MEMSの波（ブログニュース）

　4月19日（水）～20日（木）に、マイクロマシンセンター（MMC）からもほど近い東京両国のKFCホールで開催された「MEMS Engineer Forum 2023（MEF2023）」（写真１）に、MMCは昨年に引き続き、MNOIC（MicroNano Open Innovation Center）事業を紹介するパネル展示を行いましたので、簡単に報告いたします（写真２）。

　MEFは国内外企業からの出資によりエンジニアを中心に運営され、21世紀のキーテクノロジーとされるMEMS技術の現状と、向こう10年までの技術の将来に迫る国際会議で、今回は2009年3月の初開催から始まって第14回目の開催となり、32社のスポンサー企業が参加して8地域20名の講演者を迎え、この2日間で、13地域664名の方々が講演や出展を通じて、活発な議論が行われました。

　MEF2023の基調講演はセッション毎に1講演プログラムされ、全6セッションのトップで講演がありました。
　オープニング後のセッション1 “Streams of MEMS 1”では、台湾の国立清華大学Weileun Fang　教授から、“Leveraging Semiconductor Ecosystems to MEMS”と題し、特に台湾におけるMEMS関連産業の発展に関する解説がありました。印象に残ったのは、「台湾は狭い国土で、それゆえデザインハウス、ファンドリー、パッケージ、テストなど、MEMS関連産業の企業間、研究機関間の距離が近く、それがMEMSのエコシステム構築の一因となった」という見解で、戦略的な産官学連携がなされているように感じました。
　セッション2 “Core Equipment Technologies of MEMS”では、半導体装置、製造、販売を行う中国企業のAdvanced Micro-Fabrication Equipment Inc. (AMEC)（中微半導体設備（上海）股分有限公司）のGerald Yin氏から、半導体装置市場動向について紹介されました。半導体関連産業の中で、日本に優位性があるとされている半導体製造装置のセッションの基調講演が、中国企業から行われたことで、国内企業の更なる企業努力が必要であることを感じました。
　これら以外の基調講演としては、昨年に引き続きSi - MEMS の祖とも言うべきKurt Petersen 博士や、味覚、嗅覚センサの世界的権威の九州大学都甲潔特任教授などからの貴重な講演がありました。

　展示はKFCホールのホワイエとAnnexの2か所に分かれて開催され、国内外42社・機関からの出展と22社からの出展者プレゼンテーションが行われました。本展示会は質の高い参加者層が多いため、実ビジネスの交渉の場として有益であり、MNOICの活動について、提供できる技術や実用化や実用性に関連する内容などについての詳細な質問を受け、MEMS技術の成熟度とMNOICの知名度の高まりを感じました。

　今後もMNOIC活動を通じて、わが国の半導体・デジタル産業強化につながる活動を継続してまいります。
　本会議は毎年開催されており、次回は2024年4月17日（水）～18日（木）に、今回と同様KFCホールでの開催が予定されています。

写真１　MEF2023

写真2　パネル展示

（MEMS協議会　渡辺　秀明）

　令和５年度事業において一般財団法人マイクロマシンセンターは、Society5.0の実現やDX（デジタルトランスフォーメーション）、GX（グリーントランスフォーメーション）の推進に不可欠なマイクロマシン／MEMS分野及びスマートセンシング分野（以下、「マイクロマシン／MEMS分野等」という。）の一層の発展を支援するため、非営利セクターとしての利点を活かしながら、以下のとおり、基盤技術の研究開発、事業環境整備及び普及促進のための取組みを一層強化していきます。

１． MEMS協議会事業では、まず、MEMS分野におけるオープンイノベーション実践の我が国最大の拠点となったMNOIC（マイクロナノオープンイノベーションセンター）について、広範なユーザーからの多様な要望に応えていくことを目指して、更なる体制整備や活動強化に努めます。
　また、スマートセンシング＆ネットワーク（SSN）研究会においては、これまで実施してきたWG活動から、複数のナショナルプロジェクトが生まれるなど、一定の成果を上げてきましたが、本年度も産業技術力強化のためのプロジェクト提案を目指して研究会活動を推進します。

２． 我が国マイクロマシン／MEMS分野等のイノベーション創出に寄与し、Society5.0の実現やDX、GXの推進にも貢献すべく、本年度も、国／NEDO等が主導する以下の先端技術に係る研究開発プロジェクトや国際標準化の推進への取組みに参加します。

(1)　血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイス及び行動変容促進システムの研究開発（BaMBI）
　　　令和元年度～令和5年度

(2)　量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究（HS-ULPAC）
　　　令和元年度～令和5年度

(3)　薄膜圧電MEMSデバイスの寿命試験及び多方向折り曲げ信頼性試験方法に関する国際標準化
　　　令和3年度～令和5年度

(4)　振動発電エネルギーハーベスタの信頼性評価に関する国際標準化
　　　令和4年度～令和6年度

(5)　持続的・包括的標準化活動強化事業
　　　令和5年度～令和7年度

３． その他、マイクロマシン／MEMS分野等の国内外の技術動向や産業動向の調査をはじめとする調査研究、MEMSセンシング&ネットワークシステム展の開催なども含めた内外関係機関との交流・協力、標準化の推進など、これまで当センターが推進してきた諸活動も引き続き拡充強化しつつ実施していきます。
　また、これらの活動の広報や成果発信のために、インターネット上でのホームページ、ブログ及び月例ニュース（MICRONANO　Monthly）など多様な媒体を活用した情報発信・情報公開に努めます。

　マイクロマシンセンターでは、マイクロマシン／MEMS分野を取り巻く経済・政策動向のトピックを、いろいろな観点からとらえて発信しています。

　今月号、マイクロマシン／MEMS分野関連　【経済報告 2023年4月号】　をお届けします。
　業務の参考として頂ければ幸いです。

　以下より【経済報告 2023年4月号】PDFをご参照下さい。

　【経済報告 2023年4月号】（「2023_04.pdf」）へアクセス
　　（https://mmc.or.jp//info/monthly/economic_report/2023_04.pdf）