MEMSの波（ブログニュース）

　第3回MEMS協議会海外調査報告会を1月13日に新テクノサロンで開催し、約40名の方にご参加いただきました。このイベントはマイクロマシンセンター/MEMS協議会（MIF）が行っているMEMS関連の海外調査及び国際標準化の状況について報告するものです。

　最初は「北米調査及び産業動向調査の取組み」と題して産業交流部長・国際交流部長の今本浩史より報告がありました。内容は、トリリオンセンサーサミット関連では2014年2月のJapanサミット、11月のUSサミット、12月のTokyoサミットの報告、MIG（MEMS Industry Group）関連では9月の上海会議と11月のMEMS Executive Congressの報告、さらに11月に訪問したアメリカNISTとコロラド大学の訪問です。

　MIGが主催するMEMS Executive CongressはMEMS関連企業のExecutiveが中心となりビジネスに関する意見交換の場です。今回は237名の参加でしたが198名と大半が米国なのは当然としても、日本からは2名のみというのが残念でした。Congressの翌週開催されたトリリオンセンサーUSサミットでは約200名の参加のうち1割が日本でしたが、講演や出展者が多く、日本企業の関心は薄いという印象でした。これらの会議で報告があったMEMS産業の動向ではMEMSの高成長が続くと予想しています。

　技術トピックスとして、振動発電、小型分光器、ウエアラブルセンサ、新圧電材料、ガスセンサの紹介がありました。

　NIST訪問はチップスケール原子時計について調査を行い、小型・小電力化の状況を把握しました。コロラド大学では次期スマホに期待されている技術候補として、液体レンズ、マイクロボロメータを見学しました。

　次は「マイクロマシンサミット2014と欧州MEMS産業技術動向」と題してMEMS協議会次長の三原孝士より報告がありました。

　マイクロマシンサミットは毎年、各国のMEMS関連状況をそれぞれ報告し、意見交換する場として開催され、今回は第20回となります。初の南米開催で、ブラジル/サンパウロに28か国60名が参加しました。各国がそれぞれ報告しましたが、ドイツは世界No.1のMEMS企業となったBoschやSiemensについて、中国は8名と多数の参加が、アメリカはWIMS3/ミシガン大学のNeural ProveやMicro gas chromatograph、ブラジルは主催国として14名が参加し原油開発への応用、スイスは安定した研究開発投資、英国は基礎研究の重視、イタリアは研究開発の効率的活用が、それぞれ目立ちました。サミット終了後にカンピーナス市の研究所を訪問しましたが日本のつくばのように研究所が集積していました。

　欧州調査はセミコンユーロに参加し、MEMS Industrial Forumで情報を収集しました。Boschは、様々な分野へのMEMSセンサー応用に意欲的でした。LETI/APIXのケミカルセンサ、InvenSenseのモーションセンサ、AMFitzgeraldの開発期間を短縮するRocketMEMS等興味深い発表がありました。この後、イタリアの聖アンナ大学院大学とBioRobotics Institute、スペインのバルセロナ大学ナノマイクロ研究所、フランスのCAE-LETI/MINATECを訪問し、それぞれの研究状況を伺ってきました。

　最後は「MEMS国際標準化に関する活動状況]と題して調査研究・標準部長の出井敏夫より報告がありました。

　MEMSの国際標準化はIECを舞台に進められており、従来ありがちだった「プロダクトアウト/プロセス重視型」のアプローチから「マーケットイン/結果重視型」へと転換が求められています。IECから発行済みのMEMS関連規格は19件で日本提案が9件、韓国提案が10件となっており、現在審議中が8件あります。審議中の案件には日本・韓国に加えて中国とドイツがそれぞれ1件あります。

　日本は2008年にMEMSに特化した分科委員会SC47Fの設置を実現し、韓国・中国・ドイツと連携してアドホック会議やワークショップの開催等MEMS関連の標準化を推進しています。

　報告会には住友精密工業・神永様、立命館大学・杉山教授も参加いただき、コメントを頂きました。さらに報告会の終了後には懇親会に場所を移し、情報交換を行いました。

　＜普及促進部　内田和義＞