MEMSの波（ブログニュース）

　「道路インフラ状態モニタリング用センサシステムの研究開発(RIMS)」プロジェクトは2014年度より活動を開始し順調に研究開発を進めています。このたび、以下の展示会に出展し成果の一部展示を行います。皆様のご来場をお待ちしております。

　名称 ハイウェイテクノフェア2015
　会期 2015年11月25日(水)～26日(木)　10時～17時
　会場 東京ビッグサイト西3・4ホール
　展示内容
　(1)道路インフラモニタリングシステム
　【特徴】
　・従来の点検技術を補完し、道路インフラの状態を常時・継続的・網羅的にモニタリング
　・道路インフラのトータルな維持管理が可能
　・高速道路の橋梁、道路付帯物、法面等を対象
　・センサ端末は自立電源駆動
　・新規の小型、安価、高性能、高耐久性無線センサ
　・多種多様なセンサからのデータを収集する無線通信センサネットワーク
　・セラミックスによる高耐久のオールインワンパッケージ
　【仕様】
　①橋梁振動センシング
　・広帯域（数Hz～1MHz）振動センサ（スーパーアコースティックセンサ）によるモニタリング
　・高感度（0.1µε）フレキシブルひずみセンサアレイシートによるモニタリング
　②高精度（傾斜出力安定性：0.05deg、振動分解能：0.1gal）傾斜マルチセンサによる道路附帯物のモニタリング
　③電波位相差変位センサによる法面の高頻度・全天候・３次元法面モニタリング（１時間に４mm以下の変位検出）

　(2)高耐久性セラミックスパッケージ
　・自立電源、無線モジュール、環境センサをオールインワンパッケージ
　・アンテナ内蔵LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramics)回路基板
　・透光性セラミック基板を使い太陽電池もパッケージに内蔵
　・パッケージを構造物に強固接着／接合する簡易施工シート実装
　・常時モニタリングを長期（10年）保証する端末パッケージング技術
　【仕様】
　・サイズ：試作品6.3cm×9.1cm×2.5cm（厚み2mm）【最終目標：7cm×10cm×5cm】
　・耐久性：【最終目標：実環境下で10年】
　・透光性セラミック：透過率96％、熱伝導率34W/(m･K)
　・180°の指向性を持つLTCC内蔵アンテナ

＜NMEMS技術研究組合　武田宗久＞