講習会・先端技術交流会

2017年3月13日 (月)

第27回MEMS講習会開催の報告

 2017年3月9日にまちなかキャンパス長岡において、第27回MEMS講習会を開催致しました。MEMS講習会は、MEMS協議会に所属するMEMSファンドリーネットワーク企業を中心に企画され、都内と地方都市で年に1回ずつ開催しています。                  
                  
   今回は「MEMS技術を利用した地域活性化」をテーマに、長岡地区の大学や企業と連携してMEMS産業の育成に取り組まれている新潟県総合技術研究所と、にいがたナノ基盤技術実践会、との共催で、地元企業とのビジネス交流を目的として、開催いたしました。当日は、あいにくの雪となりましたが、47名もの参加者を得て、MEMS分野で最先端の研究開発をされている研究者による特別講演と、長岡地区の企業とMEMSファンドリーネットワークの双方からの報告により、MEMS技術の事業への活用について議論する貴重な場となりました。
                  
                  
                  

                  

           写真1 講演会場の様子
                  
                  
                  

                  

   写真2 にいがたナノ基盤技術実践会(共催) 明田川会長
                  
   主催者および共催者の挨拶のあと、1件目の特別講演として、東北大学の田中秀治教授から「スマート社会5.0の鍵を握るMEMS」と題して、ご講演いただきました。IoTにより実現されるスマート社会5.0を支えるMEMS技術として、Epi-Sealプラットフォームにより生み出される様々なセンサや、音声認識やノイズカットなどでいつの間にか身近な製品に浸透しているMEMSマイクロフォンなど、様々なデバイスと、その応用例をご紹介いただきました。MEMSマイクロミラーの応用では、高速位置トラッキングやVRヘッドセットなど、様々な製品へと用途が広がっており、また、MEMSジャイロの高性能化や触覚センサなど、ロボットなど自動で動き回る機械が人と共生する上で必須となるセンサ技術や、大量のセンサを組み込んだシステムでの情報伝達のためのバスネットワークなど、スマート社会5.0を実現するための様々な技術開発が着実に進んでいることもわかりました。田中研究室では、江刺研究室時代から培われているノウハウを基に企業のデバイス開発を陰に陽に支援されており、多くの企業の事業化を実現されておられます。60分という短い時間ではありましたが、MEMS産業の発展に向けた更なるご活躍が期待されるご講演でした。
                  
                  
                  

                  

         写真3 特別講演1 田中先生
                  
                  
                  

                  

         写真4 特別講演2 河合先生
                  
   続きまして、2件目の特別講演として、長岡科学技術大学の河合晃教授より「新潟県地場産業とMEMSデバイス産業との懸け橋」と題して、ご講演いただきました。新潟県は、非鉄金属加工が盛んな工業地帯であり、MEMSデバイスの活用による産業の更なる活性化が期待される地域であることもわかりました。また、河合研究室での研究内容として、自然災害に備えた計測技術(地震計測など)や生体燃料を用いた燃料電池、植物の成長促進に向けて開発されたバイオチップ、ナノバルブの観察手法など多岐にわたる技術をご紹介いただきました。特にバイオチップで植物のpH値を適切に制御することで成長を促進する技術は、遺伝子操作や品種改良によらず食料を増産可能な技術として期待されます。河合教授は、開発した技術の事業化を支援するベンチャーを立ち上げられており、企業と連携した研究成果の事業化が期待されるご講演となりました。
                  
                   ここでいったん休憩を挟み、休憩明けからは長岡地区の企業から3件のご講演と、ファンドリーサービス産業委員会からのファンドリーサービス内容をご紹介させていただきました。長岡地区から最初のご講演は、ナミックス株式会社の榎本利章氏より、「アンダーフィルのシミュレーションから見えるもの」と題して、フリップチップパッケージを対象としたアンダーフィルの流動・応力・疲労解析技術についてご紹介いただきました。研究開発費比率が10%弱と高く、2014年にはグローバルニッチ企業100選にも選定された企業で、技術開発力の高さを垣間見るご講演でした。
                  
                  
                  

                  

        写真5 ナミックス株式会社 榎本氏
                  
   次にヘッドアップディスプレイ(HUD)で世界No1のシェアを誇る日本精機株式会社の中原剛氏より「HUDにおけるMEMS技術」と題して、ご講演いただきました。欧州の高級車を中心に搭載が進むHUDでは、液晶型が主流となっておりますが、将来的にはDMD(デジタルミラーデバイス)やMEMSミラーを用いたプロジェクションタイプにより視認性を改善する方向に技術開発が進むのではないかとのことで、MEMS関連企業にとっては、心強いご講演となりました。
                  
                  
                  

                  

        写真6 日本精機株式会社 中原氏
                  
                   長岡地区の企業からの最後のご講演は、コネクテックジャパン株式会社の小松裕司氏より「MEMSプロセスを用いた半導体基板配線狭ピッチ化」と題して、ご講演いただきました。LSIの多機能化により1チップ当たりの端子数が増えているが、現状の実装技術では端子ピッチとして40μmが限界であり、チップの小型化が進んでも端子ピッチの制約でパッケージサイズが律速されつつある現状と、この課題のブレークスルー技術として開発中の配線とバンプの一括転写技術について、ご紹介いただきました。この技術は、流体MEMSのチップ作製に用いられる厚膜レジストによる型作りと、PDMS(ポリジメチルシロキサン)への精密転写の技術を応用しており、PDMSの離形性の良さを活用してバンプと配線パターンを一括して基板上に転写することで、端子の狭ピッチ化を実現されておられます。開発中の技術とのことですが、スキージでクリームはんだを基板上に転写する印刷法に代わる技術として、実用化が待たれます。
                  
                  
                  

                  

     写真7 コネクテックジャパン株式会社 小松氏
                  
  MEMSファンドリーネットワークからは、産総研、MNOIC、大日本印刷、メムスコアからMEMSの開発支援から量産までを網羅した4件の技術紹介をいたしました。最初にファンドリーサービス産業委員会の浅野委員長より、「MEMSファンドリーネットワークとサービスのご紹介」と題しまして、MEMSを開発したい企業を支援する仕組みをご紹介させていただきました。所属機関からは、産総研の高木総括研究主幹より、集積マイクロシステム研究センターで開発してきた様々なMEMS技術について、ご紹介いただき、その産総研の設備を運用してMEMS開発を支援するMNOICの紹介をMNOIC開発センターの原田氏よりいたしました。ファンドリー企業からは、大日本印刷の中本氏より「大日本印刷MEMSファンドリーご紹介」、メムスコアの慶光院氏より「メムスコアのビジネス」、と発表が続き、本講習会の最後に部屋を移動してファンドリーサービス産業委員会の企業による技術相談会を開催いたしました。別会場ではありましたが、多数の参加者に足を運んでいただき、予定の時間を過ぎても活発な議論が交わされ、MEMSデバイスの開発を目指す企業の裾野が拡がっていくことが期待できる講習会になりました。今後、講習会に参加された方々とMEMSファンドリーネットワークとのコラボによる製品開発がなされることを期待いたします。
                  
   また翌日は、長岡技術科学大学の見学会を開催いたしました。長岡技術科学大学は、企業の人事担当者から見た大学のイメージ調査で、総合ランキング1位を獲得されており、特に学生の行動力が高く評価されているそうです。地域の高等専門学校からの編入者が多く、長期間にわたる企業での実習プログラムなどもあり、実践的な技術の開発を主眼とした教育を進めておられます。研究室の見学では、前日の講習会でご講演いただきました河合晃教授のナノマイクロ研究室と、明田川教授のピコメートル・ナノメートル研究室の見学をさせていただきました。河合教授の研究室では、デバイスの設計から試作、パッケージングまでを一貫して行える設備を揃えられており、自らの力で発想を具現化することで、実践力のある学生を育成されておられます。対象とされている分野として、原子間力顕微鏡を用いたナノスケール解析・加工技術から地震計測、燃料電池、植物育成制御用バイオチップなど、多岐にわたる技術をご紹介いただきました。研究成果の実用化に向け、企業での事業化の支援を目的としたベンチャーを設立されており、実社会への研究成果の普及に力を入れられているのが良く分かりました。また、明田川教授の研究室では、原子スケール精度の計測に取り組まれており、精度向上のための温度変動の抑制や低熱膨張率材を用いた装置など、様々な実験装置をご紹介いただきました。また、リニアスケールの格子としてグラファイト格子を利用し、その格子間隔を走査型トンネル顕微鏡で捉えたり、レーザ干渉計の波長安定化ために原子の励起周波数を利用されるなど、大変興味深い技術もご紹介いただきました。改めて、長岡技術科学大学での見学会を企画いただいた方々に感謝いたします。
                                                  (産業交流部 小出晃)

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2017年2月15日 (水)

第33回先端技術交流会の報告

 2月14日(月)の午後、マイクロマシンセンター新テクノサロンで第33回マイクロナノ先端技術交流会を開催しました。

 今回のテーマは「グリーンIoT 社会に向けたMEMS の新たな取組み」として、東北大学 多元物質科学研究所の教授 栗原一恵先生からは「ナノトライボロジーによるMEMSへの新たな期待」と題して、そして、東京工業大学 科学技術創世研究院院長である、教授 益 一哉先生からは「IoT社会に向けた、異種集積MEMS技術の新展開」と題してご講演をいただきました。
 
 最初の栗原先生からは、従来マクロスケールで議論してきた巨視的な物理現象から、ナノスケールの表面物理を考慮すると新しい可能性があることが示されていました。例えば、異種の物体の間に液体を挟んだ構造で、数nmのギャップでは斥力が極単に強くなったり、あるいは接着力になったり従来、議論されてこなかった新たな現象が現れることを示されていました。その他、イオン液体中へのシリカ分散や、化粧品の感触を決める表面状態、ナノインプリントのより精細な精密転写に向けた樹脂材料の最適化等、ナノ材料・ナノトライボロジーによって新たな可能性を示していただきました。今後のMEMSの特性改良だけ出なく、新たなデバイスの展開の繋がる可能性を示していただきました。


講演を行う栗原先生

 東京工業大学の益先生からは、IoT社会に向けたMEMSデバイス、MEMS集積技術についてご講演をいただきました。最初にAuを錘に用いた加速度センサの内容について説明をいただきました。Auは柔らかいイメージがあるが、単位体積当たりの重さが大きく、小型、低ノイズに向いている構造であることが示され、また、カンチレバーの梁を10ミクロン以上のAuで形成することで高い安定性を示されていました。Auは柔らかい材料ではあるが、MEMSの錘や梁としても設計に応じて十分良い特性が得られることが分かりました。
 そして、CMOSプロセス後にAuの錘を用いた1チップの加速度センサモジュールを示されていました。

 

講演を行う益先生

 ご講演後には両先生ともに、活発な質問が多くありました。特に印象に残ったのはIoT社会に向けての振動発電の考え方についてでした。“最適な振動発電はどれですかと良く聞かれるが、そのようなものはない。振動周波数や、加速度、あるいは連続振動やインパルス振動。環境によって使い分けが必要である。” とお考えを示されました。

 また、東京大学先端技術研究所の年吉教授も出席されており、IoT社会についてご研究の内容をもとにアドバイスをいただきました。

 また、講演会後の懇親会では、ご講演いただいた先生方を囲んで、栗原先生の回りでは、ナノトライボロジーやイオン液体について、そして、益先生の回りではIoT社会に向けたセンサ端末や自立電源について、夜遅くまで多くの意見交換が行われていました。


講演後歓談する両先生

(産学交流担当 今本 浩史)

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2016年10月21日 (金)

第26回MEMS講習会 開催報告

2016年10月21日に一般財団法人マイクロマシンセンター(MMC)の新テクノサロンにおいて、第26回MEMS講習会「IoTを支えるセンシング技術、”見える化“ に取り組むIoT活用事例」を開催致しました。MEMS講習会は、MEMS協議会に所属するMEMSファンドリーネットワーク企業を中心に企画され、都内と地方都市で年に1回ずつ開催しています。

今回のテーマであるIoT(Internet of Things)は、情報機器だけでなく全てのモノがインターネットによって繋がれる世界ですが、どのような場所で、どのように利用され、どのような効果を生み出しているのか、イメージできない方も多いと思います。そこで、様々なフィールドで新たなセンシング技術による”見える化”に取り組んでいる大学や、ソリューションとしての”見える化”を提供している企業に、その活用事例をご紹介いただくことで、より多くの方々にIoT活用のヒントをお持ち帰りいただければと考えて企画いたしました。

今回の講習会には、IoTを活用した”見える化”に興味を持っている企業を中心に41名が参加し、特別講演2件、IoTソリューション企業からのご講演3件、ファンドリー企業紹介3件の8件の発表を聴講いたしました。

         Photo_4           

               写真1 講演会場の様子

            Photo_6            

      写真2 主催者挨拶 マイクロマシンセンター長谷川専務理事

講習会は、一般財団法人マイクロマシンセンターの長谷川専務理事による主催者挨拶のあと、本日1件目の特別講演といたしまして、東京大学の伊藤寿浩教授から「装置・人間環境を”見える化”― 低消費電力IoT端末 ― ”鹿威し”センシング技術」と題して、ご講演いただきました。無線を用いたモニタリングで課題となる電源からの帰結としてのセンサ端末のめざすべき姿など、示唆に富んだお話を伺うことができました。装置や人間環境などをモニタリングするには、ばら撒く感覚で使えるセンサ端末が必要であり、センサ端末の機能を絞り込むことで実現する低消費電力化が必須となります。前半では、鶏健康モニタリングシステムでの試みをご紹介いただきました。低消費電力化には、待機電力と通信電力の最小化が重要であり、1)片方向通信、2)イベントドリブン化、3)短通信電文化、の技術により実現されたそうです。これは、電源を持つ受信機の機能を高度化することで、センサ端末の負担を極限まで減らす戦略といえます。また、鶏など、多くのモニタリング対象物の状態変化のスパンが長いことに着目し、多数のセンサ端末からのデータがランダムに送信された時のパケット衝突がモニタリングを阻害しないことを実証し、双方向通信が必要な時刻同期を不要としています。ご講演の後半には、NEDO委託研究「ライフラインコアモニタリング技術開発プロジェクト」で開発中の鹿威しセンシングについて、ご紹介いただきました。装置の軸受け部などに振動発電端末を装着し、その発電量が一定量を超えたら信号を送信するというもので、その信号頻度から装置の状態をモニタリングするという鹿威しの水を振動による発電量に置き換えたシステムになっておりました。必要最小限の電力でモニタリングするシステムとして、その可能性を感じた方も多かったと思います。


             Photo_7         

             写真3 特別講演1 伊藤先生

続きまして、IoTソリューション企業から3つのご講演をしていただきました。最初は、富士通株式会社の藤野克尚氏から「課題を”見える化”―IoTで価値あるデータをご提供」と題して、富士通が進めるヒューマンセントリックIoTについて、ご講演いただきました。IoTの導入には、多大なコストが掛かることから導入を躊躇するユーザーも多いと思いますが、富士通ではIoTを導入する前に効果を検証できるパイロットパックを用意しており、導入の敷居を下げてくれています。IoT活用事例として、位置測位による作業効率の最適化や、音センシングによるプライバシーに配慮した見守りなど、ユーザーの使いやすさを優先した活用事例を多数ご紹介いただいたことで、聴講者も自社で活用する際に気を付けるべきことなどをイメージできたのではないかと思います。

2件目のご講演では、みずほ情報総合株式会社の武井康浩氏に「様々な分野で進むIoT活用の試みとビジネス応用 」と題して、ご講演いただきました。IoTでは、インターネット経由でネットワーク上に蓄積した膨大なモノに関わる情報を加工・分析することで、新たな価値を創造しています。この新たな価値は、「コスト削減」や「売上拡大」などの形で、利用者に利益をもたらすとのことで、従来のモノだけの提供ではなく、価値の提供へとビジネスの拡がりが期待されます。様々な業種での活用事例をご紹介いただきましたが、活用事例の多くは、①効率化や安全性向上につながる活用、②サービス化を促進するための活用、の2つに整理できるそうです。個人的に興味を持ちました活用事例は、モノづくり企業が持つ設備の稼働状況をモニタリングすることで、その有効活用を図るスマートマッチングというものです。MEMSのように製品や装置毎にレシピが異なる状況では難しいかも知れませんが、装置が不足している企業と、装置の稼働率を上げたい企業のマッチングを図る取り組みは、とっても興味深いかと思います。

3件目のご講演では、アルプス電気株式会社の稲垣一哉氏より「現場環境を”見える化”- IoT環境の簡単構築」と題したご講演をしていただきました。アルプス電気では、センサや通信モジュールを製品として持っていたため、その組み合わせで新たな価値を生み出すセンサノードの開発に取り組まれたそうです。ただ、新規事業開拓の道程は平坦ではなく、様々な業種の企業からの引き合いが多数あるものの各ロットは小さく、ビジネスに結び付けるのは難しかったそうです。そこで、顧客毎に製品を開発するのではなく、事業開発キットの位置づけで75%のユーザーを満足させる標準的なセンサネットワークモジュールを開発し、顧客に提供することでニーズを汲み上げる戦略に切り替えられたそうです。今後は、サーバにデータを収集し、そのデータを解析することで新たな価値を創造するなどの取り組みを様々な企業との協業で進めていくとのことで、講習会の参加者の中から協業企業が生まれることを期待したいと思います。

ここでいったん休憩に入り、休憩明けには本日2件目の特別講演と致しまして、東京大学の三宅亮教授より「水を”見える化”― 地域ニーズに即したオーダーメードの小型水質検査システム」と題して、ご講演いただきました。三宅先生は、私たちの飲み水の状態を監視する水質検査装置の研究開発に長年取り組まれており、特に小型化での造詣が深い方です。電話ボックス並みの大きさがある水質検査装置にMEMS技術を適用することでA4サイズにまで小型化され、従来は浄水場や公園など、土地を確保できる場所のみに限定さえていた水質検査装置の設置場所をどこにでも設置できるようにされています。今回のご講演では、地域による水質検査への要求仕様の違いに柔軟に対応できるスマート水質モニタリングシステムについて、ご講演いただきました。このシステムでは、フィルターや濃縮器、ポンプなどを統一規格(サイズ、接続など)のブロックで作成し、同様に検査項目毎の分析ブロックも作成することで、地域のニーズに即してブロックを接続するだけで最適なシステムを構築できるようにしています。また、水質検査のような試薬を用いた分析では、様々な環境で利用いたしますと流体系への負荷が異なるため分析条件を一定に保つことが難しくなり正確な分析が阻害されます。そこで、理論的に構築した解析システムでバーチャル水質分析計をサーバ内に構築し、実機の状態を反映させて解析することで、分析結果に現れる外乱分を補正して正確な分析を実現できるようにされています。リアルな分析計とバーチャルな分析計をリンクすることで、正確な分析を実現するシステムは、他の分野への展開も期待でき、大変興味深いご講演となりました。

            Photo_8          

            写真4 特別講演2 三宅先生

最後のコーナーでは、本講習会を企画したファンドリーサービス産業委員会から3件のご報告をさせていただきました。最初に本委員会を代表いたしまして浅野雅郎委員長より「MEMSファンドリネットワークの活動とサービス紹介」と題して、委員会の活動状況を報告いたしました。また、委員会を構成する企業からは、富士電機株式会社の鮫島友紀氏より「富士電機のMEMS技術・製品紹介」と題して、富士電機の歴史から製品化したMEMSデバイスまでを紹介させていただきました。最後は、大日本印刷株式会社の中谷武史氏より「大日本印刷 MEMSファンドリー紹介」と題しまして、大日本印刷のファンドリー技術の特徴をご紹介させていただきました。

今回の講演会では、できるだけ多くの活用事例のご紹介をお願いした関係で、どの発表も時間いっぱいを使ってのご講演となりましたため、十分な質疑応答の時間を取ることができませんでした。その影響か講演会終了後に講師の方々を囲んだ質疑応答の時間が自然に発生し、なかなか懇親会場へ移動できないという事態に至り、質疑応答の時間を十分に取れなかったことを反省した次第です。

懇親会会場に移動後も講師の方々へのお悩み相談が続いておりましたが、特に印象深かったことは、実際に販売しているセンサモジュールとスマホによるデモを見せていただけたことで、やはりモノがあると理解も捗るということを再認識いたしました。今回の講習会は、活用事例を中心に構成いたしましたが、これをきっかけに参加者の間で交流が進み、新たなビジネスチャンスに繋がれば幸いです。

 

(産業交流部 小出晃)

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2016年9月20日 (火)

第32回先端技術交流会を開催しました(9月20日)

 9月20日(月)の午後からマイクロマシンセンター新テクノサロンで開かれたマイクロナノ先端技術交流会を開催しました。
 今回のテーマは「バイオとエレクトロニクスの融合の新展開。サブタイトルとして、「生体とデバイスのしなやかで細やかな出会い」として、人とデバイスをつなぐ最新の取組みを、東京大学生産技術研究所教授の藤田博之先生からは「MEMSとバイオの融合ナノシステムの取組み」、東京大学工学研究科教授の染谷先生からは「人と機械を調和する伸縮性エレクトロニクスの最善性」と題してご講演をいただきました。
 
  最初の藤田先生からは、バイオMEMSに関して、藤田先生の幅広いグローバルネットワークと、これまでのバイオMEMSの取組みを多くご紹介いただきました。 シリコンナノピンセットを用いて、DNAの放射線治療のダメージをリアルタイムで評価するなど、今後のがん治療や早期診断に活用できるのではないかと思うような、興味深いお話をいただきました。

 また、最後には現在NEDOのプロジェクトで取り組んでいる環境振動で発電する、高効率エナジーハーベスタについてもご紹介いただきました。染谷先生の講演にも関係しますが、環境発電は配線レス、電池交換不要という観点で今後応用が急拡大していくと感じました。
 
 東京大学の染谷先生からは、人の肌に張り付けられる伸縮性の有機デバイスを中心にご講演をいただきました。染谷先生のご講演は何年ぶりかにお聞きしましたが、技術的に大きく進展しており驚きました。 有機デバイスの厚みが数ミクロンの薄さとなり、生体にぴったりと貼りつき、身に着けていることを忘れるほどになっています。 また、伸縮性が高いと信頼性等で課題が生じるイメージがありましたが、実用に近い信頼性を確保していました。 この技術は、ウェアラブルデバイス、バイタルセンシングなど、トリリオンセンサ社会に向けて、応用範囲が急拡大していくと感じており。 実用化に向けては電源、生体適合性、無線通信等まだやることがあると思いますが、新たなビジネスとして拡大していくのではないかと感じました。

 また、講演会後の懇親会では、ご講演いただいた先生方を囲んでバイオエレクトロニクス、ウェアラブルエレクトロニクスの今後の展望について活発な意見交換が行われました。                 

<産業交流部 今本浩史>


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2016年9月16日 (金)

「スマートセンシング&ネットワーク展」国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催(2016年9月16日)

 国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムは、関連分野の最先端技術及びその動向に関して内外の学識経験者と情報交換することにより、我が国のマイクロマシン/MEMS技術の更なる発展に寄与することを目的に、1995年以来、一般財団法人マイクロマシンセンターを主催者として開催して参りました。本年度のシンポジウムは、2016年9月16日(金)パシフィコ横浜 アネックスホールF202にて開催いたしましたので報告致します。

 最近の当該分野での動向として、2-3年前から米国・欧州で騒がれてきた「トリリオンセンサ」や「インダストリ4.0」等の新しい概念が、最近になってIoTと言うキーワードで、一気に一般誌でも取り上げられるようになってきました。これらは、キーワードは異なりますが具体的な内容は殆ど同じで、スマート化されたセンサ、マイコンや小型コンピュータ、無線、さらに発電デバイス等を組み込んだインテリジェントなセンサ端末が、あらゆる機器に組み込まれ、これらのデータを利用したサービスが始まるという概念です。このように無数のセンサと無線ネットワークが繋がるIoTの世界とは、世界中の欲しい情報がWeb上に存在する、今まだ来ずの(未来的)世界とされています。しかし、無線技術を中心にインフラとしての仕組み作りがある程度揃っても、本当に必要なセンサが最適な形態で提供される”スマートセンシング&ネットワーク”には、まだまだ膨大な技術開発が必要であると考えられます。今回は差別化を図る技術開発と、その産業応用と言う2つの側面で、世界の研究者からの報告や提言によって新たな可能性を探って参ります。 

 以上から、今年の第22回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムは「IoT社会で勝ち続けるためのスマートセンシング新技術とその産業応用」として企画致しました。さらにマイクロマシンセンター内に、2015年の10月1日に発足され、産官学の総力を挙げて活動を邁進しております「スマートセンシング&ネットワーク(SSN)研究会)」の公開シンポジウムとしても位置付けています。

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図1 本シンポジウムチェアの下山勲教授

 司会と主催者挨拶は、本シンポジウムを企画した国際交流委員会の委員長であり、SSN研究会の会長、研究開発から産官学連携による産業推進まで多彩な活躍をされている東京大学の下山勲教授です。

 最初のセッションは、「IoT社会で勝ち続けるためのスマートセンシングの社会実装」として、特別講演 "IoT時代のセンサ:真のIoTへの道を開くMEMSとセンサのトレンド”Sensors in a IoT era : MEMS and Sensor Trends–Paving the Way for a True Internet of Things”とのタイトルで、 世界最大のMEMSセンサネットワークであるMEMS & Sensors Industry Group (MSIG)を代表し、またスマートセンサの有望な応用先である仮想現実&強化現実関連製品を製造・販売されているVirtuix Inc.のPresident:David Allan氏から、ご講演を頂きました。構成としては、「① MSIGの紹介、② IoTおよびIIoT(IoTの産業版)とはなにか?③ 何故IoTが重要なのか?IoTによって何が変わり、どのような産業が興るのか?④ 誰が先導出来るのか?⑤ それは貴方です」でした。印象的だったのは、「Power of IoT」の表現で、巨大産業では1%のエネルギー消費を抑制と、例えば航空機産業では3兆円、石油・ガス産業では9兆円の利益が生まれることです。また、ご自身の会社である、Virtuix Inc.のVR技術を利用した体験型ゲームであるVirtuix Omniの紹介では、実際のモーションセンサの信号をどのように処理されているかの紹介もありました。Is2         図2 MSIGを代表してDavid Allan氏のご講演

 第二の講演は、NTTデータ、技術開発本部 課長の平井康雅氏から「IoTセキュリティの最新動向と社会実装に向けての課題と対策」とのテーマでした。IoT時代で接続されるデバイスが、今後さらに飛躍的に増加すると、IoTシステムに対するセキュリティ上の問題が、現在の懸念から近い将来に大きく顕在化すると予測されます。この避けて通れないセキュリティの課題と対策例を紹介し、今後のIoT社会に向けてのセキュリティの方向性を発表いただきました。ご講演では、あらゆるセキュリティ上の懸念や、それぞれの階層での対策等の具体的な報告や提案がなされました。

 休憩のあとのセッション2:「IoT社会で勝ち続けるためのスマートセンシングの産業動向」では、最初の講演として、株式会社日本政策投資銀行、産業調査部 課長の青木 崇氏から「1兆個のセンサによるIoT社会の変革」とのテーマにて、年間1兆個のセンサを消費するトリリオンセンサ社会が近づいており、IoT時代に向けたセンサメーカの戦略や企業間連携のあり方など、新たなビジネスチャンスに関してご講演がありました。

 第二のご講演はCEA-LETI (France) Silicon Components Division, Head of MEMS Sensors LaboratoryのCaroline Coutier氏から「スマート社会に向けたMEMSの最新動向New Trends in MEMS for a Smart World」と言うテーマで研究施設の規模と研究者の人員、世界中の企業との共同研究、ここで創成させた新規なMEMS技術を使ったベンチャーの活躍と、全てが世界最大級であるフランス・グルノーブルのCEA-LETIから、IoTが中心になるスマート社会に向けたMEMSの最新動向を発表して頂きました。特にMEMSに関する最先端技術である、シリコンナノスケールのデバイスを駆使して、様々なセンサを研究開発し、更にシームレスにファンダリに技術移転して産業化を進めることは、日本としても大変参考になる取り組みでした。。

 最後のご講演は、EnOcean GmbH Sales Director、EnOcean Alliance: Vice Chairman Asiaの板垣 一美氏から「En-Ocean(超低消費電力とエネルギーハー ベスティングのソリューションのために最適な無線技術)」とのテーマで、電池を搭載しない自立型のセンサ端末がますます増加していくと予想されるIoT時代に向けて、EnOcean社の超低消費電力無線技術や自立電源と組み合わせたワイヤレスセンサの最新動向を発表いただきました。En-Oceanは、日本ではまだあまり知名度がありませんが、欧米では自立型ワイヤレスセンサの代名詞になっているようです。

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         図3 会場の様子

 シンポジウムの閉会の挨拶としてマイクロマシンセンター専務理事・長谷川 英一により、聴講者の方々への感謝、講演者の方々へのお礼と、IoT時代を切り開くマイクロマシンセンターの取り組みに関しての説明がされました。参加者は約180人でした。本シンポジウムの企画を何年か担当すると、デバイスから産業化、更にスマート、ネットワーク化と、益々そのテリトリーが広がっているのが分かります。毎年、企画には悩むことが多いのですが、皆さんのご意見を反映して更に良いものにして行きたいと存じます。(国際交流担当 三原 孝士)

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2016年8月29日 (月)

第32回マイクロナノ先端技術交流会

(財)マイクロマシンセンターでは、平成28年9月20日(火)、第32回マイクロナノ先端技術交流会
「バイオとエレクトロニクスの融合の新展開 - 生体とデバイスのしなやかで細やかな出会い」 を開催致しますので、ご案内申し上げます。
 
今回は、バイオとエレクトロニクスの融合の最新の取組みについて、
東京大学工学系研究科の染谷隆夫教授から、人と機械を調和する次世代のエレクトロニクスについて、
東京大学生産技術研究所の藤田博之教授からは、MEMSとバイオを融合したナノシステムについて、
それぞれ最先端の研究開発の取組みについてご講演いただきます。
 
皆様の参加申込をお待ちしております。
参加申込: http://www.mmc.or.jp/cgi/sentan_input.html
 
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第32回マイクロナノ先端技術交流会
「バイオとエレクトロニクスの融合の新展開 - 生体とデバイスのしなやかで細やかな出会い -」
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開催日時: 平成28年9月20日(火) 15:00~17:05  懇親会 ~ 18:30
開催場所: 一般財団法人 マイクロマシンセンター・新テクノサロン
      (地図: http://www.mmc.or.jp/gaiyou/map/
プログラム
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15:00~15:05 主催者挨拶
   (財)マイクロマシンセンター 専務理事 長谷川 英一
15:05~16:05
    「MEMSとバイオの融合ナノシステムの取組み(仮)」
       東京大学 生産技術研究所 教授 藤田 博之
16:05~17:05
    「人と機械を調和する伸縮性エレクトロニクスの最前線(仮)」
       東京大学 工学系研究科 教授 染谷 隆夫
17:10~18:30 ----- 講師の先生を囲む交流会 (立食形式) -----
     (会場:(財)マイクロマシンセンター本部 会議室 同ビル6階)
 (プログラムがやむを得ず変更になる場合がございますのでご了承下さい。)
 
参 加 費:
  * MEMS協議会メンバー / 学生 ----- 1人 2,000円
    (正メンバー、アソシエートメンバー、MEMSフェロー)
  * 一 般 --------------------- 1人 5,000円
 
下記ホームページもご参照ください。
   http://www.mmc.or.jp/business/kouryuukai/kouryu-annai/32_annai.html
 
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問合せ先: Tel 03-5835-1870
一般財団法人マイクロマシンセンター
今本・酒向
E-mail: event@mmc.or.jp

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2016年4月 6日 (水)

第31回マイクロナノ先端技術交流会の開催報告

 平成28年3月2日(水)午後より、マイクロマシンセンター・新テクノサロンにて、第31回マイクロナノ先端技術交流会を開催いたしました。
 今回は「嗅覚センシングの新たな可能性について」と題しまして、生産ラインなどの整った環境から屋外へと活躍の場を広げている匂いセンシング技術につきまして、最前線でご活躍されているお二人の研究者にご講演いただきました。
 
 最初のご講演は、東京工業大学精密工学研究所の中本高道教授です。「ロバスト匂いセンシングシステム」と題しまして、温度や湿度などの外乱に打たれ強いセンシングシステムについて、ご講演いただきました。水晶振動子を用いた匂いセンシングでは、匂い物質の吸着特性が異なる複数の水晶振動子への匂い物質の吸着・脱離を固有振動数の変化として捉え、それらの応答の違いをパターン化することで、匂い物質の種類を識別します。匂いセンシングの弱点とされる湿度の影響に関しては、緩やかに昇温する濃縮管やペルチェ素子による凝縮(SAW応用)により高湿度環境でも匂いの違いを識別できるシステムをご紹介いただきました。また、目まぐるしく濃度が変化する匂いでは、素子間の応答パターンだけでは匂い物質の識別が難しくなるため、応答速度の違いを利用して識別する手法をご紹介いただきました。最後に、相対比較法で匂いを識別する方法として、実時間参照方式をご紹介いただきました。対象臭と調合臭を秒単位で交互に計測して調合臭での応答を対象臭に近づけることで、温度や湿度が変化しても正確な匂い物質の識別を可能としています。現在は、濃縮素子やセンシング素子の一体化した高感度小型匂いセンシングデバイスや、小型匂い発生デバイス組み込み実時間参照方式などの開発に取り組まれており、その小型化によりアプリの開発も加速されるものと期待されます。また、質疑応答で、本日のご講演にはなかった匂いディスプレイに関する質問があり、その回答として色の三原色に換わり30種類程度の要素臭を用いることで、再現性の良い匂いディスプレイが実現できるとのお話があり、匂い伝送による新たな可能性が、すぐそこまで来ていると感じさせるご講演となりました。

 続きまして、九州大学味覚嗅覚センサ研究開発センターの小野寺准教授より「匂いを測るバイオセンサシステムの開発」と題しまして、爆発物探知犬に代わる装置を目指して取り組まれているバイオセンサシステムにつきましてご講演いただきました。爆発物検知では、低誤認率(高選択性)や高探知率(高感度)が求められ、それらを実現する手法として、分子検出部には抗原抗体反応を利用し、信号変換部として表面プラズモン(SPR)を利用した超高感度匂いセンサを開発されています。爆発物起因の低分子に吸着する抗体は自然界には存在しないため、国内で独自に抗体作成技術を確立され、その抗体を用いたSPRセンサの表面修飾法や検出プロトコル(直説法、置換法、間接比較法)などをご紹介いただきました。
 SPRセンサでは、誤検知の原因となる非特異吸着を抑止するエチレングリコール鎖による表面修飾や、抗体に対する親和性の異なるターゲット類似物質を最適化した間接比較法により、低誤認率で高探知率(80ppt)なセンサを実現されています。また、デンドリマー(樹状高分子)の利用や、表面開始原子移動ラジカル重合を用いたポリマーブラシによる表面修飾などにより、更なる高感度化に取り組まれており、検出限界5.7pptを実現されています。
 最後にTNT検出の実証試験において、検出時間1分を切るのに苦労され、実現した時の喜びもひとしおだったエピソードに続き、ゲームや小説で描かれる未来世界のように、嗅覚を可視化した世界の実現に向けて取り組んでいきたいという想いを語られており、ロボット開発におけるアトムやガンダム世代と相通じる情熱を感じるご講演となりました。
 講演会後には、先生方を囲んでの匂い談議に花が咲くかと思いきや技術論の花が咲き、この分野の実用化に向けた出席者の熱い想いを感じさせる懇親会となりました。

                       <産業交流部> 小出晃


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2015年11月18日 (水)

第25回 MEMS講習会 (10月22日) 開催報告

 2015年10月22日に兵庫県立工業技術センターにおいて、第25回MEMS講習会を開催致しました。MEMS講習会は、MEMS協議会に所属するMEMSファンドリーネットワーク企業を中心に企画され、都内と地方都市で年に1回ずつ開催しています。
 
 今回は「MEMS技術を利用した地域活性化」をテーマに、兵庫地区の大学や企業と連携してMEMS産業の育成に取り組まれている兵庫県立工業技術センターと、その関連企業とのビジネス交流を目的として、参加者48名の下で実施いたしました。MEMS分野で最先端の研究開発をされている研究者による特別講演と、兵庫地区とMEMSファンドリーネットワークの双方の報告を中心に、MEMSの産業化について議論する貴重な場となりました。

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写真1 講演会場の様子

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写真2 兵庫県立工業技術センター 北川次長

 主催者および共催者の挨拶のあと、兵庫県立大学の前中一介教授から「MEMS技術とその応用」と題した特別講演として、前半では、MEMSの聡明期から現在に至るまで、世界の中での日本の位置付けがわかるようにMEMS技術と製品の変遷をご講演いただきました。民生向けセンサでは、欧米メーカーに先を越されましたが、日本メーカーの巻き返しに向けた心構えをご享受いただきました。また、後半では、ウエラブルセンサによる常時モニタリングに取り組まれた前中プロジェクトの成果を伺うことが出来ました。圧電材料を中心に、様々な測定対象向けのセンサを同じ生産ラインで製造できるように工夫されおり、これまでに構築されてきたリソースを利用できる仕組みとしてMEMS開発支援センターをご紹介いただきました。この仕組みが有効活用されることで、日本発のMEMSデバイスの開発が加速されることが期待されます。

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写真3 特別講演1 前中先生

 続きまして、兵庫地区から2つのご講演をしていただきました。最初は、兵庫県立工業技術センターの才木常正氏から「弾性表面波を用いた高効率流体混合チップ」と題して、層流間の分子拡散だけでは混合が難しい数百ミクロンオーダーの流路での弾性表面波を利用して混合技術について、ご講演いただきました。現在、その効果を最大限に発揮できる応用分野を探索中で、企業と連携した製品開発が楽しみとなるご講演でした。

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写真4 兵庫県立工業技術センター 才木氏

 兵庫地区からの2つめのご講演は、日本電子材料株式会社の永田一志氏より、兵庫県CEOプログラム推進事業として取り組まれている「ポリマーMEMS技術によるLSI用超狭ピッチプローブカードの開発」について、ご講演いただきました。本プログラムは、オンリーワン技術を持つ企業の育成を目指しており、大手プローブカードメーカーである日本電子材料株子会社が、MEMS技術を用いた微細型と、樹脂転写技術によるポリマーMEMS技術により、世界に先駆けた次世代のプローブカードの実現に向けて取り組まれている姿に、頼もしさを感じるとともに、今後の展開が期待されるご講演でした。

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写真5 日本電子材料株式会社 永田氏

 続きまして、本日2件目の特別講演と致しまして、東京大学の菅哲郎先生より、「ロボット周辺認識力向上のためのMEMS分光イメージャー」と題して、ご講演いただきました。少子高齢化が進む日本では、身近で生活支援をしてくれるロボットへの期待が大きく、それを実現するために、ロボットの外界認識能力の向上が急務となっています。菅先生は、NEDOプロジェクト「エネルギー・環境新技術先導プログラム」などで、ロボットに高度な外界認識力を持たせるMEMSビジョンの開発に取り組まれおり、ソフト面だけでなく、多波長同一光軸レンズや赤外光を検知するナノアンテナなど、最先端の加工技術で実現するMEMSビジョンのハード面での技術開発の一端をご紹介いただきました。若手研究者による熱いご講演に、その先にある未来への期待が高まるひと時でした。

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写真6 特別講演2菅先生

 ここで一旦休憩に入り、ファンドリー企業が展示したパネルの前で、MEMSデバイスを開発されている企業・大学向けに相談会を開きました。休憩時間の終了ギリギリまで相談会は続き、講習会後の懇親会でも積極的な情報交換が行われ、兵庫地区のMEMSデバイスに対する開発意欲の高さから今後のMEMS産業の発展が期待される場になりました。

 休憩明けには、MEMSファンドリーネットワークを構成するMNOIC、みずほ情報総研、富士電機、大日本印刷からMEMSの開発支援から量産までを網羅した4件の技術紹介がありました。初めにMNOIC研究企画部長の渡辺秀明氏より「最先端・大口径の産総研(つくば)・MEMS研究施設を活用した研究支援サービスMNOICのご紹介」、続きまして、みずほ情報総研の岩崎拓也氏より「MEMSにおけるシミュレーションおよびリバースエンジニアリング」、富士電機の後藤崇氏より「富士電機おけるMEMS技術・製品紹介」、大日本印刷の鈴木浩助氏より「大日本印刷MEMSファンドリー紹介」、と発表が続き、本講習会の最後に、ファンドリーサービス産業委員会委員長の浅野雅朗氏より「MEMSファンドリーネットワークとサービスのご紹介」と題しまして、MEMSを開発したい企業を支援する仕組みを紹介いたしました。今回の講習会は、質疑応答も時間内に収まらないほど活発に討議が行われ、MEMSデバイスの開発を目指す企業の裾野が拡がっていくことが期待できる講習会になりました。今後、講習会に参加された方々とMEMSファンドリーネットワークとのコラボによる製品開発がなされることを期待したいと思います。

 また翌日は、兵庫県立工業技術センターが主催する施設の見学会が開催されました。この見学会では、技術調整担当の北川洋一次長が、施設のご説明やご案内をしてくださいました。最初に兵庫県立工業技術センターの概要説明があったあと、MEMS関連施設、及び技術交流館の見学を致しました。MEMSを製造・評価するための最先端の設備だけでなく、製品の使い勝手を評価するための仕組みなど、工業技術センターならでは取り組みがあり、大変興味深い見学会となりました。改めて、兵庫県立工業技術センターでお世話になった方々に感謝したいと思います。

<産業交流部 小出 晃>

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2015年7月14日 (火)

第30回マイクロナノ先端技術交流会のご案内

(財)マイクロマシンセンターでは、平成27年7月28日(火)、当センター会議室「新テクノサロン」にて「第30回マイクロナノ先端技術交流会」を開催致します。

今回は、MEMS等マイクロデバイスの構造信頼性保証に重要な要素となる強度特性・疲労寿命評価について研究されている名古屋工業大学大学院 神谷教授に、また、MEMS製品の低価格化に寄与するメッキによる金属厚膜等の高速・高品質成膜を研究されている関東学院大学 盧准教授から、電子材料への表面処理技術によりIoTの構築に貢献できるテクノロジーに関して、それぞれ最先端の研究開発についてご講演頂きます。

皆様からの参加お申込をお待ちしております。
 ⇒ http://mmc.la.coocan.jp/business/kouryuukai/kouryu-annai/30_annai.html

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第30回マイクロナノ先端技術交流会
「材料技術・表面処理によるMEMS低価格化を目指して」
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開催日時: 平成27年7月28日(火) 15:00~17:05  懇親会 ~ 18:30
開催場所:  一般財団法人 マイクロマシンセンター・新テクノサロン
      (地図: http://www.mmc.or.jp/gaiyou/map/
プログラム
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15:00~15:05 主催者挨拶
     (財)マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一
15:05~16:05
     「MEMS構造材料としてのシリコンを中心とした
      マイクロシステムの破壊リスク・
      長期信頼性の評価に関する新しい展望」
        名古屋工業大学 大学院 教授 神谷 庄司
16:05~17:05
     「IoTを支える電子材料と表面処理技術」
        関東学院大学 准教授 盧 柱亨
17:10~18:30
- 講師の先生を囲む交流会 (立食形式)-
(会場:(財)マイクロマシンセンター本部 会議室 同ビル6階)
 (プログラムがやむを得ず変更になる場合がございますのでご了承下さい。)

参 加 費:
  * MEMS協議会メンバー ----- 1人 2,000円
    (正メンバー、アソシエートメンバー、MEMSフェロー)
  * 一 般 --------------------- 1人 5,000円
参加申込: http://www.mmc.or.jp/cgi/form/sentan_30/

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問合せ先: Tel 03-5835-1870
(財)マイクロマシンセンター 松本・酒向

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2015年3月20日 (金)

第29回先端技術交流会を盛況に開催

 「BEANSプロジェクト研究者達の新たな研究の取組み」というタイトルで、先端技術交流会を3月19日に開催しました。BEANSプロジェクトは、MEMS技術とナノ・バイオ技術が融合し、自律的に機能する異分野融合型デバイスの開発を目指し、平成20年度から24年度の5年間にわたり、経済産業省の主導のもと、独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)から技術研究組合BEANS研究所が委託を受け、企業、大学、独立行政法人産業技術総合研究所の研究者を結集し、産学連携体制のもとで実施しました。今回の先端技術交流会はプロジェクト終了から2年を経て、研究開発を推進した研究リーダーのうち3名の方をお招きし、現在の研究内容につき伺いました。

 最初のスピーカーは東京大学生産技術研究所機械・生態系部門の竹内昌治教授です。「高感度ハイブリッドセンサ」というタイトルで、バイオデバイス技術を使った創薬・医療・環境センシングの研究内容について紹介がありました。第1は分子デバイスにとして、膜タンパク質による高感度センサーです。バイオセンサの仕組みは、膜タンパクレセプターが被検出分子を取り込んだ時に出す何らかのシグナル(電子、光、質量等)を検知しますが、出力は非常に微量なのでその高感度検出手段が課題です。膜タンパク質は究極のバイオセンサで、人体は60トリリオンのセルで構成されています。膜タンパク質によるバイオセンサとして研究を進めているのが匂いを検知する犬の鼻センサーで、チップ化を進めています。脂質二重膜は細胞膜と同じ構造で、これに比較的簡単な昆虫のレセプターを使った化学物質の環境センサーを作成し、その脂質二重膜で分離されたイオン濃度の変化を計測することでの富士山頂でも検知できました。第2は細胞デバイスとして三次元細胞組織モデルについて紹介がありました。BEANSプロジェクトの時には点の細胞からのビルディングブロックを行いましたが、線型組織によるビルディングブロックに取り組んでいます。これはファイバー型に組織を構築するものです。トリリオンセンサー時代を迎えようとしている今日、バイオセンサーへの期待が高まる講演でした。

 二番目のスピーカーは東京大学大学院工学系研究科総合研究機構ナノ工学研究センターの杉山正和准教授です。「スマートエネルギーの実現に向けた3次元ナノ構造の開発」というタイトルで研究内容の紹介がありました。最初は太陽電池です。我が国のエネルギー構成はLNG・石炭・石油の化石燃料が大半を占めており、その輸入額が貿易収支を圧迫しています。その有力な対応策の一つが太陽電池です。太陽電池のコストは下落し続け、わが国の競争力は低下しています。しかし、Concentrator Solar Cellという集光型太陽電池がオーストラリアやアメリカで設置され、従来型の2倍の効率を実現しています。このタイプはレンズを使用して集光させ、太陽を追いかけるという機構を持ち、太陽光の強度が比較的多い地域、わが国にも適したものです。これに用いる太陽電池素子は小面積で高効率な太陽電池が必須ですが、これには積層構造必要であり、3次元構造が有効です。また、東北大学寒川教授が提唱する半導体量子ドットの形成による太陽電池にはBEANSプロジェクトで開発した中性粒子ビームエッチングが有効です。次の話題はLEDで3次元ナノ構造により広域発光LEDが実現され、商品化を進めているそうです。最後の話題はエレクトレットによる新たなデバイスで、会場にお見えになっていた静岡大学の橋口原教授が急遽プレゼンターとなりました。エレクトレットMEMSは従来型の100倍の効率が期待され振動発電素子に加えて静電トランス、双安定アクチュエータという機能デバイスの実現の可能性があります。今後の実用デバイスの開発が楽しみです。

 最後のスピーカーは産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター伊藤寿浩副研究センター長です。「トリリオンセンサ社会に向けてのセンサネットワークの取組み」というタイトルでBEANSプロジェクトのMacro BEANSのその後の成果について講演頂きました。大面積デバイスやフレキシブルシートデバイスの製織集積化技術は素子をファイバー状にして、機織り機のように編み込むことで実現できます。LEDリボンを製作しスキーウエアや天幕シートの製作を行いました。ファイバーへのリソグラフィー技術はマイクロインダクターやマイクロ温度センサの試作へつなげています。BEANSプロジェクトの後につながるグリーンMEMSセンサ端末の開発では、電力使用量見える化のためのフレキシブル電流センサ、キャパシタ機能内蔵の集積化技術、超低消費電力無線通信技術の開発、コンビニ2000店舗の実証実験と評価等の報告がありました。トリリオンセンサの実現のための突破口となる研究開発の紹介でした。

 3名の先生方によるプレゼンテーションを終え、会場をMMC会議室に移した懇親会では、「やあ、久しぶり」と話しが続きました。
<普及促進部> 内田和義

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