MEMSの波（ブログニュース）

　「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（協賛　マイクロマシンセンター）は1981年に第1回目を開催して以来、産学を中心にした研究グループ間の情報交換、アイデア討議の場として我が国のセンサ分野で重要な役割を担っており、本年で35回目を迎えました。

　本会議は新たな社会ニーズの創造を目指して、新しい物理・化学現象や効果を生かした新センサ・マイクロマシンおよびその製造技術に関心を持つ国内有数の研究者が一同に集うことから、最先端MEMS製造技術や大口径MEMS製造ラインを有するMNOIC（マイクロナノ・オープンイノベーションセンター）との親和性が高く、ここ数年継続して、MNOICのサービス内容について展示、発表しております。

　本年は、北海道命名150年という節目の年であるため、北海道札幌市に10月に開館したばかりの札幌市民交流プラザにて、10月30日から11月1日まで開催されました。この札幌市民交流プラザは北海道における多様な文化芸術活動の中心的な拠点であるとともに、北海道初の多面舞台を備え、多彩な演出を実現する2,302席の劇場（写真１）を有しています。この劇場をメイン会場に、劇場の主舞台と同程度の広さがあるクリエイティブスタジオや、ガラス張りの多目的スペースであるSCARTS（スカーツ）スタジオなどで会議が行われ、会期中は企業、大学などからの近年最高の900名を超える参加者でにぎわいました。

　まず、基調講演として「スペキュラティブエンジニアリング -技術と未来洞察-」と題し、東京大学大学院 情報理工学系研究科 准教授　川原 圭博氏の講演がありました。スペキュラティブ（デザイン）とは、「未来について考えさせる（speculate）ことで、より良い世界にする」デザイン手法の一つであり、「問題解決」のためのデザイン・プロセスの開発から、問いや視点を生み出し、アクションを経て、望ましい未来へ導くこととされていました。他の基調講演は「ナノバイオデバイスとAI が拓くSociety 5.0・健康長寿社会」と題し、馬場 嘉信名古屋大学大学院 工学研究科 教授、そして「固体酸化物形燃料電池（SOFC）の課題と展望」ということで、鹿園直毅東京大学 生産技術研究所 教授、さらに「鳥の求愛コミュニケーション：現在までの知見と展望」相馬 雅代北海道大学理学研究院生物科学部門准教授があり、最終日には、NMEMS技術研究機構と「インフラ維持管理・更新等の社会課題対応システム開発プロジェクト」で共同開発中の京都大学大学院 工学研究科塩谷 智基教授から、「インフラの効率的維持管理に向けた振動センシングアプローチ」の４講演が行われました

　MNOICについては、10/30に技術プレゼンテーションと会期中を通して技術展示を行いました（写真２）。お問い合わせの内容としては、MNOICが提供するサービスの主要内容や、具体的な利用の仕方から、主要装置の日常管理法、測定機器の校正、管理法など、ファンドリーサービスに関係深い詳細な問い合わせを受けました。

　ますます活用が本格化・多様化しているIoTやAIにおいて、MEMSセンサはネットワークとの融合で、数10兆個規模市場に急成長を遂げることが予測されています。特に今後のデバイスには、多機能かつ小型、低消費電力等が求められるので、MEMS技術無しでは成り立ちません。この分野でMNOICのサービスの実力をさらに向上させ、試作設備の共用化や、組織間の壁を低くし集団で力を発揮できるオープンイノベーションを推進し、我が国のIoTデバイスをはじめとする産業の発展に引き続き貢献していきます。