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2015年11月18日 (水)

第25回 MEMS講習会 (10月22日) 開催報告

 2015年10月22日に兵庫県立工業技術センターにおいて、第25回MEMS講習会を開催致しました。MEMS講習会は、MEMS協議会に所属するMEMSファンドリーネットワーク企業を中心に企画され、都内と地方都市で年に1回ずつ開催しています。
 
 今回は「MEMS技術を利用した地域活性化」をテーマに、兵庫地区の大学や企業と連携してMEMS産業の育成に取り組まれている兵庫県立工業技術センターと、その関連企業とのビジネス交流を目的として、参加者48名の下で実施いたしました。MEMS分野で最先端の研究開発をされている研究者による特別講演と、兵庫地区とMEMSファンドリーネットワークの双方の報告を中心に、MEMSの産業化について議論する貴重な場となりました。

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写真1 講演会場の様子

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写真2 兵庫県立工業技術センター 北川次長

 主催者および共催者の挨拶のあと、兵庫県立大学の前中一介教授から「MEMS技術とその応用」と題した特別講演として、前半では、MEMSの聡明期から現在に至るまで、世界の中での日本の位置付けがわかるようにMEMS技術と製品の変遷をご講演いただきました。民生向けセンサでは、欧米メーカーに先を越されましたが、日本メーカーの巻き返しに向けた心構えをご享受いただきました。また、後半では、ウエラブルセンサによる常時モニタリングに取り組まれた前中プロジェクトの成果を伺うことが出来ました。圧電材料を中心に、様々な測定対象向けのセンサを同じ生産ラインで製造できるように工夫されおり、これまでに構築されてきたリソースを利用できる仕組みとしてMEMS開発支援センターをご紹介いただきました。この仕組みが有効活用されることで、日本発のMEMSデバイスの開発が加速されることが期待されます。

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写真3 特別講演1 前中先生

 続きまして、兵庫地区から2つのご講演をしていただきました。最初は、兵庫県立工業技術センターの才木常正氏から「弾性表面波を用いた高効率流体混合チップ」と題して、層流間の分子拡散だけでは混合が難しい数百ミクロンオーダーの流路での弾性表面波を利用して混合技術について、ご講演いただきました。現在、その効果を最大限に発揮できる応用分野を探索中で、企業と連携した製品開発が楽しみとなるご講演でした。

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写真4 兵庫県立工業技術センター 才木氏

 兵庫地区からの2つめのご講演は、日本電子材料株式会社の永田一志氏より、兵庫県CEOプログラム推進事業として取り組まれている「ポリマーMEMS技術によるLSI用超狭ピッチプローブカードの開発」について、ご講演いただきました。本プログラムは、オンリーワン技術を持つ企業の育成を目指しており、大手プローブカードメーカーである日本電子材料株子会社が、MEMS技術を用いた微細型と、樹脂転写技術によるポリマーMEMS技術により、世界に先駆けた次世代のプローブカードの実現に向けて取り組まれている姿に、頼もしさを感じるとともに、今後の展開が期待されるご講演でした。

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写真5 日本電子材料株式会社 永田氏

 続きまして、本日2件目の特別講演と致しまして、東京大学の菅哲郎先生より、「ロボット周辺認識力向上のためのMEMS分光イメージャー」と題して、ご講演いただきました。少子高齢化が進む日本では、身近で生活支援をしてくれるロボットへの期待が大きく、それを実現するために、ロボットの外界認識能力の向上が急務となっています。菅先生は、NEDOプロジェクト「エネルギー・環境新技術先導プログラム」などで、ロボットに高度な外界認識力を持たせるMEMSビジョンの開発に取り組まれおり、ソフト面だけでなく、多波長同一光軸レンズや赤外光を検知するナノアンテナなど、最先端の加工技術で実現するMEMSビジョンのハード面での技術開発の一端をご紹介いただきました。若手研究者による熱いご講演に、その先にある未来への期待が高まるひと時でした。

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写真6 特別講演2菅先生

 ここで一旦休憩に入り、ファンドリー企業が展示したパネルの前で、MEMSデバイスを開発されている企業・大学向けに相談会を開きました。休憩時間の終了ギリギリまで相談会は続き、講習会後の懇親会でも積極的な情報交換が行われ、兵庫地区のMEMSデバイスに対する開発意欲の高さから今後のMEMS産業の発展が期待される場になりました。

 休憩明けには、MEMSファンドリーネットワークを構成するMNOIC、みずほ情報総研、富士電機、大日本印刷からMEMSの開発支援から量産までを網羅した4件の技術紹介がありました。初めにMNOIC研究企画部長の渡辺秀明氏より「最先端・大口径の産総研(つくば)・MEMS研究施設を活用した研究支援サービスMNOICのご紹介」、続きまして、みずほ情報総研の岩崎拓也氏より「MEMSにおけるシミュレーションおよびリバースエンジニアリング」、富士電機の後藤崇氏より「富士電機おけるMEMS技術・製品紹介」、大日本印刷の鈴木浩助氏より「大日本印刷MEMSファンドリー紹介」、と発表が続き、本講習会の最後に、ファンドリーサービス産業委員会委員長の浅野雅朗氏より「MEMSファンドリーネットワークとサービスのご紹介」と題しまして、MEMSを開発したい企業を支援する仕組みを紹介いたしました。今回の講習会は、質疑応答も時間内に収まらないほど活発に討議が行われ、MEMSデバイスの開発を目指す企業の裾野が拡がっていくことが期待できる講習会になりました。今後、講習会に参加された方々とMEMSファンドリーネットワークとのコラボによる製品開発がなされることを期待したいと思います。

 また翌日は、兵庫県立工業技術センターが主催する施設の見学会が開催されました。この見学会では、技術調整担当の北川洋一次長が、施設のご説明やご案内をしてくださいました。最初に兵庫県立工業技術センターの概要説明があったあと、MEMS関連施設、及び技術交流館の見学を致しました。MEMSを製造・評価するための最先端の設備だけでなく、製品の使い勝手を評価するための仕組みなど、工業技術センターならでは取り組みがあり、大変興味深い見学会となりました。改めて、兵庫県立工業技術センターでお世話になった方々に感謝したいと思います。

<産業交流部 小出 晃>

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