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2015年3月

2015年3月20日 (金)

第29回先端技術交流会を盛況に開催

 「BEANSプロジェクト研究者達の新たな研究の取組み」というタイトルで、先端技術交流会を3月19日に開催しました。BEANSプロジェクトは、MEMS技術とナノ・バイオ技術が融合し、自律的に機能する異分野融合型デバイスの開発を目指し、平成20年度から24年度の5年間にわたり、経済産業省の主導のもと、独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)から技術研究組合BEANS研究所が委託を受け、企業、大学、独立行政法人産業技術総合研究所の研究者を結集し、産学連携体制のもとで実施しました。今回の先端技術交流会はプロジェクト終了から2年を経て、研究開発を推進した研究リーダーのうち3名の方をお招きし、現在の研究内容につき伺いました。

 最初のスピーカーは東京大学生産技術研究所機械・生態系部門の竹内昌治教授です。「高感度ハイブリッドセンサ」というタイトルで、バイオデバイス技術を使った創薬・医療・環境センシングの研究内容について紹介がありました。第1は分子デバイスにとして、膜タンパク質による高感度センサーです。バイオセンサの仕組みは、膜タンパクレセプターが被検出分子を取り込んだ時に出す何らかのシグナル(電子、光、質量等)を検知しますが、出力は非常に微量なのでその高感度検出手段が課題です。膜タンパク質は究極のバイオセンサで、人体は60トリリオンのセルで構成されています。膜タンパク質によるバイオセンサとして研究を進めているのが匂いを検知する犬の鼻センサーで、チップ化を進めています。脂質二重膜は細胞膜と同じ構造で、これに比較的簡単な昆虫のレセプターを使った化学物質の環境センサーを作成し、その脂質二重膜で分離されたイオン濃度の変化を計測することでの富士山頂でも検知できました。第2は細胞デバイスとして三次元細胞組織モデルについて紹介がありました。BEANSプロジェクトの時には点の細胞からのビルディングブロックを行いましたが、線型組織によるビルディングブロックに取り組んでいます。これはファイバー型に組織を構築するものです。トリリオンセンサー時代を迎えようとしている今日、バイオセンサーへの期待が高まる講演でした。

 二番目のスピーカーは東京大学大学院工学系研究科総合研究機構ナノ工学研究センターの杉山正和准教授です。「スマートエネルギーの実現に向けた3次元ナノ構造の開発」というタイトルで研究内容の紹介がありました。最初は太陽電池です。我が国のエネルギー構成はLNG・石炭・石油の化石燃料が大半を占めており、その輸入額が貿易収支を圧迫しています。その有力な対応策の一つが太陽電池です。太陽電池のコストは下落し続け、わが国の競争力は低下しています。しかし、Concentrator Solar Cellという集光型太陽電池がオーストラリアやアメリカで設置され、従来型の2倍の効率を実現しています。このタイプはレンズを使用して集光させ、太陽を追いかけるという機構を持ち、太陽光の強度が比較的多い地域、わが国にも適したものです。これに用いる太陽電池素子は小面積で高効率な太陽電池が必須ですが、これには積層構造必要であり、3次元構造が有効です。また、東北大学寒川教授が提唱する半導体量子ドットの形成による太陽電池にはBEANSプロジェクトで開発した中性粒子ビームエッチングが有効です。次の話題はLEDで3次元ナノ構造により広域発光LEDが実現され、商品化を進めているそうです。最後の話題はエレクトレットによる新たなデバイスで、会場にお見えになっていた静岡大学の橋口原教授が急遽プレゼンターとなりました。エレクトレットMEMSは従来型の100倍の効率が期待され振動発電素子に加えて静電トランス、双安定アクチュエータという機能デバイスの実現の可能性があります。今後の実用デバイスの開発が楽しみです。

 最後のスピーカーは産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター伊藤寿浩副研究センター長です。「トリリオンセンサ社会に向けてのセンサネットワークの取組み」というタイトルでBEANSプロジェクトのMacro BEANSのその後の成果について講演頂きました。大面積デバイスやフレキシブルシートデバイスの製織集積化技術は素子をファイバー状にして、機織り機のように編み込むことで実現できます。LEDリボンを製作しスキーウエアや天幕シートの製作を行いました。ファイバーへのリソグラフィー技術はマイクロインダクターやマイクロ温度センサの試作へつなげています。BEANSプロジェクトの後につながるグリーンMEMSセンサ端末の開発では、電力使用量見える化のためのフレキシブル電流センサ、キャパシタ機能内蔵の集積化技術、超低消費電力無線通信技術の開発、コンビニ2000店舗の実証実験と評価等の報告がありました。トリリオンセンサの実現のための突破口となる研究開発の紹介でした。

 3名の先生方によるプレゼンテーションを終え、会場をMMC会議室に移した懇親会では、「やあ、久しぶり」と話しが続きました。
<普及促進部> 内田和義

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2015年3月19日 (木)

【平成27年3月の経済報告】 

 本項は、マイクロマシン/MEMS分野を取り巻く経済・政策動向のトピックを、いろいろな観点からとらえて発信しています。

 早春、平成27年3月の経済報告をお届けします。業務の参考として頂ければ幸いです。

 内容は、以下のPDFをご参照下さい。
   「2015.3.pdf」をダウンロード

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ナノ・マイクロビジネス展2015のTIA N-MEMSシンポジウム/MEMS協議会フォーラムのご紹介

 ナノ・マイクロビジネス展2015は4月22日~24日にパシフィコ横浜で開催いたします。展示会の準備は進んでいますが、毎回好評な同時開催プログラムについて、今月は最終目の24日午後に開催します「TIA N-MEMSシンポジウム/MEMS協議会フォーラム」の内容をご紹介いたします。
 センサーと情報通信技術が高度に融合して新産業革命が興るとの「インダストリ-4.0」という概念が、ドイツを中心に活発化しています。その最前線を鳥瞰し、またTIAの新しい挑戦をご紹介しながら、これらの新しい波に乗るMEMS協議会の諸活動を紹介し、参加者へのPR、意見交換の場を提供します。
 開催日時 2015年4月23日(水)12:00-16:30
 開催場所 パシフィコ横浜 アネックスホール


セッション1 
[特別講演] 新産業革命に向けた新しい胎動
特別講演1 ドイツ発・新製造革命 インダストリ-4.0と、センサーへの期待
 三菱UFJリサーチ&コンサルティング 国際営業部副部長 尾木蔵人
特別講演2 産業界とのブリッジを目指す新生TIA-nanoと産総研
 (独)産業技術総合研究所 TIA推進本部 審議役 岩田 普
セッション2 
MEMS協議会活動とMEMS産業動向・技術動向
工程受託サービスを開始したMNOIC、およびMEMS協議会活動
中国・韓国の存在感が増しつつある国際標準化活動、規格獲得競争から活用重視へ
MEMS技術動向:世界のMEMS関連学会の発表からビジネス注目分野を展望
新製造革命を支えるセンサ産業と、それを支える最新技術動向

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グリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェクト最終成果報告(H27.2.26)およびポスターセッションを行いました

 NMEMS技術研究機構及び(独)新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)では、共同研究事業 グリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェクト(平成23年度~平成26年度)の最終成果報告会を、平成27年2月26日、国立科学博物館 日本館2階講堂にて開催しました。今回の成果報告会には、約170人の参加者(一般参加登録81名を含む)があり、午前10時から午後5時30分の長丁場にもかかわらず最後まで熱心に聴講・質疑が行われました。

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 成果報告会の模様は、日経テクノロジーオンラインの記事http://techon.nikkeibp.co.jp/article/FEATURE/20150302/406901/に掲載されております。報告会終了後、博物館内のレストラン「ムーセイオン」でポスターセッション/意見交換会を開催しました。各テーマの成果ポスター、開発したセンサ・コンセントレータ等の展示物を前に、研究者と参加者の間で活発な意見交換が行われました。今後、本プロジェクトの成果が順次実用化され、新たな協力関係が生み出されることが期待されます。さらに、今年のナノ・マイクロビジネス展(27年4月22~24日)のプロジェクトブースにて、成果報告会のパネル展示、赤外線アレーセンサのデモを行いますので、是非お立ち寄りいただければと思います。
 <NMEMS本部 逆水 登志夫>

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MEMS関連国際標準化:最近の状況

 2002年にマイクロマシン/MEMS分野では国際的に初めての規格となる「マイクロマシン及びMEMSに関する用語」を皮切りに、順次IEC(International Electrotechnical Commission:国際電気標準会議)に対してMEMS関連の規格提案を行ってまいりました。

 以降、提案活動と審議を経て、2005年に「マイクロマシン及びMEMSに関する用語」、2006年に「MEMS薄膜材料の引張試験法」及び「MEMS用薄膜材料の引張試験用標準試験片」、2009年に「MEMS用薄膜材料の疲労試験法」、2011年に「共振振動を用いた曲げ疲労試験法」、2012年に「曲げせん断接着強度試験法」、2013年に「薄膜曲げ試験法」及び「電子コンパス」、そして2014年に「小型ジャイロ」の計9件が国際規格(International Standard)として発行されています。

 この間、2008年にMEMS関連の国際標準化に特化した分科委員会IEC/SC47Fが設置され、日本が幹事国を務めて今日に至っています。IEC/SC47F全体では発行済み国際規格は計22件で、日本提案が9件、韓国提案が13件という内訳です。

 現在審議中のわが国提案の規格案は「マイクロマシン及びMEMSに関するMEMS用語(改正提案)」、「MEMS形状計測法」及び「MEMSエレクトレット振動発電デバイス」の計3件です。
MEMS関連の国際標準化会議は、毎年6月頃開催されるSC47Fアドホック会議及び秋に開催されるSC47F本会議の計2回開催されています。

 2014年は11月に東京で開催されたIEC総会に招致される形でSC47F本会議が行われました。その結果、わが国提案の規格案はいずれも国際規格発行に向けて順調に審議段階を進めることができました。「マイクロマシン及びMEMSに関するMEMS用語」の改正規格及び「MEMS形状計測法」の国際規格が2015年内に発行される見込みです。2015年のSC47Fアドホック会議は6月にシンガポールで、SC47F本会議は10月にベラルーシ・ミンスクで各々開催される予定です。

 今後ともIEC/SC47Fの幹事国としてリーダーシップを発揮しつつ、規格案審議及びあらたな規格提案を行うための検討を続けてまいります。

<調査研究・標準部 出井敏夫>

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2015年3月16日 (月)

BEANSパテントショップのホームページを更新

 MEMS技術とナノテクノロジー、バイオテクノロジー等の異分野技術を融合させ革新的次世代デバイス(BEANS)の創出に必要な基盤的プロセス技術群を開発し、次なるイノベーションのためのプラットフォームを確立することを目指し遂行された異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト(BEANSプロジェクト)の成果である特許は、マイクロマシンセンターのホームページ「BEANSパテントショップ」(URL: http://beans.la.coocan.jp/patent/)を通して、ライセンス(サブライセンス)を受けることが出来ます。
 BEANSプロジェクトでは125件の特許出願がされ、現在、86件の特許(出願中のものを含みます。)がライセンス可能になっています。これらライセンス可能な特許について、その内容を解り易く紹介するため、ホームページを更新いたしましたので、MEMS、バイオ、ナノテクなどの異分野融合基盤技術の皆さまの新規事業の展開等にご活用下さい。

 なお、マイクロマシンセンターでは、BEANSパテントショップの他、NEDOプロジェクト「社会課題対応センサシステム研究開発プロジェクト」(平成23~26年度に実施)でマイクロマシンセンターが取得した特許権)について、グリーンセンサネットワークシステムを構築するうえでの共通基盤技術(プラットホーム特許)として、類似の内外特許の発生により侵害されないよう防衛的な要素も加えた知財管理や利用促進のための成果普及活動を行っていきます。これらの成果普及活動のホームページを充実させていきますのでご期待ください。

*BEANSプロジェクトとは、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を飛躍的に発展させ、「環境・エネルギー」、「医療・福祉」、「安全・安心」分野で新しいライフスタイルを実現させる異分野融合型次世代デバイス(BEANS:Bio Electromechanical Autonomous Nano Systems)の創出に必要な基盤的プロセス技術群を開発し、次なるイノベーションのためのプラットホームを確立することを目指した研究開発プロジェクトです。2008年から5年間に亘り、経済産業省の主導のもと、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)から技術研究組合BEANS研究所が委託を受け、産学官連携体制のもとで実施しました。
*基盤的プロセス技術群とは、バイオ材料融合プロセス技術(バイオ材料をデバイス内で扱えるように組み込む技術)、有機材料融合プロセス技術(無機材料と有機材料を分子レベルで加工する技術)、3次元ナノ構造形成プロセス技術(ナノレベルで高精度に加工する技術)、マイクロ・ナノ構造大面積・連続製造プロセス技術(高機能メーター級デバイスを製造する技術)をいいます。

<BEANS技術開発センター 阿出川>

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2015年3月 5日 (木)

「トリリオンセンサ社会を支える高効率MEMS振動発電デバイス (MEH) の研究」が始動

 このたび平成26年度「エネルギー・環境新技術先導プログラム」のNEDO公募事業において、(技)NMEMS技術研究機構が提案した「トリリオンセンサ社会を支える高効率MEMS振動発電デバイス (MEH) の研究」の研究テーマが採択されました。

 平成26年度「エネルギー・環境新技術先導プログラム」に係る
   実施体制の決定について (2015.3.2)

 平成26年度エネルギー・環境新技術先導プログラム
   採択テーマ一覧 (2015.3.2)

 このNEDO公募事業は、我が国がエネルギー・環境分野の中長期的な課題を解決していくために、原則2030年以降の実用化を見据えた必要となる技術シーズ、特に既存技術の延長とは異なる飛躍的なエネルギー効率の向上や低炭素社会の実現に資する有望な技術の原石を発掘し、将来の国家プロジェクトに繋げて行くことを目的としています。

 私どもが提案した「トリリオンセンサ社会を支える高効率MEMS振動発電デバイスの研究」の研究テーマは、次世代トリリオンセンサ社会に必要不可欠な超高効率の環境振動型発電素子(再生可能エネルギー)の実現を目指すもので、MEMS・マイクロマシン技術の新設計・新工法を新たに導入することで、直径20mm程度の一円玉サイズの面積で発電効率を従来比2桁以上に飛躍的に高めた10mW級の環境発電素子の設計・製作・評価技術を確立することとしています。



 本テーマについては、新年度早々に研究始動となります。皆さまのご支援・ご協力をお願いいたします。

(文責:青柳桂一@NMEMS)

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2015年3月 4日 (水)

「究極の省エネを実現する「完全自動化」自動車に不可欠な革新認識システム (IRiS) の研究開発」が始動


 このたび平成26年度「エネルギー・環境新技術先導プログラム」のNEDO公募事業において、一般財団法人マイクロマシンセンター、株式会社デンソーおよび国立大学法人東京大学の産学連携チームが提案した「究極の省エネを実現する「完全自動化」自動車に不可欠な革新認識システムの研究開発」の研究テーマが採択されました。

 平成26年度「エネルギー・環境新技術先導プログラム」に係る
   実施体制の決定について (2015.3.2)

 平成26年度エネルギー・環境新技術先導プログラム
   採択テーマ一覧 (2015.3.2)

 このNEDO公募事業は、我が国がエネルギー・環境分野の中長期的な課題を解決していくために、原則2030年以降の実用化を見据えた必要となる技術シーズ、特に既存技術の延長とは異なる飛躍的なエネルギー効率の向上や低炭素社会の実現に資する有望な技術の原石を発掘し、将来の国家プロジェクトに繋げて行くことを目的としています。

 私どもが提案した「究極の省エネを実現する「完全自動化」自動車に不可欠な革新認識システムの研究開発」の研究テーマは、未来の交通システム(究極の省エネ、快適な移動空間の実現)に向け、自動車の完全自動化を実現すべく革新的な認識システムを目指すもので、そのコアとなる (1)厳密な自車位置、(2)人間を超えた周囲環境の把握、(3)認識アルゴリズムの三つの未踏認識技術の実現性の確保に挑戦することとしております。

 

 本テーマについては、新年度早々に研究開始の運びとなります。皆さまのご支援・ご協力をお願いいたします。

(文責:青柳桂一@マイクロマシンセンター)


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2015年3月 3日 (火)

2015年 第21回「国際マイクロマシンサミット」開催のご案内

 ご存知のように、マイクロマシンサミットは、年に1回、世界各国・地域の代表団が集まり、マイクロマシン/マイクロナノテクノロジーに関する課題などについて意見交換する場です。通常の学会と異なるのは、各国・地域が代表団を組織して集まるというところであり、質の高いまとまった講演と、影響力のある人々と意見交換できることが特徴となっています。最近では各国の紹介は比較的短時間で終了し、実用化・産業化の状況はもちろんですが、合わせて全世界で課題になっている環境やエネルギー、社会インフラモニタリングと言った共有の話題を、具体的なテーマに沿って発表する場になっています。更に直近の過去3年ではパネルディスカッションが開催され、参加者が熱心に発言されています。このように当該分野での各国の活動状況が、短期間で鳥瞰できる格好の場となっています。特に近年、米国から提唱されている「トリリオンセンサー」と言う、1兆個の無線端末に繋がったセンサ構想、ドイツ発「インダストリー4.0」と言うセンサとインターネットが融合した新製造革命と、MEMSやセンサを取り巻く話題が絶えることがありません。まさにセンサの時代が到来したと言う印象で、私自身が電子デバイスからセンサに専門分野を移したエンジニアであることから、夢のような世界が広がりつつあることを実感しています。

 このような背景の中で、今年の第21回のマイクロマシンサミットはドイツのベルリン(Berlin)で開催されます。 開催日は例年と同時期である、5月11日(月)から13日(水)となります。今回のサミットのトピックスは、” SMART SYSTEMS FOR MANUFACTURING AND FACTORY AUTOMATION”ですので、ドイツ発の新製造革命「インダストリー4.0」の進捗やセンサとの最新の産業技術、産業国家戦略が聞けると期待しています。また今回のオーガナイザーは、年に何回も来日され、日本でも馴染みの深いフラウンホーファー研究所 ENAS (Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems)の所長(director of the institute)であるThomas Gessner教授となります。最終日には、First Sensor AG (旧 Sensortechnics) やフラウンホーファーIZM (the Fraunhofer Institute for Reliability and Microintegration)のテクニカルツアも準備されています。ホームページも既に準備されていますので、以下のURLをご訪問ください。

今年も下山勲団長を中心に日本代表団を構成し、参加したいと思います。これを機会に皆様も是非、ご参加頂ければと思います。(MEMS協議会 国際交流部 三原 孝士) 写真は少し?若いころのGessner先生です。

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