MEMSの波（ブログニュース）

　4月20日（水）～21日（木）に、東京両国のKFCホールで開催された「MEMS Engineer Forum 2022（MEF2022）（写真１）にマイクロマシンセンター（MMC）はMNOIC（MicroNano Open Innovation Center）事業を紹介するパネル展示（写真２）を行いましたので、簡単に報告いたします。

　MEFは、21世紀のキーテクノロジーとされるMEMS技術の現状と、向こう10年までの技術の将来に迫る国際会議で、2009年3月の初開催以降MEF2022は第13回目の開催です。対面式（In-person）での開催は2019年以来、3年ぶりとなり、COVID-19の感染対策を徹底しての開催でした。

　今年も世界のトップクラスの研究者や技術管理職に加え、大企業からベンチャーなどの多岐に渡る講演者を招き、活発な議論が行われました。
　MEF2022の基調講演は３講演で、米Trillion Sensors Summit社のCEOを経てExo社の共同創設者となったJanusz Bryzek氏、日本のボッシュの代表取締役社長Klaus Meder氏、そしてMEMS の祖とも言うべきKurt Petersen 博士と、リモート出演ながらも大変豪華な顔ぶれでした。
　招待講演は、クアルコムテクノロジーズのEvgeni Gousev博士ら全16講演で、日本からは、筆者にはBEANSプロジェクト時代の非冷却赤外線センサの研究が懐かしく、また昨今のコロナ発熱検知に不可欠な存在となっている赤外線センサの権威である元立命館大学教授の木股雅章先生の講演もありました。例年同様、MEMSにかかわる上流の技術から下流のビジネスまでの話題で、会場参加者は324名と少数ですが、現場の第1線で活躍しているエンジニアを中心とした会議のため、対面では3年ぶり開催と相まって大変盛り上がりました。

　展示はKFC　HALL　ホワイエと、KFC　HALL Annexの2か所に分かれて開催され、国内外36機関から出展がありました。 質の高い参加者層が多いため、実ビジネスの交渉の場として有益であり、MNOICの活動について、提供できる技術や想定コストなどについての詳細な質問を受けました。

　今後もMNOIC活動を通じて、わが国の産業競争力強化につながる活動を継続してまいります。

写真１　MEF2022

写真2　MNOIC事業　パネル展示

　（MEMS協議会　渡辺　秀明）

　令和４年度事業において一般財団法人マイクロマシンセンターは、Soceiety5.0の実現に不可欠なマイクロマシン／MEMS分野及びスマートセンシング分野（以下、「マイクロマシン／MEMS分野等」という。）の一層の発展を支援するため、非営利セクターとしての利点を活かしながら、以下のとおり、基盤技術の研究開発、事業環境整備及び普及促進のための取組みを一層強化していきます。

（１） MEMS協議会事業では、まず、MEMS分野におけるオープンイノベーション実践の我が国最大の拠点となったMNOIC（マイクロナノオープンイノベーションセンター）について、広範なユーザーからの多様な要望に応えていくことを目指して、更なる体制整備や活動強化に努めます。
　また、スマートセンシング＆ネットワーク（SSN）研究会においては、これまで実施してきたWG活動から、複数のナショナルプロジェクトが生まれるなど、一定の成果を上げてきましたが、本年度も新たなWGの立上げなどを通じ、産業技術力強化のためのプロジェクト提案を目指して研究会活動を推進します。

（２）我が国マイクロマシン／MEMS分野等のイノベーション創出に寄与し、Soceiety5.0の実現にも貢献すべく、本年度も、以下のような国／NEDO等が主導する先端技術に係る研究開発プロジェクトや国際標準化の推進に参加します。

1. 血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイス及び行動変容促進システムの研究開発（BaMBI）
   　令和元年度～令和5年度
2. 薄膜ナノ増強蛍光による経皮ガス成分の超高感度バイオ計測端末の開発（SNIF）
   　令和元年度～令和4年度
3. 量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究（HS-ULPAC）
   　令和元年度～令和5年度
4. 薄膜圧電MEMSデバイスの寿命試験及び多方向折り曲げ信頼性試験方法に関する国際標準化
   　令和3年度～令和5年度
5. 振動発電エネルギーハーベスタの信頼性評価に関する国際標準化
   　令和4年度～令和6年度

（３）その他、マイクロマシン／MEMS分野等の国内外の技術動向や産業動向の調査をはじめとする調査研究、MEMSセンシング&ネットワークシステム展の開催なども含めた内外関係機関との交流・協力、標準化の推進など、これまで当センターが推進してきた諸活動も引き続き拡充強化しつつ実施していきます。
　また、これらの活動の広報や成果発信のために、インターネット上でのホームページ、ブログ及び月例ニュース（MICRONANO　Monthly）など多様な媒体を活用した情報発信・情報公開に努めます。

　マイクロマシンセンターでは、マイクロマシン／MEMS分野を取り巻く経済・政策動向のトピックを、いろいろな観点からとらえて発信しています。

　今月号、マイクロマシン／MEMS分野関連　【経済報告 2022年4月号】　をお届けします。
　業務の参考として頂ければ幸いです。

　以下より【経済報告 2022年4月号】PDFをご参照下さい。

　【経済報告 2022年4月号】（「2022_04.pdf」）へアクセス
　　　　（http://mmc.or.jp/info/monthly/economic_report/2022_04.pdf）