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2017年3月

2017年3月24日 (金)

平成29年03月の経済報告

 本項は、マイクロマシン/MEMS分野を取り巻く経済・政策動向のトピックを、いろいろな観点からとらえて発信しています。

 平成2903月の経済報告をお届けします。

 業務の参考として頂ければ幸いです。
  

 内容は、以下のPDFをご参照下さい。

「2017.03.pdf」をダウンロード

 

 

 

 

 

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2017年3月23日 (木)

MNOIC(マイクロナノオープンイノベーションセンター)の活動状況

 MNOICはTIAのMEMSオープンプラットフォーム拠点として、産総研集積マイクロシステム研究センター、筑波大学と連携して、MEMS研究の知の蓄積とMEMS試作ファンドリー活動などを幅広く行っております。事業開始後6年がほぼ経過し、この間産業界、大学等から強いニーズに加え、幅広い支持が得られております。ここではMNOICの2016年度活動状況をご報告致します。

1. 工程受託コースの増加
  産総研共用施設等利用制度を利用した工程受託コースのご利用は、
 開始した2014年度の4件から2015年度は26件、2016年度31件と順
 調に増加しています。

2.技術ノウハウの蓄積
 1)品質管理、工程管理活動
   6年間における活動の中で、品質管理、工程管理マニュアルの
   整備完了
 2)国プロ研究開発参画による新技術の蓄積  
  ・道路インフラ(RIMS):高耐久性パッケージ技術
  ・ライフラインコア(UCoMS):圧電薄膜プロセス技術
  ・IoTオープンイノベーション:段差基板上のポリイミド平坦化技術

3.人材育成・国際交流活動
 1)TIA連携大学院
  <MNOIC実習講座>
  「インフラおよび産業機器モニタに利用可能な、MEMSセンサの
   回路・システム実習」
 2)TIA-CuPAL
   (科学技術人材育成)「ナノテクキャリアアップアライアンス」
    への協力
 3)MEMS短期コース
   (タイ留学生研修)「さくらサイエンスプラン」への協力
 
4.広報・普及活動
 ・「MEMS センシング&ネットワークシステム展 2016」出展
                 2016/9/14-16(パシフィコ横浜)
  http://www.nanomicro.biz/mems/2016/09/2016916-4c83.html

 ・「センサエキスポジャパン2016」ポスター展示 
                2016/9/28-30(東京ビッグサイト)


         写真1 センサエキスポジャパン2016

 ・「TIAシンポジウム」ポスター展示 
                  2016/10/11(イイノホール)


            写真2 TIAシンポジウム

 ・「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 出展
            2016/10/24-26(長崎県平戸文化センター)
  http://www.nanomicro.biz/mems/2016/10/mnoic-1c7f.html

 ・「nano tech 2017」ポスター展示 
                2017/2/15-17(東京ビッグサイト)


           写真3 nanotech2017

 ・「微細加工ナノプラットフォームシンポジウム」ポスター展示
                   2017/3/8(東大武田先端知)
  http://www.nanomicro.biz/mems/tianmems/index.html

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2017年3月13日 (月)

第27回MEMS講習会開催の報告

 2017年3月9日にまちなかキャンパス長岡において、第27回MEMS講習会を開催致しました。MEMS講習会は、MEMS協議会に所属するMEMSファンドリーネットワーク企業を中心に企画され、都内と地方都市で年に1回ずつ開催しています。                  
                  
   今回は「MEMS技術を利用した地域活性化」をテーマに、長岡地区の大学や企業と連携してMEMS産業の育成に取り組まれている新潟県総合技術研究所と、にいがたナノ基盤技術実践会、との共催で、地元企業とのビジネス交流を目的として、開催いたしました。当日は、あいにくの雪となりましたが、47名もの参加者を得て、MEMS分野で最先端の研究開発をされている研究者による特別講演と、長岡地区の企業とMEMSファンドリーネットワークの双方からの報告により、MEMS技術の事業への活用について議論する貴重な場となりました。
                  
                  
                  

                  

           写真1 講演会場の様子
                  
                  
                  

                  

   写真2 にいがたナノ基盤技術実践会(共催) 明田川会長
                  
   主催者および共催者の挨拶のあと、1件目の特別講演として、東北大学の田中秀治教授から「スマート社会5.0の鍵を握るMEMS」と題して、ご講演いただきました。IoTにより実現されるスマート社会5.0を支えるMEMS技術として、Epi-Sealプラットフォームにより生み出される様々なセンサや、音声認識やノイズカットなどでいつの間にか身近な製品に浸透しているMEMSマイクロフォンなど、様々なデバイスと、その応用例をご紹介いただきました。MEMSマイクロミラーの応用では、高速位置トラッキングやVRヘッドセットなど、様々な製品へと用途が広がっており、また、MEMSジャイロの高性能化や触覚センサなど、ロボットなど自動で動き回る機械が人と共生する上で必須となるセンサ技術や、大量のセンサを組み込んだシステムでの情報伝達のためのバスネットワークなど、スマート社会5.0を実現するための様々な技術開発が着実に進んでいることもわかりました。田中研究室では、江刺研究室時代から培われているノウハウを基に企業のデバイス開発を陰に陽に支援されており、多くの企業の事業化を実現されておられます。60分という短い時間ではありましたが、MEMS産業の発展に向けた更なるご活躍が期待されるご講演でした。
                  
                  
                  

                  

         写真3 特別講演1 田中先生
                  
                  
                  

                  

         写真4 特別講演2 河合先生
                  
   続きまして、2件目の特別講演として、長岡科学技術大学の河合晃教授より「新潟県地場産業とMEMSデバイス産業との懸け橋」と題して、ご講演いただきました。新潟県は、非鉄金属加工が盛んな工業地帯であり、MEMSデバイスの活用による産業の更なる活性化が期待される地域であることもわかりました。また、河合研究室での研究内容として、自然災害に備えた計測技術(地震計測など)や生体燃料を用いた燃料電池、植物の成長促進に向けて開発されたバイオチップ、ナノバルブの観察手法など多岐にわたる技術をご紹介いただきました。特にバイオチップで植物のpH値を適切に制御することで成長を促進する技術は、遺伝子操作や品種改良によらず食料を増産可能な技術として期待されます。河合教授は、開発した技術の事業化を支援するベンチャーを立ち上げられており、企業と連携した研究成果の事業化が期待されるご講演となりました。
                  
                   ここでいったん休憩を挟み、休憩明けからは長岡地区の企業から3件のご講演と、ファンドリーサービス産業委員会からのファンドリーサービス内容をご紹介させていただきました。長岡地区から最初のご講演は、ナミックス株式会社の榎本利章氏より、「アンダーフィルのシミュレーションから見えるもの」と題して、フリップチップパッケージを対象としたアンダーフィルの流動・応力・疲労解析技術についてご紹介いただきました。研究開発費比率が10%弱と高く、2014年にはグローバルニッチ企業100選にも選定された企業で、技術開発力の高さを垣間見るご講演でした。
                  
                  
                  

                  

        写真5 ナミックス株式会社 榎本氏
                  
   次にヘッドアップディスプレイ(HUD)で世界No1のシェアを誇る日本精機株式会社の中原剛氏より「HUDにおけるMEMS技術」と題して、ご講演いただきました。欧州の高級車を中心に搭載が進むHUDでは、液晶型が主流となっておりますが、将来的にはDMD(デジタルミラーデバイス)やMEMSミラーを用いたプロジェクションタイプにより視認性を改善する方向に技術開発が進むのではないかとのことで、MEMS関連企業にとっては、心強いご講演となりました。
                  
                  
                  

                  

        写真6 日本精機株式会社 中原氏
                  
                   長岡地区の企業からの最後のご講演は、コネクテックジャパン株式会社の小松裕司氏より「MEMSプロセスを用いた半導体基板配線狭ピッチ化」と題して、ご講演いただきました。LSIの多機能化により1チップ当たりの端子数が増えているが、現状の実装技術では端子ピッチとして40μmが限界であり、チップの小型化が進んでも端子ピッチの制約でパッケージサイズが律速されつつある現状と、この課題のブレークスルー技術として開発中の配線とバンプの一括転写技術について、ご紹介いただきました。この技術は、流体MEMSのチップ作製に用いられる厚膜レジストによる型作りと、PDMS(ポリジメチルシロキサン)への精密転写の技術を応用しており、PDMSの離形性の良さを活用してバンプと配線パターンを一括して基板上に転写することで、端子の狭ピッチ化を実現されておられます。開発中の技術とのことですが、スキージでクリームはんだを基板上に転写する印刷法に代わる技術として、実用化が待たれます。
                  
                  
                  

                  

     写真7 コネクテックジャパン株式会社 小松氏
                  
  MEMSファンドリーネットワークからは、産総研、MNOIC、大日本印刷、メムスコアからMEMSの開発支援から量産までを網羅した4件の技術紹介をいたしました。最初にファンドリーサービス産業委員会の浅野委員長より、「MEMSファンドリーネットワークとサービスのご紹介」と題しまして、MEMSを開発したい企業を支援する仕組みをご紹介させていただきました。所属機関からは、産総研の高木総括研究主幹より、集積マイクロシステム研究センターで開発してきた様々なMEMS技術について、ご紹介いただき、その産総研の設備を運用してMEMS開発を支援するMNOICの紹介をMNOIC開発センターの原田氏よりいたしました。ファンドリー企業からは、大日本印刷の中本氏より「大日本印刷MEMSファンドリーご紹介」、メムスコアの慶光院氏より「メムスコアのビジネス」、と発表が続き、本講習会の最後に部屋を移動してファンドリーサービス産業委員会の企業による技術相談会を開催いたしました。別会場ではありましたが、多数の参加者に足を運んでいただき、予定の時間を過ぎても活発な議論が交わされ、MEMSデバイスの開発を目指す企業の裾野が拡がっていくことが期待できる講習会になりました。今後、講習会に参加された方々とMEMSファンドリーネットワークとのコラボによる製品開発がなされることを期待いたします。
                  
   また翌日は、長岡技術科学大学の見学会を開催いたしました。長岡技術科学大学は、企業の人事担当者から見た大学のイメージ調査で、総合ランキング1位を獲得されており、特に学生の行動力が高く評価されているそうです。地域の高等専門学校からの編入者が多く、長期間にわたる企業での実習プログラムなどもあり、実践的な技術の開発を主眼とした教育を進めておられます。研究室の見学では、前日の講習会でご講演いただきました河合晃教授のナノマイクロ研究室と、明田川教授のピコメートル・ナノメートル研究室の見学をさせていただきました。河合教授の研究室では、デバイスの設計から試作、パッケージングまでを一貫して行える設備を揃えられており、自らの力で発想を具現化することで、実践力のある学生を育成されておられます。対象とされている分野として、原子間力顕微鏡を用いたナノスケール解析・加工技術から地震計測、燃料電池、植物育成制御用バイオチップなど、多岐にわたる技術をご紹介いただきました。研究成果の実用化に向け、企業での事業化の支援を目的としたベンチャーを設立されており、実社会への研究成果の普及に力を入れられているのが良く分かりました。また、明田川教授の研究室では、原子スケール精度の計測に取り組まれており、精度向上のための温度変動の抑制や低熱膨張率材を用いた装置など、様々な実験装置をご紹介いただきました。また、リニアスケールの格子としてグラファイト格子を利用し、その格子間隔を走査型トンネル顕微鏡で捉えたり、レーザ干渉計の波長安定化ために原子の励起周波数を利用されるなど、大変興味深い技術もご紹介いただきました。改めて、長岡技術科学大学での見学会を企画いただいた方々に感謝いたします。
                                                  (産業交流部 小出晃)

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2017年3月 9日 (木)

2017年 第23回「国際マイクロマシンサミット」開催のご案内

 マイクロマシンサミットは、年に1回、世界各国・地域の代表団が集まり、マイクロマシン/ナノテクノロジーに関する課題や展望につき意見交換する場です。日本の提案により平成7年3月に京都で開催されたのが始まりで、以後、各国持ち回りで開催されています。これまでオーストラリア、カナダ、中国、フランス、ドイツ、日本、韓国、シンガポール、スイス、台湾、イギリス、米国、ベネルクス、ノルディク、ラテンアメリカ、地中海沿岸地域の国々、およびロシアが参加し、各国のマイクロマシン/MEMSやナノテクの取組状況と課題、ならびに世界の産・学研究機関での最先端の研究成果等の発表がなされ、またその討議が行われました。昨年は東京で開催されて16ヵ国から51名のデリゲートが参加し、「高齢化社会におけるセンサ・MEMS」をテーマに、様々な話題が報告されました。
 
 2017年は5月15日(月)から17日(水)までスペインのバルセロナで開催されます。今回のトピックスは、” Micro and Nano Systems for Smart Cities applications”です。スペインは、関連研究所にセンサやMEMS,無線、半導体や集積回路、物性やナノ材料と言った複数の専門分野の研究者が同居する研究所が多く、多数の専門領域の融合が進んでいるのが特徴です。

 
 また今回のオーガナイザーは、CNM-CSIC(National Microelectronics Center of Barcelona)の所長Carles Cané教授で、サミットには通算で14回参加されている古参のお一人です。詳細は以下のURLを参照ください。
 http://mms2017.imb-cnm.csic.es/
 
 今回も、下山勲東京大学教授を団長として日本代表団を構成し、参加を予定しております。マイクロマシンセンターの会員の皆様はご参加いただけます。世界のマイクロマシン/MEMSやナノテクに関する情報収集や意見交換できるまたとない機会ですので、ぜひご参加いただきたくご案内いたします。

 お問い合わせ先
  一般財団法人マイクロマシンセンター/MEMS協議会事務局
   国際交流担当 三原 孝士
   〒101-0026東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル6階
   TEL: 03-5835-1870  FAX: 03-5835-1873
   e-mail:  t_mihara@mmc.or.jp



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「微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム シンポジウム」でMNOICを紹介

 MEMS、ナノテク、微細加工技術の情報発信と関係者の交流を目的に、文部科学省の委託事業である微細加工ナノプラットフォームについてのシンポジウムが本年3月8日(水)、東京大学 浅野キャンパス 武田先端知ビル武田ホールにて開催されました。昨年に引き続きこのシンポジウムに一般財団法人マイクロマシンセンターからMNOIC(マイクロナノ・オープンイノベーションセンター)の概要とサービスの内容についてポスター展示致しましたのでご報告します。

 この微細加工ナノプラットフォームシンポジウムは、最先端のナノテクノロジーの研究開発動向と、微細加工ナノプラットフォームを活用し産学官の緊密な協力の下で生まれた技術開発の成功事例、ならびに現在開発を進めている企業の生の声などを紹介するもので、100名を超える参加者でほぼ満席の中、開催されました。冒頭、本プラットフォームコンソーシアムの代表機関である京都大学の運営責任者、小寺秀俊教授から、開始から5年を経過し、大学等の施設の共用と蓄積された知により企業の新技術開発、課題解決を支援し、順調に利用件数が増加していることが報告されました(写真1)。

 次に、文部科学省研究振興局岡村直子参事官の来賓挨拶では、政府の総合科学技術・イノベーション会議で検討され、その後2016年1月に閣議決定されたSociety 5.0における科学技術政策に乗った試みであるとのコメントがありました。続いて、総合科学技術イノベーション会議 原山優子議員の基調講演「微細加工プラットフォームのポテンシャルを探る」の中で、MEMS発展の事例紹介的な講演がありました。

 その後特別講演として、リコー未来技術研究所山口高司顧問技師長の「リコーのナノテクノロジーを活用した新規事業への挑戦」と、産総研の原史朗ミニマルシステムグループ長から「研究->開発->生産を一体化加速する超小型デバイス製造システム・ミニマルファブ」の2件の講演ありました。

 休憩後、微細加工ナノプラットフォームの利用事例として、リオン株式会社 伊藤平 氏による 「シリコンエレクトレットマイクロホンの開発」と 獨協医科大学 清水理葉 医師から、「新しいEx vivo微小血管モデルの作成」の報告がありました。2件とも、実施者はMEMSの専門外ながらも、このプラットフォームの支援機関の強力なサポートを得て、新規なデバイス作製に成功しており、異分野融合によるイノベーションの創出モデルとして注目されます。講演会の最後に「マテリアルズインフォマティクスにおける材料データベース」と題し、情報統合型 物質・材料イニシアティブ 伊藤聡 氏の報告がありました。
 
 講演会終了後は、ポスターセッションと意見交換会が武田ホールホワイエで開かれました(写真2)。ポスター展示には、微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム16機関に加え、協賛機関7機関、協力機関3機関もセッションに参加し、各機関の特色に重きを置いた説明が各所で行われました。MNOICでは、微細加工ナノプラットフォームで開発された成果の技術移転先として注目されており、いくつかの実用化研究やサンプル作製の打診を受けました。MNOICの特色である、サンプル販売も可能なことを活かし、本コンソーシアムとの連携をさらに強化することで、研究開発から商品開発までのリードタイムを短縮し、我が国の産業競争力強化につながる活動を継続してまいります。



写真1


写真2

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