MEMSの波（ブログニュース）

　マイクロマシンセンターでは、国内外の最新かつ詳細なマイクロマシン・MEMSそして近年活発化しているナノ関連の研究開発の情報を収集・分析し、その技術動向を把握することを目的に、各年度MEMSの分野で代表的な国際会議を定点観測して、分野別動向調査報告書にまとめています。

　2022年度は“APCOT 2022（The 10th ASIA-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology）”と“MEMS 2023（The 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems）”を調査しました。

　“APCOT2022”は、アジア、太平洋地域でのMEMS／ナノテク分野の研究開発事例が発表される国際会議で、2002年に中国・アモイ市で第1回が開催されて以来、2004年は札幌、2006年シンガポール、2008年台湾・台南、2010年オーストラリア・パース、2012年中国・南京、2014年韓国・大邱、2016年金沢、2018年香港と、国際会議Transducersの開催されない年に隔年で開催されています。
　第10回が開催予定であった2020年は新型コロナウイルス感染拡大のため中止となり、2022年 5月29日(日)～6月1日(水)の日程で開催地を上海としてハイブリッド形態で開催されました。
　投稿件数は129件で、前回の157件から僅かに減少しました。その中から118件（前回143件）の論文が採択され、採択率は91％（前回91％）でした。
　国別では中国が72件（前回45件）でトップ、2位、日本33件（前回42件）と続きました。次いで、台湾とシンガポールが3件、タイとオーストラリアが2件、韓国が1件となりました。
　発表内容の大分類別では、Fundamentalsが33件（28%）, Applied Devices/Systemsが83件（71%）、どれにも該当しないものが1件（1%）で、応用分野に関する発表と基礎分野に関する発表の割合は、前回とほぼ同等でした。発表件数が多い分野は、Fundamentals Othersが16件と一番多く、Chemical Sensorが13件、Design and Modeling、OpticalおよびRF-MEMSで11件となりました。

　次に、“MEMS2023”は、IEEEのMEMS技術に関する国際会議で、毎年開催されています。36回目にあたる今回は、2023年1月15日～19日の日程で、独 ミュンヘンで開催されました。
　投稿件数は636件（前回600件）で、昨年より6%程度増加しました。採択された論文数は全体で314件（前回275件）、採択率は約49%（前回46%）でした。プレナリーを含む地域別発表論文数は米州43件（前回56件）、欧州57件（前回41件）、アジア太平洋212件（前回172件）となり、前回とほぼ同水準でした。
　地域別ではアジアが多く、昨年に続き中国が83件（前回70件）でトップ、日本54件（前回57件）、米国40件（前回54件）と続きました。このほか、アジア諸国では、台湾33件、韓国23件で、欧州では、ドイツ13件（前回5件）、オーストリア11件（前回1件）、オランダ6件（前回10件）となりました。
　発表件数が多い分野は、Mechanical Sensor（65件）、Radiation/Material Substance Sensor（66件）、Fabrication Technologies (non-Silicon)（47件）、Fluidic（42件）、Design and Modeling（38件）、Others (Applied Devices/Systems)（38件）、Actuators（35件）となりました。

　報告内容の詳細は、2022年度分野別調査報告書冊子のほか、マイクロマシンセンターのホームページ内の賛助会員のページにてご覧になることができます。

（調査研究・標準部長　藤澤　大介）

　マイクロマシンセンターでは、マイクロマシン／MEMS分野を取り巻く経済・政策動向のトピックを、いろいろな観点からとらえて発信しています。

　今月号、マイクロマシン／MEMS分野関連　【経済報告 2023年8月号】　をお届けします。
　業務の参考として頂ければ幸いです。

　以下より【経済報告 2023年8月号】PDFをご参照下さい。

　【経済報告 2023年8月号】（「2023_08.pdf」）へアクセス
　　（https://mmc.or.jp//info/monthly/economic_report/2023_08.pdf）

　IEC（国際電気標準会議）/TC47（半導体分野技術委員会） /SC47F（MEMS分野）、SC47E（個別半導体デバイス分野）の国際標準化WG会議が、日本のホスト（一般財団法人　マイクロマシンセンター主催）で、6月21 日～23日に、熊本県 熊本市国際交流会館にて開催されました。

　6月21日には、IEC TC47/SC47E/WG1&2会議が開催されました。
半導体関連技術に関する会議SC47E（DISCRETE SEMICONDUCTOR DEVICES）WG1（SEMICONDUCTOR SENSORS）、WG2（MICROWAVE DEVICES）へのSC47F関係者の参加により、WG各国エキスパートとの活発な意見交換がありました。

　6月22日には、IEC TC47/SC47F/ WG1-3&MT 会議が開催され、現地およびオンライン参加で29名（日本10名、韓国11名、中国8名）が出席し、現在審議中の規格案、新規提案等について議論されました。
　会議では、SC47F/MT1のコンビナーである熊本大学 高島和希教授が議事進行を務められました。日本の主な出席者は、高島教授の他、WG1コンビナーである先端素材高速開発技術研究組合 古田一吉氏、WG3コンビナーである次世代センサ協議会 大和田邦樹副会長、PLである神戸大学 神野伊策教と名古屋工業大学 神谷庄司教授、名古屋工業大学 泉隼人助教、近畿大学宍戸信之講師、SC47F国際幹事マイクロマシンセンター 三原孝士氏でした。
　WG1では、コンビナーである古田氏からWG活動概要、ココンビナーのSH Choa氏から「IEC 60747-4:2008 ED1」のレビジョンアップ、プロジェクトリーダーの変更等について説明されました。
　WG2では、コンビナーである韓国のHak Joo Lee氏からWG活動概要について説明されました。日本案件のステータスとして、神戸大学 神野教授提案の「IEC 62047-49：Reliability test methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever」のNP提出状況、近畿大学 宍戸信之講師提案の「IEC 62047-43：Test method of electrical characteristics after cyclic bending deformation for flexible electro-mechanical devices」のCDV投票完了、について説明されました。
　MT1（Maintenance team1）では、コンビナーの高島教授からISのstability date見直しについて説明され、各国と議論されました。
　WG3では、コンビナーである次世代センサ協議会 大和田邦樹副会長からWG活動概要が説明されました。また、WG3のコンビナーの神戸大学 磯野吉正教授への交代について説明され、磯野教授からは「Introduction of MEMS Research at Kobe Univ. - Nano Mechanical Systems Lab. -」と題して、研究内容について紹介されました。
　今後提案予定の規格案を紹介するFuture Worksでは、日本から名古屋工業大学 神谷庄司教授がPLである新規提案「フレキシブルMEMSデバイス耐久性の両方向折り曲げに関わる試験方法」の開発状況を同大学 泉隼人助教が説明されました。このほか各国からもMEMSに関する規格開発について紹介されました。

TC47/SC47F/WG1-3&MT会議の様子

　6月23日には、マイクロマシンセンター主催、熊本大学 国際先端科学技術研究機構（IROAST : International Research Organization for Advanced Science and Technology）共催で、「MEMS Standardization Workshop, – The 96th IROAST Seminar - 」が開催されました。
　Workshopは、熊本大学 高島和希教授が進行を務められ、共催のIROSTから、熊本大学 小林牧子教授から「Patchable piezoelectric/ultrasonic sensor development for automatic abnormal condition detection during homecare stage」について、熊本大学 中島雄太准教授から「Development of microfluidic devices for bio-medical applications」について講演されました。
　このほか、韓国Jungchul Lee氏から「Heater-integrated fluidic resonators」、中国Wei Zhang氏から「MEMS differential pressure flowmeter」、中国Dacheng Zhang氏「Discussion on material mechanical test system of micro-nano-fabricating structure」などMEMS技術に関して、講演され、各国エキスパートの活発な意見交換がありました。
　その他では、来年の本国際標準化WG会議を韓国で5月に開催することがKRNCから提案があり、了承されました。

MEMS標準化ワークショップ

　次回の会議は、IEC全体会議が11月にフランクフルトで開催されます。
また、来年のTC47/SC47F/WG1-3&MT 会議は、2024年の5月に韓国で開催される予定です。

（調査研究・標準部長　藤澤　大介）