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2016年5月10日 (火)

MNOIC(マイクロナノオープンイノベーションセンター)の活動状況

 MNOIC事業開始後5年を経て、本格稼動ステージに進み、着実にユーザが増加し、我が国有数のMEMSファンドリーになりつつあります。工程受託の充実、研究施設の拡充、技術ノウハウの蓄積、人材育成を活動の柱として、産官学連携を通じたTIAのオープンイノベーション活動を強化しています。

 産総研共用施設等利用制度を利用した工程受託コースのご利用は、平成26年度の4件から27年度は26件と大幅に増加しています。

 研究施設の現状は以下の通りとなっております。
 1)最先端MEMS装置 54台
 2)主要設備
  ・12“ウェハ常温接合装置
  ・8“ナノインプリント装置
  ・圧電定数評価装置
 3)産総研クリーンルーム面積
  ・3B棟    250m2
  ・3D棟    350m2

 以上の実績を踏まえ、技術ノウハウの蓄積を進めています。
 1)品質管理、工程管理活動
  5年間における活動の中で、地道に品質管理、工程管理ノウハウを蓄積しています。
 2)国プロ研究開発参画による新技術の蓄積  
  ・道路インフラ(RIMS):高耐久性パッケージ技術
  ・ライフラインコア(UCoMS):圧電薄膜プロセス技術
  ・革新認識システム(IRiS):ナノ構造加工技術

 また、人材育成・国際交流に努めています。
 1)TIA連携大学院
  <MNOIC実習講座>大口径最先端光学式評価装置を用いた強誘電体薄膜の評価
 2)TIA-CuPAL
    (科学技術人材育成)「ナノテクキャリアアップアライアンス」への協力
 3)MEMS短期コース
    (タイ留学生研修)「さくらサイエンスプラン」への協力
 
 <MNOIC研究企画部長 渡辺秀明>


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