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2016年1月

2016年1月19日 (火)

【平成28年1月の経済報告】

 本稿は、マイクロマシン/MEMS分野を取り巻く経済・政策動向のトピックをいろいろな観点からとらえて発信しています。

 新年、平成28年1月の経済報告をお届けします。業務の参考として頂ければ幸いです。  

 内容は、以下のPDFをご参照下さい。

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2016年1月14日 (木)

マイクロナノ製作の革新技術に関する全仏会議

Journées Nationales sur les Technologies Emergentes en micro-nanofabrication
(French Symposium on Emerging Technologies in micro- nanofabrication
マイクロナノ製作の革新技術に関する全仏会議
French-Japanese Workshop on Micro & Nanofabrication
マイクロとナノ製造技術に関する日仏ワークショップを併催
2015 年 11 月 18 日~21 日、エコール・セントラル・リヨン、エキュイ、フランス
2015 年 11 月 18 日~21 日 にフランスのリヨン(正確にはリヨン郊外のエキュイ)で開催された JNTE2015 会議(マイクロナノ製作の革新技術に関する全仏会議)に出席し、招待講演をするとともにフランスにおける革新的な微細加工技術の情報収集と討議を行った。出席者は 180 名程度(研究者・博士学生 120 名、修士学生 60 名)で、主としてフランスの方である。日本からは、日仏ワークショップに 10 数名が参加する予定であったが、11 月13日のパリでの事件のため、私以外に東大の浅田教授、三田准教授、京大の小寺教授(微細加工ナノプラットフォーム代表者)ほか 2 名の 6 名が参加した。いわゆる研究者だけでなく、クリーンルームで微細加工に携わるエンジニアや、大学院生の参加や発表が多かった。

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JNTE 会場風景

発表は、招待講演が 12 件、一般からの口頭発表が 21 件(リソグラフィー関係 4 件、エッチング関係 4 件、新材料とそのプロセス関係 7 件、複合技術関係 6 件)、ポスター発表が28 件(リソグラフィー関係 8 件、エッチング関係 1 件、新材料とそのプロセス関係13 件、複合技術関係 6 件)。発表内容はプロセスと加工の多岐にわたっており、誘電体・機能酸化膜・圧電薄膜の成膜と加工に始まって、ナノワイヤ作製、ナノリソグラフィー、ブロックコポリマーを用いた自己組織的ナノパターン形成、太陽電池を含む環境発電やエネルギー蓄積デバイス、マイクロナノ加工のバイオや光学への応用までの発表があった。昨今の MEMS関連会議が応用デバイスとその性能評価に偏りがちであるのに対し、加工技術を中心に据えた会議であるため、実際のデバイス作製の工夫や苦労が伝わってきて面白かった。さらにこの会議は「マイクロとナノ製造技術に関する日仏ワークショップ」を併催しており、日本とフランスのナノ加工プラットフォームに関する情報交換が行われた。日本は微細加工ナノプラットフォーム、フランスは RENATECH と称する設備供用ネットワークが共催した。なお、どちらのネットワークも各地の大学や研究機関にある微細加工装置やナノ評価装置を供用して、広く技術を普及する役割を果たしている組織であり、その概要と近年の実績や加工例について 13 件の発表があった。私は、二日目の午前中の第二セッションで In situ TEM Observation and Energy arvestingusing MEMS Actuators and ensors(MEMS のアクチュエータとセンサを用いた TEM その場観察とエネルギーハーベスト)と題する招待講演を行った。NEDO の委託研究業務で得られた振動型環境発電デバイスに関して、そのマイクマシニング加工法の要点と高性能エレクトレットの形成法を発表した。特に、シリコンの異方性ドライエッチング(DRIE)技術が進歩して、高いアスペクト比の静電ギャップが作れるようになると、そこに高性能エレクトレットを形成することにより、発電性能が数倍から十倍程度に向上することを示した。また、他の応用例として透過電子顕微鏡中でナノ物体の機械特性を「その場」計測するMEMS デバイスを紹介した。振動型環境発電デバイスに関しては、特に質問はなかった。

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エコールセントラルリヨンキャンパス

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藤田の招待講演

                            (東京大学 藤田博之)

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2016年1月13日 (水)

MEMS協議会 2015年度MEMS懇話会の開催報告(2015年12月24日)

 一般財団法人マイクロマシンセンター、MEMS協議会はMEMSを中心とした我国の産業競争力の強化を目的に、12月末に「MEMS懇話会」として、MEMS協議会メンバーの委員と行政側等との情報交換や意見交換を例年実施しています。最近はMEMSデバイスの中心的な用途としてセンサが注目され、スマホ、タブレット、ゲーム機、自動車の多機能化に大きく貢献しています。また、省エネなどのエネルギーマネジメント、センサネットワーク構築技術の進展により社会インフラモニタリング及び防災面などへも応用分野が拡大しています。 
 このような環境下において、2015年度MEMS懇話会を昨年末の12月24日に東京・秋葉原、新テクノサロンにて開催しました。経済産業省産業機械課、研究開発課および新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)、産業技術総合研究所からの来賓を交えて、マイクロマシン・MEMS分野に係る今後の課題について意見交換を行いました。
 最初にMEMS協議会山西健一郎会長(三菱電機取締役会長)による主催者挨拶があり、IoT社会の進展に呼応しこれまで培ってきたMEMSセンサやネットワークの技術をさらに展開していくための場として、MEMS協議会の下に「スマートセンシング&ネットワーク研究会(SSN研究会)を設置したこと、今後もMEMS協議会が、我が国MEMS分野における真の産官学連携のハブになるべく事業を展開していること、MNOICの積極的な取り組みに対するコメントなどがありました。その後、経済産業省、NEDO、産総研から来賓のご挨拶の後、会員企業から、「最近の業況と今後の見通し」「経済産業省、NEDO、産総研への要望」や「MEMS、センサ、さらにはIoTに対する取組み」について意見発表が行われました。最後に経済省、NEDO、産総研から、MEMS,センサに関連するプロジェクト紹介や、MNOICの課題等についてのコメントが出されました。終了後、会場をMMC会議室へ移し、懇親会を開きました。ご来賓の方々、MEMS協議会メンバーで合わせて約40人の参加であり、多くの方と意見交換が出来た有意義な会でした。

 
写真 1 MEMS協議会推進委員会 窪田委員長挨拶
写真 2 産機課佐脇課長による来賓ご挨拶
写真 3 懇親会の様
 
(MEMS協議会 渡辺秀明)

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2016年1月12日 (火)

平成28年 ロボット三団体 新年賀詞交歓会、今年も盛況のうちに終了


 平成28年 ロボット三団体 新年賀詞交歓会は、1月12日(火)正午から、東京プリンスホテル二階「プロビデンスホール」において、経済産業省製造産業局 局長 糟谷敏秀様を来賓にお迎えし、(一社)日本ロボット工業会 津田純嗣会長及び当センター山西健一郎理事長等を始めとする業界関係者が一同に会して開催され、約480名の参加を得て盛況裡に終了致しました。

 会場では、3団体を代表して(一社)日本ロボット工業会 津田会長から、3団体における本年の活動や、新年の抱負を含めた冒頭挨拶を行い、それに引き続いて、ご来賓の糟谷製造産業局長から3団体の事業活動に対する期待を込めたご祝辞を賜りました。

 当日はロボット分野、マイクロマシン/MEMS分野等にかかる企業の業績回復を背景に、昨年の1割増となる業界関係者が参集する盛況な賀詞交換会となりました。当センター会員等の出席者は時間の許す限り、この新たな年に期待をこめた話題・交流に花を咲かせておりました。

  この機会をお借りしまして、ご参加頂きました多くの会員の皆様方に御礼申し上げます。

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(一社)日本ロボット工業会 津田会長挨拶

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来賓の経済産業省 糟谷製造産業局長ご挨拶

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会場での交歓

 本年もよろしくお願い致します。

一般財団法人マイクロマシンセンター事務局一同


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