MEMSの波（ブログニュース）

　10月16日（日）から10月19日（水）に鹿児島大学（郡元）学習交流プラザ2階 学習交流ホールで開催されましたJCK MEMS/NEMS 2022に防衛装備庁安全保障技術研究推進制度の成果報告のため参加（10月16日～18日）しましたので、報告致します。

　JCK MEMS/NEMSは日本―中国－韓国のMEMS/NEMS（Micro Electro Mechanical Systems / Nano Electro Mechanical Systems）に関するジョイントの会議で、今回が第13回目になります。 日本、韓国、中国の順に持ち回りで開催しており、日本での開催は2019年の旭川での第10回会議以来3年ぶりになります。この間、新型コロナのため、第11回の韓国は限られたメンバーでのオンライン会議に、昨年の第12回は、中国メンバーは西安に集まりましたが、韓国と日本はオンラインでの参加のハイブリッド開催となりました。今年も当初はリアル開催を目指しましたが、新型コロナの影響で7月の沖縄開催を10月の鹿児島開催に延期するとともに、韓国からの招待講演者1名と留学生及び日本人は鹿児島に集合しましたが、他はオンラインでのハイブリッド開催となりました。

　参加者は会場65名、オンライン33名の計98名で、日本から67名、韓国から8名、中国から22名、ベトナムから1名の参加でした。ジェネラルチェアは慶應義塾大学の三木教授で、以下に示す日本、中国、韓国から各1件のプレナリートークと10件の招待講演（日本:3件、中国:4件、韓国:3件）、27件の口頭発表（日本:18件、中国:5件、韓国:4件）、5件の企業口頭発表（日本:5件）、15件のポスター発表（日本:13件、中国:1件、ベトナム:1件）と2件のバーチャルポスター発表（中国:1件、韓国:1件）の計62件の発表があり、MEMS/NEMS分野の最新の研究発表に関して活発な議論がなされました。会場及びポスター発表の様子を写真1と写真2にそれぞれ示します。

【プレナリートーク】
① Emergent Functions of Electrically-induced Bubbles (Prof. Yoko Yamanishi, Kyushu University, JAPAN)
② Recent Progress of thin films thermocouples by MEMS Technologies (Prof. Bian Tian (Virtual) , Xi’an Jiaotong University, CHINA)
③ 3D artificial cell membrane structure arrays fabricated on Si substrate in a microfluidic channel (Prof. Tae Song Kim (Virtual) , Korea Institute of Science and Technology, KOREA)

【招待講演】
① An example of applying blockchain technology to semiconductor fabrication (SVP Myoung Soo Choi, SK Hynix, South KOREA;Tottori University, JAPAN)
② Fabrication of Flexible Li ion Battery (Dr. Seungmin Hyun (Virtual) , Korea Institute of Machinery and Materials, KOREA)
③ MEMS foundry Service in Sony Semiconductor Manufacturing Corp. and Development of advanced process technology in collaboration with Tohoku University (Dr. Hidetoshi Miyashita, Sony Semiconductor Manufacturing Corporation, JAPAN)
④ IoD (Iternet of Disaster)-Feasibility Study of Debris Flow Detection in Sakurajima- (Dr. Yuichi Kurashima, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), JAPAN)
⑤ Laser Manufacturing of Multifunctional Flexible Sensors & System Integration (Prof. Kaichen Xu (Virtual) , Zhejiang Universit y, CHINA)
⑥ Microchannel cantilevers beyond mass sensing applications (Prof. Jungchul Lee (Virtual) , Korea Advanced Institute of Science and Technology, KOREA)
⑦ Flexible Sensing Electronics for Smart Prosthetic Hand (Prof. Ting Zhang (Virtual) , Suzhou Institute of Nano-tech and Nano-bionics, Chinese Academy of Sciences, CHINA)
⑧ Ultrabright Fluorescent Silicon Nanomaterials for pH Sensing and Bio-Medical Imaging Applications (Prof. Yufei Liu (Virtual) , Chongqing University, CHINA)
⑨ A MODIFIED LUMPED PARAMETER MODEL FOR MEMS MICROPHONE DEVELOPMENT (Dr. Kumjae Shin (Virtual) , KITECH (Korea Institute of Industrial Technology), KOREA)
➉ Ultra-precision Measurement for Some Tumor Markers (Prof. Lei Liu (Virtual) , Southeast University, CHINA)


 

　　　　　　写真1　会場の様子

　　　　　写真2　ポスター発表の様子

　今回私は、防衛装備庁が実施する安全保障技術研究推進制度JPJ004596 の委託事業「量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究（HS-ULPAC : High Stability Ultra Low Power Atomic Clock ）」におけるMEMS技術を活用した耐振動性を有する新しい小型原子時計量子部の試作成果について口頭発表し、HS-ULPACの技術力の高さをアピールして、研究成果の広報ができたと考えます。

　次回のJCK MEMS/NEMS 2023は2023年9月中旬に韓国の済州島で開催されることがアナウンスされました。来年こそは新型コロナが落ち着いて、完全リアルで開催できることを祈って閉会されました。

　　　　　　　　　　　（MEMSシステム開発センター長　武田　宗久）