MEMSの波（ブログニュース）

　MNOIC事業開始後5年を経て、本格稼動ステージに進み、着実にユーザが増加し、我が国有数のMEMSファンドリーになりつつあります。工程受託の充実、研究施設の拡充、技術ノウハウの蓄積、人材育成を活動の柱として、産官学連携を通じたTIAのオープンイノベーション活動を強化しています。

　産総研共用施設等利用制度を利用した工程受託コースのご利用は、平成26年度の4件から27年度は26件と大幅に増加しています。

　研究施設の現状は以下の通りとなっております。
　１）最先端MEMS装置　５４台
　２）主要設備
　　・１２“ウェハ常温接合装置
　　・８“ナノインプリント装置
　　・圧電定数評価装置
　3）産総研クリーンルーム面積
　　・3B棟　　　　250m2
　　・3D棟　　　　350m2

　以上の実績を踏まえ、技術ノウハウの蓄積を進めています。
　１）品質管理、工程管理活動
　　5年間における活動の中で、地道に品質管理、工程管理ノウハウを蓄積しています。
　２）国プロ研究開発参画による新技術の蓄積　　
　　・道路インフラ（RIMS)：高耐久性パッケージ技術
　　・ライフラインコア(UCｏMS)：圧電薄膜プロセス技術
　　・革新認識システム(IRiS)：ナノ構造加工技術

　また、人材育成・国際交流に努めています。
　1）TIA連携大学院
　　<MNOIC実習講座>大口径最先端光学式評価装置を用いた強誘電体薄膜の評価
　2）TIA-CuPAL
　　　　（科学技術人材育成）「ナノテクキャリアアップアライアンス」への協力
　3)MEMS短期コース
　　　　（タイ留学生研修）「さくらサイエンスプラン」への協力
　
　＜MNOIC研究企画部長　渡辺秀明＞