MEMSの波（ブログニュース）

　IEC/TC47技術委員会傘下の、MEMS関連の分科会であるSC47Fのアドホック会議が、6月9日から10日まで、中国・成都にて開催されました。
　　　
　6月9日に開催されたTC47/SC47F会議には37名（日本8、韓国9、中国18、ドイツ2）が出席し、昨年10月の、ベラルーシ・ミンスクでの全体会議の審議状況の報告、および現在審議中の規格案について、コンビナから報告の後、意見交換が行われました。日本からの提案である「MEMSエレクトレット振動発電デバイス（PL:東京大学　鈴木雄二教授）」が現在CDV回付中である旨の報告がなされました。また、Future workとして、神戸大学　神野伊策教授からMEMS圧電薄膜の信頼性評価についてのプレゼンテーションが行われました。
　　　
　6月10日にはTC47/SC47FのMEMS Workshopが開催されました。9日の会議と同等の出席者があり、全部で５件の発表がありました。日本からは２件、「フレキシブルMEMSデバイスにおける曲げ信頼性試験（北九州環境エレクトロニクス研究所：宍戸先生）」と「スマートセンシング・インタフェースに関する標準化（マイクロマシンセンター：坂井）」の発表が行われました。韓国からも２件の報告があり、グラフェンの機械的特性に関する報告ならびにresonant mass sensorに関する報告がありました。中国からはMEMS chipsに関する技術的要求事項についての報告がありました。それぞれの発表に対して活発な意見交換が行われ、参加者の意識共有化を図ることができました。
　　　
　次回会合は10月にドイツ・フランクフルトで開催されるTC47全体会議の予定で、各国参加者と再会を約束して会議日程を終了しました。

（調査研究・標準部　坂井裕一）