活動全般

2020年4月20日 (月)

マイクロマシンセンター 令和2年度 事業計画について

 令和2年度事業において一般財団法人マイクロマシンセンターは、政府が推進するコネクテッド・インダストリーズによるSociety5.0の実現に不可欠なマイクロマシン/MEMS分野及びスマートセンシング分野(以下、「マイクロマシン/MEMS分野等」という。)の一層の発展を支援するため、非営利セクターとしての利点を生かしながら、以下のとおり、基盤技術の研究開発、事業環境整備及び普及促進のための取組みを一層強化していきます。

(1) MEMS協議会事業では、まず、MEMS分野におけるオープンイノベーション実践の我が国最大の拠点となったMNOIC(マイクロナノ・オープンイノベーションセンター)について、広範なユーザーからの多様な要望に応えていくことを目指して、更なる体制整備や活動強化に努めます。
 また、スマートセンシング&ネットワーク(SSN)研究会においては、これまで実施してきたWG活動から、複数のナショナルプロジェクトが生まれるなど、一定の成果を上げてきましたが、本年度も新たなWGの立上げなどを通じ、産業技術力強化のためのプロジェクト提案を目指して研究会活動を推進します。

(2) 我が国マイクロマシン/MEMS分野等のイノベーション創出に寄与し、コネクテッド・インダストリーズの推進に貢献すべく、本年度も、以下のような国/NEDO等が主導する先端技術に係る研究開発プロジェクトや国際標準化等の推進に参加します。

  1. 学習型スマートセンシングシステム(LbSS)の研究開発
      平成28年度~令和2年度
  2. 圧電及びフレキシブルMEMSデバイスの信頼性試験及び繰返し曲げ耐久性試験方法に関する国際標準化
      平成30年度~令和2年度
  3. 振動発電エネルギーハーベスタのIoT・ウエアラブル適用拡大に向けた国際標準化
      令和元年度~令和3年度
  4. 血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイス及び行動変容促進システムの研究開発
      令和元年度~令和3年度
  5. 薄膜ナノ増強蛍光による経皮ガス成分の超高感度バイオ計測端末の開発
      令和元年度~令和3年度
  6. 量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究
      令和元年度~令和5年度
  7. 環境調和型MEMS技術の研究開発に関する戦略策定
      令和2年度

(3) その他、マイクロマシン/MEMS分野等の国内外の技術動向や産業動向の調査をはじめとする調査研究、MEMSセンシング&ネットワークシステム展の開催なども含めた内外関係機関との交流・協力、標準化の推進など、これまで当センターが推進してきた諸活動も引き続き拡充強化しつつ実施していきます。
 また、これらの活動の広報や成果発信のために、インターネット上でのホームページ、ブログ及び月例ニュース(MICRONANO Monthly)など多様な媒体を活用した情報発信・情報公開に努めます。

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2020年2月17日 (月)

MEMSセンシング&ネットワークシステム展2020 開催報告 (2020年1月29-31日)

 マイクロマシンセンター(MMC)は、1月29日から31日までの3日間、東京ビッグサイトで開催された「MEMSセンシング&ネットワークシステム展」に出展しました(写真1)。

 MMCブースでは、今年度新たに開始した2つの研究開発プロジェクト(PJと略します)「血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイスおよび行動変容促進システムの研究開発(BaMBI)」と「薄膜ナノ増強蛍光による経皮ガス成分の超高感度バイオ計測端末の開発(SNIF)」のテーマ紹介を始め、MNOIC事業、標準化事業、SSN研究会の概要などを展示しました。また、ブース入口には「マイクロマシンセンター 活動の歩み」として、上述の2PJを含む、1991年のマイクロマシン技術研究開発PJからほぼ30年間に渡る研究開発PJの歴史を展示紹介しました(写真2)。

 また、会議棟102会議室において、1月29日~30日にかけて、スマートセンシング&ネットワーク(SSN)研究会公開シンポジウム、MEMS協議会フォーラム、研究開発プロジェクト成果報告会を連続して開催しました。
 SSN研究会公開シンポジウムには、前述の今期開始したIoT社会実現のための超微小量センシング技術開発に関する2つのPJと医療・ライフサイエンスのプラットフォーム構築に有用なオリンパスのオープンAPI構想について紹介しました。
 MEMS協議会フォーラムでは「注目すべき海外でのMEMS関連トピックス、市場・技術動向」として、MEMS・IoTスマートセンサなどに関連した国際標準化や国際会議でのMEMS関連研究動向についての講演の後、西安交通大学の前田龍太郎教授から「内側から見た中国のMEMS開発動向」と題して、講演を行いました(写真3)。
 2日目の午後に開催した「超高効率データ抽出機能を有する学習型スマートセンシングシステム(LbSS:Learning-based Smart Sensing System)の研究開発」成果報告会では、プロジェクトリーダーの藤田博之先生とサブプロジェクトリーダーの日立製作所高浦則克氏、東大生産技術研究所の年吉洋先生から最新の研究成果の紹介があり、最後に「エッジデバイス向け名刺サイズCMOSアニーリングマシンの開発」と題して、日立製作所の山岡雅直氏から講演がありました。どの報告会もほぼ満員の盛況で当該分野への関心の高さが伺われました。

 2021年度も、今年度同様、Nanotech展などと同時開催で、2021年1月27~29日、東京ビッグサイト東ホールで開催予定です。

(MEMS協議会 渡辺 秀明)

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写真1 MMCブース(青)/NMEMSブース(緑)

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写真2 MMCの歴史

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写真3 MEMS協議会フォーラム

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2020年1月10日 (金)

令和2年ロボット関連3団体 新年賀詞交歓会、今年も盛況のうちに終了

 令和2年1月10日(金)12時から、(一社)日本ロボット工業会、(一財)製造科学技術センター及び(一財)マイクロマシンセンターの主催による「令和2年ロボット関連3団体 新年賀詞交歓会」を、東京プリンスホテル プロビデンスホールにて開催しました。

 開会にあたり3団体を代表しまして、(一社)日本ロボット工業会 橋本会長が、3団体の本年の抱負や重点項目への取り組みなどについて挨拶を行い、御来賓の経済産業省 髙田製造産業局長からご挨拶を賜り、続いて、(一社)日本ロボット工業会 小笠原副会長が乾杯の挨拶を行い、新年賀詞交歓会が開会しました。

 本年も、ロボット分野、マイクロマシン/MEMS分野等に関心が寄せられていることもあり、524名もの大勢の業界関係者が参集する盛況な賀詞交歓会となり、出席者は時間の許す限り、交流・歓談に花を咲かせていました。

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 この機会をお借りしまして、ご参加いただきました多くの皆様方に御礼申し上げます。

一般財団法人マイクロマシンセンター 事務局一同

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2020年1月 6日 (月)

新年のご挨拶(MMC/NMEMS 2019年10大ニュース)

 新年あけましておめでとうございます。

 本年の世界情勢としましては、米中貿易摩擦、英国のEU離脱、中東情勢等の不確実性が残ってはいますが、国内では令和の代を迎え、東京2020オリンピックによる経済効果が期待されています。オリンピックを支える技術としては、「AI」、「4K」、「5G」を核にして、「スマートホスピタリティ」、「次世代都市交通システム」、「新・超臨場感映像システム」等の開発が積極的に行われています。

 マイクロマシンセンターは、これら新技術に不可欠なスマートセンサを支えるマイクロマシン・MEMSなどのナノマイクロ分野に係る基盤技術の確立を図るべく産官学の力を結集し、国やNEDO主導の技術研究開発プロジェクトを推進しています。最近では、今後期待される人間の五感を補うセンサとして、人間がとらえられない物理量や化学量を捉えるセンサが重要との観点から、革新センシング基盤技術の研究開発に注力し、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)から2019年の10大ニュースの1番目に記載の2つのテーマを受託し、研究開発に邁進しております。また、10大ニュースの2番目に記載のように、防衛装備庁から原子時計関連のプロジェクトを採択頂けました。

 さらに、これらの研究開発を支えるMEMS試作ファンドリとしまして、2011年に開設しましたつくばの「マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)」を運営し、これまで企業・ベンチャー、国研・大学も含む100近い機関からの研究や工程の受託を行ってきており、現時点でもフル稼働の状況にあります。

 本年度は引き続き革新センシング技術の研究開発を進めるととともに、その基盤となるMEMS技術を社会が求めるSociety5.0のキー技術ととらえ、新たな技術開発やそれらの広報・普及に努めて参ります。MEMS技術の広報・普及活動の一環として、主催していますMEMSセンシング&ネットワークシステム展2020(https://www.optojapan.jp/mems/ja/)が1月29日から31日まで、東京ビッグサイト西ホールにてナノテック2020と同時開催されますので、多数のご来場をお待ちしています。

 当センターとしましては、本年もMEMS・スマートセンシング技術の開発や普及に真摯に取り組み、我が国のコネクテッド・インダストリーズの推進に微力ながらも貢献してまいりますので、引き続きご指導、ご鞭撻の程、よろしくお願い申し上げます。

 皆様方には以下の2019年の10大ニュースをご覧いただき、このような私どもの活動状況をご賢察いただければ幸いです。

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MMC/NMEMS 2019年 10大ニュース
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1.NEDO事業「IoT社会実現のための超微小量センシング技術開発」に BaMBI、SNIF の 2件が採択される
 新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の2019年度新規委託事業「IoT社会実現のための超微小量センシング技術開発」の採択4テーマのうち、マイクロマシンセンター等が提案した「血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイス及び行動変容促進システムの研究開発(BaMBI)」とNMEMS技術研究機構等が提案した「薄膜ナノ増強蛍光による経皮ガス成分の超高感度バイオ計測端末の開発(SNIF)」の2テーマが入り、それぞれ、6月及び7月から本格的な研究開発をスタートしました。
    BaMBI :  http://mirai.la.coocan.jp/bambi/
    SNIF:   http://nmems.or.jp/snif/

2.防衛装備庁安全保障技術研究推進制度に「量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究(HS-ULPAC)」が採択される
 新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の委託事業において実施致しました「センサ端末同期用原子時計(ULPAC:Ultra-Low Power Atomic Clock)の研究開発」をさらに発展させ、より高安定な原子時計を実現するための基礎研究を実施するため、防衛装備庁安全保障技術研究推進制度に応募していました「量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究(HS-ULPAC)」が2019年12月24日に採択決定されました。

3.MMC/NMEMSが受託した研究開発 5 プロジェクト(RIMS、ULPAC、UCoMS、SSI、AIRs)が目標を達成し終了
 MMC/NMEMSが受託していた研究開発 5 プロジェクトが各々目標を達成し、2019年2月、3月に終了しました。

① 道路インフラ状態モニタリング用センサシステムの研究開発(RIMS)
 本技術開発プロジェクトは、NMEMSが実施主体となり、NEDOから業務委託を受け研究開発を5年間実施したものです。
高速道路の橋梁,道路付帯物,法面を対象にして,環境エネルギーを利用した自立電源を有し,モニタリングに適した新規の小型,安価,高性能,高耐久性の無線センサ端末を開発すると共に、センシングシステムを統合した道路インフラのトータルな維持管理が可能な道路インフラモニタリングシステムを開発し、実際の高速道路での実証を進め成果を上げました。
 また、これらモニタリング技術の長大橋や発電所等の大規模インフラへの展開も検討しました。
 本プロジェクトは、2019年3月、目標を達成し終了しました。

②  センサ端末同期用原子時計の研究開発(ULPAC)
 本研究は、センサ端末間の衛星利用や有線による時刻同期を不要とすることで誰もが容易に無線センサネットワークを構築できることを目指して、2015年度よりRIMSの中の先導研究という位置づけで始まりました。
 センサ端末に実装可能なサイズや消費電力の原子時計が実現可能かを探求し、開発した原子時計プロトタイプは、移動体通信基地局などで使われている小型原子時計と同等以上の時刻精度を二桁小さな消費電力で実現し、屋外での連続稼働実験などで、その性能を実証しています。
 本プロジェクトは2019年3月に終了しましたが、センサ端末に搭載するには、さらなる精度や安定度等が必要なため、その実現を目指して新しいプロジェクトとして挑戦していきます。(➡上記の2.参照)

③ ライフラインコアモニタリングシステムの研究開発(UCoMS)
 本プロジェクトでは、振動発電によるセンシング方式と低消費電力(10年間電池交換不要な)マルチホップ無線通信により、従来のシステムに比べ導入コストを格段に低く抑え、かつ監視ポイントの増減などの現場状況の変化への柔軟な対応を可能とする振動のモニタリングシステム及び異常振動固有の周波数情報だけを収集するP型(ペットボトルキヤップサイズ)端末の開発を行いました。
 モニタリングシステムによる異常検知の検証と長期安定性・耐久性について実証を進め、2019年3月プロジェクトは成果を上げ終了しました。
 開発したシステム、端末につきましては、担当した企業により実用化・製品化の検討が進められています。

④ スマートセンシング・インタフェースの国際標準化(SSI)
 2016年度から3年間、経済産業省からの受託事業として国際標準化を進めてきましたが、目標としていた、端末モジュールからスマートセンサを制御する方式に関する規格案1件と、スマートセンサと自立電源モジュールの特性表示方法に関する規格案1件の開発を完了し、IEC(国際電気標準会議)に提案しました。
 MMC自主事業として、IECでの規格成立に向け、引き続き審議フォローアップを推進しています。(➡後述の5.参照)

⑤ 空間移動時のAI融合高精度物体認識システムの研究開発(AIRs)
 本先導研究は、2017年度のNEDO委託事業「次世代人工知能・ロボット中核技術開発/次世代人工知能技術分野(先導研究)」から2018年度「人工知能技術適用によるスマート社会の実現」/空間の移動分野(先導研究)」へと移行して実施した2年間の研究開発です。
 革新センサとしての要素技術や可視赤外光による次世代認識アルゴリズムなど、先導研究としてのすべての目標を達成し、2019年2月に研究開発を完了しました。

4.MNOIC事業が引き続き好調に推移し、MEMS産業裾野拡大に貢献
 研究開発を支えるMEMS試作ファンドリとして、2011年に開設したつくばの「マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)」も今や中小・ベンチャーを含む90社以上から、1100件を超えるご利用があり、フル稼働の状況にあります。さらに設備整備や技術向上に努めて、我が国のMEMS開発需要に応えていきます。

5.国際標準「スマートセンサの制御方式」の発行等、国際標準化事業を活発に実施
 6月12~14日、中国・蘇州にて開催されたIEC(国際電気標準会議)/TC47(半導体分野技術委員会)/SC47E(個別半導体デバイス)WG1(半導体センサ)、WG2(半導体高周波デバイス)& SC47F(MEMS)の国際標準化WG会議に出席、また、10月14~18日、中国・上海IEC(国際電気標準会議)/TC47(半導体分野技術委員会)の国際標準化全体会議に出席する等、活発に国際標準化事業を推進しており、11月に国際標準「スマートセンサの制御方式」が発行するなどの成果を上げています。

6.「学習型スマートセンシングシステムの研究開発(LbSS)」が成果を上げつつ、実証実験段階に移行
 2016年度に受託したNEDO「IoT推進のための横断技術開発プロジェクト/超高効率データ抽出機能を有する学習型スマートセンシングシステムの研究開発(LbSS)」が4年目を迎え、LbSS研究等の成果である「未利用環境振動でIoT センサを駆動するMEMS エナジーハーベスタ」が2019年度先端技術大賞の「経済産業大臣賞」を受賞する等、着実に成果を上げています。
 2019年度は、実証実験段階に移行し、実用化・事業化を目指した実証実験を行っています。

7.SSN(スマートセンシング&ネットワーク)研究会のワーキンググループが範囲を拡大し、国プロ等採択の成果に繋がる
 2015年にMEMS協議会傘下に発足したSNS研究会では、これまでもいくつかのワーキンググループ(GP)で研究開発プロジェクトの提案をまとめ、国プロ等の採択につなげてきました。
 2019年には、前述1.で採択されたBaMBIがWG8の成果として、また同じくSNIFがWG7の成果としてスタートしました。また、前述2.のHS-ULPACは、以前ULPACをスタートさせたWG3を再開して検討を継続してきたことの成果として採択されたものです。
 その他にも、WG5の「医療MEMS研究会」は引き続き国プロ等につなげるべく活動を展
開中であるなど、この先もSSN-WG活動をさらに活発化していきます。
  
8.MEMS協議会の産業交流活動の一環である「マイクロナノ先端技術交流会」及び「MEMS講習会」が活況を呈する
 マイクロマシンセンターMEMS協議会では、産業交流活動の一環として「マイクロナノ先端技術交流会」及び「MEMS講習会」を開催しております。
 2019年は、MEMS講習会2回(2月、9月)、先端技術交流会2回(2月、9月)を開催し、多くの方々のご参加を頂き、活発な意見交換が行われました。
 MEMS講習会:  http://fsic.nanomicro.biz/seminar/
 先端技術交流会: http://www.mmc.or.jp/business/kouryuukai/

9.国際マイクロマシンサミット(西安)での議論をリードするなど国際交流活動にも注力
 マイクロマシンサミットは、年に1回、世界各国・地域の代表団が集まり、マイクロマシン/ナノテクノロジー技術に関する課題や展望につき意見交換する場あり、当センターのイニシアチブで1995年から開催されています。
 2019年はその第25回として、中国西安で5月6日(月)~ 9日(木)に開催され、世界22の地域から64名のデリゲートの登録がありました。
トピックスは”Intelligent Manufacturing: Start from micromachine on a chip”で、会議を通して各国のマイクロマシン/ナノテクノロジー技術を俯瞰することができました。(国際マイクロマシンサミットでの収集資料の一部はMMC賛助会員専用ページから閲覧可となっています。)
 その他にも、国内外のイベントの機会などに、当センターのアフィリエート団体や研究者などとの交流を積極的に行っています。

10.「MEMSセンシング&ネットワークシステム展」、より高いシナジーを求め「nano tech」との同時開催に刷新
 2019年度の「MEMSセンシング&ネットワークシステム2020」は2020年1月29日-31日東京ビッグサイト (西2ホール及び会議棟)での開催となります。
 昨年、一昨年と「CEATEC」との同時開催としてきましたが、今年度は「nanotech」との同時開催とし、マイクロマシン/ナノテクノロジー技術を一堂にご覧いただける展示会としています。
 また、「MEMSセンシング&ネットワークシステム展」同時開催セミナーも充実した内容を準備しています。
 皆様のご来場をお待ちしております。

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2019年12月26日 (木)

MEMS協議会 2019年度MEMS懇話会開催(2019年12月26日)

 一般財団法人マイクロマシンセンター・MEMS協議会はMEMSを中心とした我国の産業競争力の強化を目的に、「MEMS懇話会」として、MEMS協議会正メンバーの委員と経済産業省など行政側との情報交換や意見交換を毎年年末に実施しています。2019年度MEMS懇話会は、会場を霞が関ビル35階の東海大学校友会館に移し、12月26日にマイクロマシン・MEMS分野に係る今後の課題について意見交換を行いました(写真1)。

 最初に山中康司会長(デンソー代表取締役副社長)による主催者挨拶があり、MEMS協議会の「スマートセンシング&ネットワーク研究会(SSN研究会)」から提案した、超微小量センシング技術開発に関する2テーマがNEDOのプロジェクトに採択され、順調に研究を進めていることなどが紹介されました。その後、経済産業省産業機械課長玉井優子氏から最近の経済、産業動向として、「令和2年度(2020年度)税制改正と経済産業省関係当初予算案のポイント」についてと今里和之技術振興・大学連携推進課長から、「イノベーションマネジメント」と題し、日本企業のイノベーション力の現状と価値創造マネジメントに関する行動指針についての紹介がありました(写真2)。

 続いて長谷川MEMS協議会事務局長 から、産業・研究開発動向で日本のMEMSセンサ市場規模として、1,400億円であることなどが紹介され、経済産業省、NEDO,産総研との意見交換が始まりました。今年度のテーマは「「持続可能な開発目標」(Sustainable Development Goals:SDGs)の達成に向けた、自社のMEMSに対する取組みと、行政・国研への要望について」であり、SDGsに向けた製品・サービス実現のために、MEMS技術はキーデバイスや差別化機能に大きく関わっていることなどが発表され、それを受けて、経済省、NEDO、産総研から、イノベーションを成功させるためには結局人材育成が鍵となることなどのコメントが出されました。懇話会に引き続き、参加メンバー間の懇親会を開き、会員相互の懇親を深め、イノベーションエコシステムなどで深い議論がなされました(写真3)。

Photo1_20200109182401 写真1 MEMS懇話会 

Photo2_20200109182401 写真2 玉井産業機械課長(左)と今里技術振興・大学連携推進課長(右)による経済・政策動向説明


Photo3_20200109182401写真3 MEMS懇話会懇親会

(MEMS協議会 渡辺秀明)

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2019年7月24日 (水)

JCK MEMS/NEMS 2019 参加報告(7月16日-18日)

7月16日(火)から7月18日(木)に北海道の旭川クリスタルホールで開催されましたJCK MEMS/NEMS 2019に国際交流活動の一環として、参加するとともに、今年の3月に終了したRIMSプロジェクトの成果広報を行って参りましたので、報告致します。JCK MEMS/NEMS 2019は今年記念すべき第10回を迎えた日本―中国-韓国のMEMS/NEMSに関するジョイントの会議です。 2006年に第1回が開催された中国と日本のMEMS/NEMSのジョイントセミナー(第1回:2006年、北京、第2回:2007年、東京、第3回:2009年、無錫)と2008年に釜山で開催された第1回の日本と韓国のMEMS/NEMSのジョイントセミナーを合体させ、2010年に日本―中国―韓国のジョイント会議として第1回JCK MEMS/NEMSが 札幌で開催されました。それ以降以下のように、日本、中国、韓国が持ち回りで開催し、今回第10回を迎えました。


・第1回:2010年、日本、札幌、(投稿数:34)
・第2回:2011年、韓国、済州島、(投稿数:46)
・第3回:2012年、中国、上海、(投稿数:57)
・第4回:2013年、日本、仙台、(投稿数:60)
・第5回:2014年、韓国、ソウル、(投稿数:23)
・第6回:2015年、中国、西安、(投稿数:38)
・第7回:2016年、日本、札幌、(投稿数:41)
・第8回:2017年、韓国、ソウル、(投稿数:40)
・第9回:2018年、中国、大連、(投稿数:65)
・第10回:2019年、日本、旭川、(投稿数:75)


今回は第10回の記念大会ということもあり、投稿数は過去最多になり、99人(中国26人、韓国17人、日本37人、企業14人、US1人、台湾1人、シンガポール1人、ベトナム2人)の参加がありました。今回のジェネラルチェアは鳥取大学の李教授でした。李教授による開会挨拶の様子を写真1に示します。

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写真1 李教授開会の挨拶の様子


第10回の記念大会ということで、メモリアルトークとして、江刺先生(元東北大教授、現(株)メムス・コアCTO)から「MEMS on LSI for Heterogeneous Integration and Hands-On Access Fabrication」と題する講演(写真2:江刺先生の講演の様子、写真3:会場の様子)がありました。

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写真2 江刺先生のメモリアルトークの様子

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写真3 会場の様子


その他に以下の4件のプレナリートークと4件の招待講演がありました。
【プレナリートーク】
① Moving from IoT to 5G Era - Si MEMS and Flexible Sensors (Chengkuo Lee, National University of Singapore)
② Micro/Nano Manufacturing and Its Applications ? Under One Roof Report ? Part VII (Dongfang Wang, Jilin University)
③ Opportunities and Challenges of Vitro Diagnostic Rapid Tests (Yu-Cheng Lin, National Cheng Kung University)
④Advancement of Micro/Nano Electro-Hydro-Dynamic Printing (Sukhan Lee, Sungkyunkwan University)


【招待講演】
① Flexible and Stretchable Energy Storage Devices (Seung-Min Hyun, Korea Institute of Machinery & Materials)
② Directing and Visualizing Mechanical Motion at the Nanoscale (Zenghui Wang, University of Electronic Science and Technology of China)
③ Current status of Korea’s Additive Manufacturing Technology (Nak-Kyu Lee, Korea Institute of Industrial Technology)
④ Large Scale Production of Metal Oxide Nanoribbons Using Scratch Lithography (Jeong-O Lee, Korea Research Institute of Chemical Technology)


プレナリートーク②ではWang先生(写真4:Wang先生講演の様子)が、これまでの10回のJCK MEMS/NEMSを外観するとともに、他の分野での日本―中国―韓国 (JCK)のジョイント会議にも言及し、工学以外でもバイオメディカル、化学、教育、地理学の分野でも日本、中国、韓国の交流が活発に行われている状況の説明があり、MEMS/NEMS分野でもこの10回の記念大会をマイルストーンに、「一つ屋根の下」として、さらに20年、30年を目指して発展させていこうとの呼びかけがありました。

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写真4 Wong先生講演の様子


一般セッションでは、24件の口頭発表と41件のポスター発表(写真5:ポスターセッションの様子)がありました。トップの口頭発表としては、慶応大学の三木教授より「MEMS-Based Human Interface Devices」と題する発表がありました。キャンドルタイプのポリマーベースのマイクロニードルにより、髪の毛のある通常の状態での人間の脳の活動計測が可能なことが示されました。武田もNEDO委託事業として実施したRIMS(Road Infrastructure Monitoring System)プロジェクトの紹介を口頭発表(写真6:武田講演の様子)致しました。非常に興味深い発表だとのコメントを多数頂き、RIMSの研究成果の広報ができたと考えます。

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写真5 ポスターセッションの様子

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写真6 武田講演の様子

今回JCK MEMS/NEMS2019に出席して、隣国の中国、韓国の研究者と活発に議論ができ、MMCの国際交流活動の一環としても成果を上げられたと思っています。また、JCK MEMS/NEMSは、最近では3国の研究者のネットワーキングを使って、シンガポールやベトナム等の東南アジアからの参加者もくるようになっており、より大きなコミュニティに発展してきているとの印象を受けました。次回のJCK MEMS/NEMS 2020は2020年7月1日~3日に韓国、高陽市にあるKINTEX(Korea International Exhibition Center)で開催されますが、引き続きMEMS/NEMS分野の国際交流の場として活用していきたいと思います。

(MEMS協議会 国際交流担当 武田 宗久)

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2019年7月 3日 (水)

MEMS協議会推進委員会、メンバー交流会を開催しました(6/28)

令和になって初めての2019年度MEMS協議会推進委員会を6月28日、東京・秋葉原のマイクロマシンセンター(MMC)の7階テクノサロンにて開催しました。経済産業省からは、産業機械課に加え情報産業課、医療・福祉機器産業室、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)からは、ロボット・AI部をはじめ3部、さらに産業技術総合研究所からのご来賓を交えて、MEMS協議会正メンバー会員企業からの委員ら総勢30名余りが集まりました(写真1)。

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写真1 MEMS協議会推進委員会

 まずはじめに山中康司理事長・MEMS協議会会長(株式会社デンソー代表取締役副社長)による主催者挨拶があり、最近のトピックスとして、超微小量センシング技術開発に、SSN研究会から2件を提案し、どちらも採択されたこと、2つ目は、MNOIC事業が、ボトルネックとなっていた製造装置を購入し、今年度更新を予定していることが紹介されました(写真2)。

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写真2 山中MEMS協議会長挨拶

 つぎに、経済産業省産業機械課長の玉井優子氏から、MEMS協議会会員各位には長年に渡り、MEMS研究開発、MNOIC事業、標準化事業など様々な分野で協力いただき感謝する旨のご挨拶がありました(写真3)。

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写真3 玉井産機課長ご挨拶

 MEMS協議会推進委員会では、今年度の活動計画並びに当センターで取組んでいる研究開発プロジェクトの状況などについて報告があり、行政などへの政策提言を効果的に行うには、もっと一般の人たちにもわかりやすいアドバルーンを上げるような活動や資料作りが必要であるなどの、活発な議論がありました。この後、アソシエートメンバーと個人会員も含め約50名を超える参加者で行われたメンバー交流会では、産官連携研究の進め方やIoT社会の実現に必要不可欠なセンサについての基盤技術についての議論も活発に行われました。

(MEMS協議会 渡辺 秀明)

 

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2019年1月11日 (金)

平成31年ロボット関連3団体 新年賀詞交歓会、今年も盛況のうちに終了

 平成31年1月11日(金)12時から、(一社)日本ロボット工業会、(一財)製造科学技術センター及び(一財)マイクロマシンセンターの主催による「平成31年ロボット関連3団体 新年賀詞交歓会」を、東京プリンスホテル プロビデンスホールにて開催いたしました。

 開会にあたり3団体を代表しまして、(一社)日本ロボット工業会 橋本会長が、3団体における本年の抱負や重点項目への取り組みなどについて挨拶を行い、御来賓の井上経済産業省製造産業局長からご祝辞を賜り、続いて、石塚NEDO理事長から乾杯のご挨拶を賜りました。

 本年も、「Society5.0」の実現に向けて政府が打ち出した「コネクテッド・インダストリーズ」の推進に欠かせない、ロボット分野、マイクロマシン/MEMS分野に関心が寄せられていることもあり、昨年(535人)より多い577名もの大勢の業界関係者が参集する盛況な賀詞交歓会となり、出席者は時間の許す限り、交流・歓談に花を咲かせていました。


 この機会をお借りしまして、ご参加いただきました多くの皆様方に御礼申し上げます。

一般財団法人マイクロマシンセンター 事務局一同

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2019年1月 4日 (金)

2018年MMC十大ニュース決まる

 マイクロマシンセンターでは、2018年の10大ニュースを選択いたしました。私どもの活動状況をご賢察いただければ幸いです。

1.インフラモニタリングプロジェクト(RIMS、UCoMS)、最終年度の開発実証試験成果が各種シンポジウム、展示会で注目
 新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の委託事業「インフラ維持管理・更新等の社会課題対応システム開発プロジェクト」において、技術研究組合NMEMS技術研究機構(以下NMEMS組合)が提案した「道路インフラ状態モニタリング用センサシステムの研究開発」及び社会・産業インフラ維持管理・更新等の重要な社会課題の一つである都市機能を支えるライフライン系の都市インフラ(電気、ガス、上下水道、情報、エネルギー)の安全な保全のためのセンサーモニタリングシステムの研究開発の最終年度の実施を行いました。
 これらの成果は、国内外で開催された学会、シンポジウム、展示会等で広く発表を行い多くの関心を集めました。

2.スマートセンシング・インターフェース国際標準化案がIECで1年前倒しでNP提案が承認され審議入り
 IEC(国際電気標準会議)/TC47(半導体分野技術委員会)/SC47F(MEMS分野分科委員会)にて、提案を行っておりました、「スマートセンサの制御方式」が、2018年、NP(New work item Proposal)承認され審議が開始されました。
 IEC国際標準化SC47E/WG1,2F合同アドホック会議において「スマートセンサの制御方式」について、IECへのNP(New work item Proposal)投票が完了し、エキスパート参加国6か国でNP承認(参加国4か国以上が必要)された旨、また、韓国・米国からそれぞれ1件ずつあげられたコメントへの対応方針を各国に説明しました。

3.MNOICの工程受託活動がPR拡大等により引き続き右肩上がりで推移
 研究開発を支えるMEMS試作ファンドリとして、7年前に開設したつくばの「マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)」も今や中小・ベンチャーを含む40社以上からの研究や工程の受託により、フル稼働の状況にあります。さらに設備整備や技術向上に努めて、我が国のMEMS開発需要に応えてまいります。

4. MMC理事長が山西氏から山中氏に交代、MMCの新体制が始動
 2018年度はマイクロマシンセンター理事の改選期にあたり、MEMS理事会において2期4年にわたり当協議会会長(MMC理事長)を務めて頂いた山西健一郎三菱電機相談役から山中康司株式会社デンソー代表取締役副社長(MEMS協議会会長も兼ねる)に理事長が交代されました。
 新理事長には、続いて開催したMEMS協議会推進委員会において挨拶及び最近のトピックスとして1つはスマートセンシング&ネットワーク研究会(SSN研究会)に、医療MEMS研究会などのワーキンググループを設置し、新テーマ発掘に努めていること、二つ目は、設立から8年目のMNOIC事業が、2020年以降も事業の持続的拡大に向け、現場中心に着実に改善活動を進めていることを述べられました。

5. MEMS講習会、マイクロナノ先端技術交流会、海外調査報告会等セミナーが多くの技術者を集め活況
 マイクロマシンセンターでは、MEMS講習会、マイクナノ先端技術交流会、海外調査報告会を開催しており、多くの技術者の参加を頂き活発な意見交換が行われています。
 MEMS講習会は年2回開催し、そのうち1回は地方で開催しています。2018年は2月に九州で開催し、地方でのMEMS技術の普及に貢献しています。
 先端技術交流会は第2回医療MEMS研究会と兼ねて、「生体モニタリングの最前線」をテーマとして開催し、MEMS及び医療関係の技術者と意見交換が行われました。
 海外調査報告会は、MEMS関連の海外調査及び国際標準化の最新状況について国際交流事業の一環として報告するものです。毎年のように北米や欧州を中心に学会等のイベント、海外の大学や研究施設、関連企業の訪問見学の報告を行っています。

6. MEMSセンシング&ネットワークシステム展2018、盛況でビジネスチャンスが拡大
 2018年 10月 17日(水) から19日(金)まで幕張メッセで開催された「MEMS センシング&ネットワークシステム展 2018」は、3日間の開催期間を終え、盛況の内に閉幕しました。来場された皆様方に御礼申し上げます。

 初日は、展示会場内特設ステージでMEMS協議会フォーラムを10:00から12:30まで開催いたしました。2日目は、国際会議室で研究開発プロジェクト成果報告会を開催いたしました。最終日は、国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム及びスマートセンシング&ネットワーク(SSN)研究会公開シンポジウムが10:00から16:05まで開催致しました。何れのシンポジウムも多くの聴衆が熱心に聞き入っておりました。
 会期中の様子は以下を参照ください。
 (初日)
http://www.nanomicro.biz/mems/2018/10/mems2018-be33.html
 (2日目)
http://www.nanomicro.biz/mems/2018/10/mems2018-9487.html
 (3日目)
http://www.nanomicro.biz/mems/2018/10/mems2018-fd87.html

 今回ご来場頂きました皆様に御礼申し上げます。

 次回は2020年1月29日(水)~31日(金)に、東京ビッグサイトにおいて、nano tech2020と同時開催を予定しております。
 次回もご来場頂けますよう関係者一同お待ちしております。

7. マイクロマシンサミット2018への参加や海外アフィリエート交流など、国際交流事業を活性化
 マイクロマシンサミットは、年に1回、世界各国・地域の代表団が集まり、マイクロマシン/ナノテクノロジーに関する課題や展望につき意見交換する場です。日本の提案により平成7年3月に京都で開催されたのが始まりで、以後、各国持ち回りで開催されています。
 2018年は5月14日(月)から16日(水)までアルゼンチンのブエノスアイレスで開催されました。南米での開催は、2014年にブラジル・サンパウロに続く2回目になります。今回のトピックスは、農業や畜産大国のアルゼンチンらしく”Agro-food & Environment. Other related applications and results from new and highly relevant R&D actions”でした。
 次回、2019年のマイクロマシンサミットは、中国・西安(Xi’an)で開催されることが決まりました。コーディネータはNorthwestern Polytechnical UniversityのWeizheng Yuan教授です。

8. LbSSプロジェクトも中間(5年のうち3年)に差し掛かり、成果が現実化
 本研究開発では、工場等の設備の稼働状況等の把握を目的とするスマートセンサモジュール、高効率MEH(Micro Energy Harvester)などの自立電源、及びスマートセンシングフロントエンド回路を開発し、動的センシング制御可能な無給電のスマートセンサ端末を実現します。さらに、同時に開発する学習型スマートコンセントレータとの連携により、従来の環境発電で収集可能な有価情報量を100倍化することを可能とする学習型スマートセンシングシステムの基盤開発と実証を行います。
 現在、学習型スマートセンシングシステムの開発として、有価情報を高めるための自立型センサ端末/学習型センシングアルゴリズムの開発、測定パラメータ可変型スマートセンサ、製造往路セス革新で小型・安価、高効率発電デバイスの開発を行っています。

9. センサ端末同期用原子時計(ULPAC)が世界最高水準の長期安定度を達成
 道路インフラモニタリングシステム(RIMS:ROAD Infrastructure Monitoring System)をはじめとするセンサ端末群は、ネットワークを介して時刻同期をすることで、データ取得の正確な時間を把握し、かつ、データ転送の効率化を図っています。もし、その時刻同期を不要とすることが出来れば、ネットワークの構築や運用にかかる負担を大幅に低減することができます。そこで、正確な時を刻む原子時計をセンサ端末に搭載可能なサイズや消費電力、価格にすることが出来るかを解析や試作を通して、長期間安定的に稼働する時計が完成しました。

10. 青柳副理事長、荒川センター長、野村総務担当部長などMMCの中興を担った方々が引退
 2018年に開催したMEMS理事会において、2003年MMC専務理事に就任し、2006年の当協議会発足に尽力した前MMC副理事長の青柳桂一氏も退任しました。
 また、マイクロマシンセンターを発展させてきた有力メンバーである荒川センター長及び野村総務担当部長が退職致しました。

成果普及部 水島 豊

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2018年12月27日 (木)

MEMS協議会 2018年度MEMS懇話会開催(2018年12月27日)

 一般財団法人マイクロマシンセンター・MEMS協議会はMEMSを中心とした我国の産業競争力の強化を目的に、12月末に「MEMS懇話会」として、MEMS協議会正メンバーの委員と経済産業省など行政側との情報交換や意見交換を毎年年末に実施しています。過去、本懇話会で議論された「MEMSフロンティア未来デバイス技術=次世代基幹デバイス技術構築」や「ファンドリーサービス機能の革新」などの重要性は、後の「BEANSプロジェクト」(2008-2012)などの研究開発プロジェクトや、今やMEMS分野のオープンイノベーション実践の拠点として拡大し続けている「MNOIC」(2011 - )発足に繋がるなど、わが国のMEMS分野で非常に影響力のある懇話会です。

 2018年度MEMS懇話会は、このような歴史の下、12月27日に東京・秋葉原、新テクノサロンにて開催しました。経済産業省産業機械課、研究開発課、情報産業課に加え、本年度より医療・福祉機器産業室と、さらに新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)、産業技術総合研究所からのご来賓を交えて、マイクロマシン・MEMS分野に係る今後の課題について意見交換を行いました。最初に今年度より新たにMEMS協議会会長(マイクロマシンセンター理事長)に就任した山中康司会長(デンソー代表取締役副社長)による主催者挨拶があり、「超スマート社会 Society5.0」の実現を目指し、MEMSセンサやネットワーク技術で貢献できる新たな研究開発課題の探索に向けた活動を継続して行っていることなどが紹介されました。その後、本年7月に経済産業省産業機械課長に着任した玉井優子氏から最近の経済、産業動向として、「米国の機微技術管理」について紹介後、MEMS協議会員企業から、「コネクティッド インダストリーズ社会におけるMEMSに対する自社の取組み」と、「経済産業省、NEDO、産総研への要望」について意見発表が行われました。それを受けて、経済省、NEDO、産総研から、MEMS人材育成や国家プロジェクトの紹介についてのコメントが出されました。懇話会に引き続き、参加メンバー間の懇親会を開き、会員相互の懇親を深めました。
(MEMS協議会 渡辺秀明)



写真 1 MEMS懇話会

 

写真 2 玉井産機課長による来賓ご挨拶

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