MEMSの波（ブログニュース）

　センサやMEMS関係の国内最大のシンポジウムである第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（以下センサシンポと略します）が本年10月31日（火）～11月2日（木）、広島市の広島国際会議場で開催されました。ここ数年継続して、このシンポジウムに一般財団法人マイクロマシンセンターからMNOIC（マイクロナノ・オープンイノベーションセンター）の概要とサービスの内容について展示、発表しておりますが、本年の結果を紹介いたします。

　広島市は「国際平和文化都市ひろしま」を都市像に掲げ、世界に開かれたまちづくりを推進しており、広島国際会議場は、その拠点施設として、市制施行100周年を迎えた1989年7月に、平和の聖地・広島平和記念公園に誕生し、隣には平和記念資料館があります。地上3階、地下2階からなる本格的な国際会議場であり、1,504名収容の大ホールをはじめ、国際会議ホールや大・中・小の会議室などを備えており、会期中は企業、大学などからの700名を超える参加者でにぎわいました。

　今年度は日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門主催の「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」、応用物理学会集積化MEMS技術研究会主催の「集積化 MEMSシンポジウム」が同時開催として復活し、さらにエレクトロニクス実装学会および電子情報通信学会との連携セッションも開催され、大幅に増加しました。また、今回新たな試みとして，一般投稿を基本的にポスター発表のみとすることで、これまで以上に密な議論の場を提供することを狙いにしたそうです。

　まず、「Microscale magnetic resonance detectors: a technology roadmap for in vivo metabolomics」 と題し、Dr. Jan G. Korvink教授 （マイクロシステム技術研究所　カールスルーエ工科大学（独））の基調講演がありました。講演は核磁気共鳴（NMR）に焦点を当て、マイクロシステム技術を使ってNMRシステムを小型化し、より正確かつ敏感にすることで、システム生物学者がメタボロミクスの状態を捕捉するのに必要な情報を正確に伝えることができるというものでした。

　他の基調講演は「SKYACTIVエンジン開発の志」 マツダ株式会社常務執行役員，シニア技術開発フェロー人見 光夫氏、「夢をビジネスに変える力」 株式会社キャステム 代表取締役社長折り紙ヒコーキ協会 会長戸田 拓夫氏、「人々をエンパワーするウェアラブル・センシングとフィードバック技術」 筑波大学システム情報系 教授科学技術振興機構 (JST) CREST 研究代表者鈴木 健嗣氏、「非冷却赤外線イメージセンサ」 立命館大学理工学部 機械工学科 特任教授木股 雅章氏の４講演が行われました。

　MNOICについては、10/31に技術プレゼンテーション（写真１）と会期中を通してポスター展示を行いました（写真２）。問い合わせの内容としては、MNOICが提供するサービスの主要内容や、具体的な利用の仕方、主要装置の日常管理法など、ファンドリーサービスに関係深い詳細な問い合わせを受けました。

　ますます活用が本格化・多様化しているIoTにおいて、MEMS技術はキーテクノロジーです。特に今後のIoTデバイスには、多機能かつ小型、低消費電力等が求められるので、MEMSへのニーズがさらに高まることは明らかです。この分野でMNOICのサービスの実力をさらに向上させ、オープンイノベーションを推進し、我が国のIoTデバイスをはじめとする産業の発展に引き続き貢献していきます。