MEMSの波（ブログニュース）

　このたび平成26年度「エネルギー・環境新技術先導プログラム」のNEDO公募事業において、技術研究組合NMEMS技術研究機構が受託した「トリリオンセンサ社会を支える高効率MEMS発電デバイスの研究」のテーマが2月27日からスタートしました。それに伴い、推進委員会兼キックオフを4月3日（金）新テクノサロンで実施しました。


　ご来賓として経済産業省やNEDOからのご挨拶を頂き、さらに研究開発管理を受け持つマイクロマシンセンター青柳専務理事からの挨拶のあと推進委員長の藤田先生（東京大学教授）より「エネルギー・環境新技術先導プログラム」のテーマについての思いをお話いただき、その上で、プロジェクトリーダの年吉先生（東京大学教授）より、本テーマの位置付け、概要の説明、決意表明をいただき、研究員全メンバの意識合わせを行いました。
　本テーマは、近い将来に到来するトリリオンセンサ社会には、自立電源を備えたメンテナンスフリーのセンサ端末の普及に向けて、その際必須となる小型高効率のエナジーハーベスタの開発を行うものです。特に低周波数の環境に最適なエレクトレット方式に注目して取り組んで行きます。
そのため、今後取り組む以下の３つの要素技術について個々に計画を発表いただきました。
①高密度固体イオンエレクトレットの形成 ・・・　橋口先生（静岡大学教授）
②大容量イオン液体キャパシタの形成　　 ・・・　鷺宮製作所（再委託先：東京大学）
③高効率エナジーハーベスタの開発　 ・・・　鷺宮製作所
また、実用上の観点からどこにどのような振動源があるのか、交通インフラ、オフィス、ファクトリでの展開の観点で業務管理者より実証ワーキングの取り組みを紹介しました。）
開発期間は2年を予定していますが、来賓の経済産業省からのコメントのとおり、まずは早期に150μWの出力を実現し、目標を少しでも前倒しして取り組みたいと考えています。
　その後の実施した意見交換会では、電力中央研究所、JR東日本、NHK放送技研からの有識者も参加いただき、本研究開発に関する夢のあるディスカッションが繰り広げられました。

（NMEMS技術研究機構主幹研究員　今本）