本格的な研究開発をスタートしました。
    BaMBI :  http://mirai.la.coocan.jp/bambi/
    SNIF:   http://nmems.or.jp/snif/

2.防衛装備庁安全保障技術研究推進制度に「量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究(HS-ULPAC)」が採択される
 新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の委託事業において実施致しました「センサ端末同期用原子時計(ULPAC:Ultra-Low Power Atomic Clock)の研究開発」をさらに発展させ、より高安定な原子時計を実現するための基礎研究を実施するため、防衛装備庁安全保障技術研究推進制度に応募していました「量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究(HS-ULPAC)」が2019年12月24日に採択決定されました。

3.MMC/NMEMSが受託した研究開発 5 プロジェクト(RIMS、ULPAC、UCoMS、SSI、AIRs)が目標を達成し終了
 MMC/NMEMSが受託していた研究開発 5 プロジェクトが各々目標を達成し、2019年2月、3月に終了しました。

① 道路インフラ状態モニタリング用センサシステムの研究開発(RIMS)
 本技術開発プロジェクトは、NMEMSが実施主体となり、NEDOから業務委託を受け研究開発を5年間実施したものです。
高速道路の橋梁,道路付帯物,法面を対象にして,環境エネルギーを利用した自立電源を有し,モニタリングに適した新規の小型,安価,高性能,高耐久性の無線センサ端末を開発すると共に、センシングシステムを統合した道路インフラのトータルな維持管理が可能な道路インフラモニタリングシステムを開発し、実際の高速道路での実証を進め成果を上げました。
 また、これらモニタリング技術の長大橋や発電所等の大規模インフラへの展開も検討しました。
 本プロジェクトは、2019年3月、目標を達成し終了しました。

②  センサ端末同期用原子時計の研究開発(ULPAC)
 本研究は、センサ端末間の衛星利用や有線による時刻同期を不要とすることで誰もが容易に無線センサネットワークを構築できることを目指して、2015年度よりRIMSの中の先導研究という位置づけで始まりました。
 センサ端末に実装可能なサイズや消費電力の原子時計が実現可能かを探求し、開発した原子時計プロトタイプは、移動体通信基地局などで使われている小型原子時計と同等以上の時刻精度を二桁小さな消費電力で実現し、屋外での連続稼働実験などで、その性能を実証しています。
 本プロジェクトは2019年3月に終了しましたが、センサ端末に搭載するには、さらなる精度や安定度等が必要なため、その実現を目指して新しいプロジェクトとして挑戦していきます。(➡上記の2.参照)

③ ライフラインコアモニタリングシステムの研究開発(UCoMS)
 本プロジェクトでは、振動発電によるセンシング方式と低消費電力(10年間電池交換不要な)マルチホップ無線通信により、従来のシステムに比べ導入コストを格段に低く抑え、かつ監視ポイントの増減などの現場状況の変化への柔軟な対応を可能とする振動のモニタリングシステム及び異常振動固有の周波数情報だけを収集するP型(ペットボトルキヤップサイズ)端末の開発を行いました。
 モニタリングシステムによる異常検知の検証と長期安定性・耐久性について実証を進め、2019年3月プロジェクトは成果を上げ終了しました。
 開発したシステム、端末につきましては、担当した企業により実用化・製品化の検討が進められています。

④ スマートセンシング・インタフェースの国際標準化(SSI)
 2016年度から3年間、経済産業省からの受託事業として国際標準化を進めてきましたが、目標としていた、端末モジュールからスマートセンサを制御する方式に関する規格案1件と、スマートセンサと自立電源モジュールの特性表示方法に関する規格案1件の開発を完了し、IEC(国際電気標準会議)に提案しました。
 MMC自主事業として、IECでの規格成立に向け、引き続き審議フォローアップを推進しています。(➡後述の5.参照)

⑤ 空間移動時のAI融合高精度物体認識システムの研究開発(AIRs)
 本先導研究は、2017年度のNEDO委託事業「次世代人工知能・ロボット中核技術開発/次世代人工知能技術分野(先導研究)」から2018年度「人工知能技術適用によるスマート社会の実現」/空間の移動分野(先導研究)」へと移行して実施した2年間の研究開発です。
 革新センサとしての要素技術や可視赤外光による次世代認識アルゴリズムなど、先導研究としてのすべての目標を達成し、2019年2月に研究開発を完了しました。

4.MNOIC事業が引き続き好調に推移し、MEMS産業裾野拡大に貢献
 研究開発を支えるMEMS試作ファンドリとして、2011年に開設したつくばの「マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)」も今や中小・ベンチャーを含む90社以上から、1100件を超えるご利用があり、フル稼働の状況にあります。さらに設備整備や技術向上に努めて、我が国のMEMS開発需要に応えていきます。

5.国際標準「スマートセンサの制御方式」の発行等、国際標準化事業を活発に実施
 6月12~14日、中国・蘇州にて開催されたIEC(国際電気標準会議)/TC47(半導体分野技術委員会)/SC47E(個別半導体デバイス)WG1(半導体センサ)、WG2(半導体高周波デバイス)& SC47F(MEMS)の国際標準化WG会議に出席、また、10月14~18日、中国・上海IEC(国際電気標準会議)/TC47(半導体分野技術委員会)の国際標準化全体会議に出席する等、活発に国際標準化事業を推進しており、11月に国際標準「スマートセンサの制御方式」が発行するなどの成果を上げています。

6.「学習型スマートセンシングシステムの研究開発(LbSS)」が成果を上げつつ、実証実験段階に移行
 2016年度に受託したNEDO「IoT推進のための横断技術開発プロジェクト/超高効率データ抽出機能を有する学習型スマートセンシングシステムの研究開発(LbSS)」が4年目を迎え、LbSS研究等の成果である「未利用環境振動でIoT センサを駆動するMEMS エナジーハーベスタ」が2019年度先端技術大賞の「経済産業大臣賞」を受賞する等、着実に成果を上げています。
 2019年度は、実証実験段階に移行し、実用化・事業化を目指した実証実験を行っています。

7.SSN(スマートセンシング&ネットワーク)研究会のワーキンググループが範囲を拡大し、国プロ等採択の成果に繋がる
 2015年にMEMS協議会傘下に発足したSNS研究会では、これまでもいくつかのワーキンググループ(GP)で研究開発プロジェクトの提案をまとめ、国プロ等の採択につなげてきました。
 2019年には、前述1.で採択されたBaMBIがWG8の成果として、また同じくSNIFがWG7の成果としてスタートしました。また、前述2.のHS-ULPACは、以前ULPACをスタートさせたWG3を再開して検討を継続してきたことの成果として採択されたものです。
 その他にも、WG5の「医療MEMS研究会」は引き続き国プロ等につなげるべく活動を展
開中であるなど、この先もSSN-WG活動をさらに活発化していきます。
  
8.MEMS協議会の産業交流活動の一環である「マイクロナノ先端技術交流会」及び「MEMS講習会」が活況を呈する
 マイクロマシンセンターMEMS協議会では、産業交流活動の一環として「マイクロナノ先端技術交流会」及び「MEMS講習会」を開催しております。
 2019年は、MEMS講習会2回(2月、9月)、先端技術交流会2回(2月、9月)を開催し、多くの方々のご参加を頂き、活発な意見交換が行われました。
 MEMS講習会:  http://fsic.nanomicro.biz/seminar/
 先端技術交流会: http://www.mmc.or.jp/business/kouryuukai/

9.国際マイクロマシンサミット(西安)での議論をリードするなど国際交流活動にも注力
 マイクロマシンサミットは、年に1回、世界各国・地域の代表団が集まり、マイクロマシン/ナノテクノロジー技術に関する課題や展望につき意見交換する場あり、当センターのイニシアチブで1995年から開催されています。
 2019年はその第25回として、中国西安で5月6日(月)~ 9日(木)に開催され、世界22の地域から64名のデリゲートの登録がありました。
トピックスは”Intelligent Manufacturing: Start from micromachine on a chip”で、会議を通して各国のマイクロマシン/ナノテクノロジー技術を俯瞰することができました。(国際マイクロマシンサミットでの収集資料の一部はMMC賛助会員専用ページから閲覧可となっています。)
 その他にも、国内外のイベントの機会などに、当センターのアフィリエート団体や研究者などとの交流を積極的に行っています。

10.「MEMSセンシング&ネットワークシステム展」、より高いシナジーを求め「nano tech」との同時開催に刷新
 2019年度の「MEMSセンシング&ネットワークシステム2020」は2020年1月29日-31日東京ビッグサイト (西2ホール及び会議棟)での開催となります。
 昨年、一昨年と「CEATEC」との同時開催としてきましたが、今年度は「nanotech」との同時開催とし、マイクロマシン/ナノテクノロジー技術を一堂にご覧いただける展示会としています。
 また、「MEMSセンシング&ネットワークシステム展」同時開催セミナーも充実した内容を準備しています。
 皆様のご来場をお待ちしております。

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2019年12月26日 (木)

MEMS協議会 2019年度MEMS懇話会開催(2019年12月26日)

 一般財団法人マイクロマシンセンター・MEMS協議会はMEMSを中心とした我国の産業競争力の強化を目的に、「MEMS懇話会」として、MEMS協議会正メンバーの委員と経済産業省など行政側との情報交換や意見交換を毎年年末に実施しています。2019年度MEMS懇話会は、会場を霞が関ビル35階の東海大学校友会館に移し、12月26日にマイクロマシン・MEMS分野に係る今後の課題について意見交換を行いました(写真1)。

 最初に山中康司会長(デンソー代表取締役副社長)による主催者挨拶があり、MEMS協議会の「スマートセンシング&ネットワーク研究会(SSN研究会)」から提案した、超微小量センシング技術開発に関する2テーマがNEDOのプロジェクトに採択され、順調に研究を進めていることなどが紹介されました。その後、経済産業省産業機械課長玉井優子氏から最近の経済、産業動向として、「令和2年度(2020年度)税制改正と経済産業省関係当初予算案のポイント」についてと今里和之技術振興・大学連携推進課長から、「イノベーションマネジメント」と題し、日本企業のイノベーション力の現状と価値創造マネジメントに関する行動指針についての紹介がありました(写真2)。

 続いて長谷川MEMS協議会事務局長 から、産業・研究開発動向で日本のMEMSセンサ市場規模として、1,400億円であることなどが紹介され、経済産業省、NEDO,産総研との意見交換が始まりました。今年度のテーマは「「持続可能な開発目標」(Sustainable Development Goals:SDGs)の達成に向けた、自社のMEMSに対する取組みと、行政・国研への要望について」であり、SDGsに向けた製品・サービス実現のために、MEMS技術はキーデバイスや差別化機能に大きく関わっていることなどが発表され、それを受けて、経済省、NEDO、産総研から、イノベーションを成功させるためには結局人材育成が鍵となることなどのコメントが出されました。懇話会に引き続き、参加メンバー間の懇親会を開き、会員相互の懇親を深め、イノベーションエコシステムなどで深い議論がなされました(写真3)。

Photo1_20200109182401 写真1 MEMS懇話会 

Photo2_20200109182401 写真2 玉井産業機械課長(左)と今里技術振興・大学連携推進課長(右)による経済・政策動向説明


Photo3_20200109182401写真3 MEMS懇話会懇親会

(MEMS協議会 渡辺秀明)

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