MEMSの波（ブログニュース）

　　　　　　　　　　　　◆ＭＮＯＩＣ実習講座◆
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　　「大口径最先端光学式評価装置を用いた圧電体薄膜の評価」
　　　　【ＴＩＡ連携大学院サマー・オープン・フェスティバル２０１５】
　　　　　　　　　　　　　　　　開催のご案内
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主催：一般財団法人マイクロマシンセンター
後援：国立研究開発法人産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
後援：つくばイノベーションアリーナナノテクノロジー拠点　運営最高会議

【概要】
　一般財団法人マイクロマシンセンター・MEMS協議会では、MEMS・マイクロナノ領域における産業推進の一環として国立研究開発法人・産業技術総合研究所・集積マイクロシステム研究センターの研究施設を用いた研究支援を行うMNOIC（マイクロナノ・オープンイノベーションセンター）事業を実施しています。その中で特に人材育成には力をいれ、MNOICで利用可能な最先端装置を用いた実習形式の「MNOIC実習講座」を開催し、好評を得て参りました。今回はその第四弾として、「大口径最先端光学式評価装置を用いた圧電体薄膜の評価」を企画致しました。
　ご存知のように「インダストリー4.0」や「Industrial Internet」などの製造業の新たな方向を目指す動きが活発になるにつれ、センサ等の製造に用いられるMEMS技術の重要性はますます増していきます。MEMSの事業規模は世界で大きく成長しており、その成長は今後も続くと予想されています。そのMEMSの材料の中でも、優れた圧電特性を有する薄膜は機械的（Mechanical）作用と電気的（Electrical）作用を橋渡しする材料として、MEMSへの応用が盛んに研究されています。したがって、電気－機械変換を行う圧電性材料は，MEMSにとって非常に重要な機能材料です。
　しかし、薄膜形成の難しさからウェハの大口径化が進まず、低コスト化の障壁となっていました。また、大口径の薄膜試料の物性を知るためにインピーダンス測定をしようとした場合、従来の測定器（インピーダンスアナライザなど）単体の使用だけでは不充分で、光学式の評価装置が必須になりつつあります。本実習は圧電体薄膜の物性を理解して、最適なMEMSを設計する手法を短時間で習得するとともに、大口径最先端光学式評価装置を実際に使い、理解を深めていきます。
　尚、この実習講座はTIA人材育成活動の一環として、「ＴＩＡ連携大学院サマー・オープン・フェスティバル２０１５」として実施します。このため学生の皆様は無料で参加できます。この機会に今回の実習講座を体験して頂き、更に多数の皆様にMNOICを利用して頂くことに期待しております。

*TIA連携大学院サマー・オープン・フェスティバル2015
http://tia-edu.jp/summer_fes2015/

【日程】
2015年8月27日（木曜）13時30分開始、28日（金曜）16:30終了予定

【場所】
〒305-8564　茨城県つくば市並木1-2-1
産業技術総合研究所　東事業所：集積マイクロシステム研究センター内NMEMSイノベーション棟
一般財団法人マイクロマシンセンター、MNOIC開発センター
http://mnoic.la.coocan.jp/access/index.html
（MNOIC開発センター＠つくば：秋葉原ではありません）

【学習・実習内容】
　◆センサ、MEMSの原理、、MEMSの産業概観
　◆圧電MEMSの実用化例とトレンド
　◆圧電体サンプルの作製、微細加工技術
　◆圧電薄膜の評価方法
　◆MEMSへの応用

【費用】研究支援料および資料代（ホテル代、昼食代は含みません）
　■　一般（企業等）   30,000円（消費税込）
　■　アカデミア（大学、公的研究機関） 15,000円（消費税込）
　■　学生（社会人学生を含む）  無料

【支払方法】
　お申込みの確認後、受付メールをお送りします。お申し込みのご住所に受講票と請求書をご郵送しますので、当日は受講票をご持参ください。
　お振込みは９月３０日（水）までにお願いいたします。また、お振込み期限を過ぎる場合にはお振込み予定日をメールまたはFAXにてお知らせください。
　尚、MNOICの年間利用コースの利用法人は１法人につき1名が無料となります。
　またMEMS協議会会員はアカデミア料金でご参加可能です。

【申込方法、および申込み先】以下を記入の上、メールにてお申し込みください。
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・郵便番号：
・ご住所：
・法人名：
・ご所属：
・ご氏名：
・連絡先（電話）：
・メールアドレス：
・請求書の宛先・宛名（上記と異なる場合）：
・参加費区分（ご選択ください）：
　　□ 一般　　□ 学生　　□ MNOIC年間利用コース　　□ MEMS協議会
・その他、ご連絡内容：
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申込先：
〒101-0026 東京都千代田区神田佐久間河岸67　MBR99ビル 6F
TEL：03-5835-1870　FAX：03-5835-1873
email：h_watanabe@mmc.or.jp
一般財団法人　マイクロマシンセンター（MMC）
MEMS協議会事務局　MNOIC研究企画部
渡辺　秀明　宛

＜その他＞　宿泊場所等は各自でご予約ください。

【最小実施人数】
・３名
恐れ入りますが、申込者が2名以下の場合は実施を延期、或いは中止する場合がありますのでご容赦ください。また実習形式のため、先着順に10名に達した時点で締切とさせて頂きます。

【実習プログラム】
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２０１５年　８月２７日（木曜）　　1日目
13時30分集合（NMEMSイノベーション棟１F受付ロビー）：
入構方法、集合場所等は参加者に別途ご案内致します。

１）13:40-13:45 開催の挨拶
２）13:45-14:10 オリエンテーションとMNOICの概要説明（担当　MMC渡辺　）
３）14:10-15:10 圧電体薄膜とMEMS応用概論（産総研　小林　健　氏　）
　　　　　　　　　　　　休憩
４）15:20-16:20 圧電体薄膜評価装置の概要(ヤーマン株式会社 山崎　常生　氏　）
５）16:20-17:20 実習の説明（MMC　野田　大二　）
６）17:30-18:00 簡単な懇親会（参加者＋関係者：ビールとおつまみ程度）
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２０１５年　８月２８日（金曜）　　２日目
１）9:00 集合（NMEMSイノベーション棟２F会議室）
２）9:00-10:45  測定用サンプル作製（エッチング＆形状観察）（野田）
　　　　　　　　　　　　休憩
３）11:00-12:00 圧電測定評価（アグザクトおよびマニュアルプローバー）（野田）
　　　　　　　　　　　　昼食
４）13:00-15:00 圧電測定評価続き（野田）
　　　　　　　　　　　　休憩
５）15:15-16:15 データ整理　（野田）
６）16:15-16:30 まとめと反省会（渡辺）
　　　　　　　　　　　　解散
以上