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2017年6月12日 (月)

IEC/TC47/SC47Fアドホック会議東京の開催報告

 IEC/TC47技術委員会傘下の、MEMS関連の分科会であるSC47Fのアドホック会議を、6月8日から9日まで、東京・大手町の電子情報技術産業協会(JEITA)にて開催しました。今年は日本がホスト国であり、マイクロマシンセンターが事務局として会議を主催しました。

 6月8日に開催されたTC47/SC47F会議には33名(日本13、韓国8、中国12)が出席しました。韓国からはSC47F議長を務めるソウル科学技術大のS-H.Choa教授を含む大学教授3名、コンビナを務める韓国機械研究院のH-J.Lee部長他、MEMSならびにセンサ分野からの研究者8名が出席、中国からは北京大の教授3名をはじめとした12名が出席し、本分野における標準化に対する、韓国・中国両国のアクティビティの高さがあらためて印象に残りました。日本からも、会議の総合司会を務められたコンビナの熊本大副学長高島和希教授や、同じくコンビナの次世代センサ協議会大和田邦樹専務、SC47F国際幹事・副幹事であるマイクロマシンセンター竹内南・三原孝士をはじめとした13名が参加しました。


6月8日の会議の様子


 会議では、現在審議中の規格案についてコンビナから報告の後、意見交換が実施されました。日本からの提案である「MEMS圧電薄膜の特性測定方法に関する国際標準化(プロジェクトリーダ(PL):神戸大神野伊策教授)」、ならびに、「MEMS圧電薄膜の信頼性試験方法に関する国際標準化(PL:神野教授)」が、現在、それぞれ、FDIS(最終国際規格案)作成中、CD(委員会原案)作成中である旨の報告がなされました。また、日本から今年4月に規格案提出(NP:New work item Proposal)を行った「薄膜MEMS応用デバイスの曲げ信頼性試験方法に関する国際標準化(PL:名古屋工業大神谷庄司教授)」については、内容説明のプレゼンテーションが実施され、各国への審議協力の呼びかけが行われました。


参加者集合写真


 また、同日夕刻には、場所を如水会館に移し、ホスト国日本の招待でのバンケットが開催され、各国の親交を深め、引き続き国際標準化活動における相互協力を誓い合いました。
 


バンケットの様子

 6月9日にはTC47/SC47FのMEMS Workshopが開催されました。8日の会議と同等の出席者があり、全部で4件の発表がありました。日本からは2件、「走査型白色干渉計によるマイクロスケール構造体の応力ならびに応力分布計測(熊本大副学長高島和希教授)」と「スマートセンシング・インターフェースに関する標準化(マイクロマシンセンター大中道崇浩)」の発表が行われました。また、韓国からは韓国機械研究院J-H.Kim博士から、マイクロLEDディスプレイ向け無機デバイスのロール転写技術に関する報告が、中国からは北京大Z.Dacheng教授から、微細加工構造のin-situ・on-chip機械特性試験についての報告がありました。それぞれの発表に対して活発な意見交換が行われ、参加者の意識共有化を図ることができました。


6月9日の会議の様子


 次回会合は、10月にロシア・ウラジオストクで開催されるTC47全体会議の予定です。


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