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2014年7月

2014年7月17日 (木)

MemsONE実習講座の開催報告

 平成26年度のMemsONE実習講座(MemsONEのGUI操作や解析手順を学習するもの)は回数を増やして対応しています。特に基本操作コースは必須科目であるため、昨年度の2倍の6回開催すると共に、無料で受講可能としました。

 第1回基本操作コース(6月12日)、第2回基本操作コース(7月10日)には各2名の参加がありました。参加者は企業の方が多く、導入者や導入を検討中の方々でした。受講者のアンケートでは、「良く理解できた」、「大いに役立った」との回答を得、講座の効果に満足しています。

 第1回解析コース(6月26日)は、残念ながらお申込みがなく中止しました。

 今後の実習講座の予定を下記URLでご確認の上、受講されていない方は是非ご参加ください。

 講習会案内 http://mmc.la.coocan.jp/mems-one/hiroba/seminar_info/


<普及促進部 水津美晴>

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MNOIC実習セミナー「センサ回路とシステム・シミュレータ実習」のご案内

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- MNOIC実習セミナー -

「センサ回路とシステム・シミュレータ実習」

【TIA連携大学院サマー・オープン・フェスティバル2014】

主催:一般財団法人マイクロマシンセンター
後援:独立行政法人・産業技術総合研究所・集積マイクロシステム研究センター
後援:つくばイノベーションアリーナナノテクノロジー拠点 運営最高会議

【概要】

 一般財団法人マイクロマシンセンター・MEMS協議会では、MEMS・マイクロナノ領域における産業推進の一環として独立行政法人・産業技術総合研究所・集積マイクロシステム研究センターの研究施設を用いた研究支援を行うMNOIC(マイクロナノ・オープンイノベーションセンター)事業を実施しています。その中で特に人材育成には力をいれ、MNOICで利用可能な最先端装置を用いた実習形式の「MNOIC実習セミナー」を開催し、好評を得て参りました。

 今回はその第三弾として、「センサ回路とシステム・シミュレータ実習」を企画致しました。ご存知のようにMEMSやセンサはスマートホンやタブレットの機能を決めるキーデバイスであり、また社会インフラ等のモニタリングに必須のデバイスになってきました。しかしその有効活用には、センサ特有の回路や利用方法を習得する必要があります。センサ回路は基本的にアナログ回路のため、その習得は容易ではありません。本実習はセンサの検出理論を理解して、最適な回路を設計する手法を短時間で習得するとともに、SPICEやMemsONEの回路機能シミュレータを実際に使い、理解を深めていきます。またノイズ理論を基礎に短時間で世界最高感度のセンサを設計できるポイントを習得したいと思います。更に現有のMEMSやセンサを使いこなすための回路技術ではなく、センサの研究に関係する学生の方が、最低限必要なオペアンプを用いた信号処理の基礎や、回路シミュレータであるSPICEの利用方法を学習・実習します。また最先端の技術習得として有限要素法を使うことなしに、比較的複雑な構造体の共振モードや共振周波数を含む機構シミュレーションが出来、かつMEMS-回路の混在シミュレーションが可能なMemsONEの回路機能シミュレータの学習や実習も行います。

 尚、この実習講座はTIA人材育成活動の一環として、「TIA連携大学院サマー・オープン・フェスティバル2014」*として実施します。このため学生の皆様は無料で参加できます。この機会に今回の実習セミナーを体験して頂き、更に多数の皆様にMNOICを利用して頂くことに期待しております。

 *TIA連携大学院サマー・オープン・フェスティバル2014 http://tia-edu.jp/summer_fes/

【日程】
2014年8月21日(木曜) 13時20分開始
       22日(金曜) 16:30終了予定

【場所】
〒305-8564 茨城県つくば市並木1-2-1
産業技術総合研究所 東事業所:集積マイクロシステム研究センター内 NMEMSイノベーション棟 一般財団法人マイクロマシンセンター、MNOIC開発センターhttp://mnoic.la.coocan.jp/access/index.html(MNOIC開発センター@つくば:秋葉原ではありません)

学習・実習内容】
 センサ、MEMSの原理、最先端MEMSの研究開発状況、MEMSの産業概観
 センサ回路の概要、センサ回路の設計、回路シミュレータによる実習
 センサのAC駆動法の設計、サイン波の生成方法、駆動方法とシミュレーション実習
 低雑音OPアンプを使ったセンサ回路の設計とシミュレーション
 作成済の回路基板を用いたオシロスコープによる波形観察 MemsONE(統合化MEMS設計・シミュレーションツール)の回路機能シミュレータであるMEMSpiceの原理・利用方法を製造販売元の一つである、㈱NTTデータ数理システムから紹介
 MemsONE  MEMSpiceの基本的な使用方法の理解 MEMSpiceを用いたカンチレバー型センサの振動状態解析の実習 MEMSpiceを用いた簡単な外部回路を含めた統合シミュレーションの実習
 回路シミュレータ、MEMSpice機能シミュレータは1人1台(参加者5名以下)或いは2人で1台のPCを準備します。(参加者6名以上)

【費用】
 研究支援料および資料代(ホテル代、昼食代は含みません)  一般(企業等) 30,000円(消費税込)
 アカデミア(大学、公的研究機関)職員 15,000円(消費税込)
 学生(社会人学生を含む) 無料

【MNOIC実習セミナー費用の支払方法】
 お申込みの確認後、受付メールをお送りします。お申し込みのご住所に請求書と受講票をご郵送しますので、当日は、受講票をご持参ください。お振込みは9月30日(月)までにお願いいたします。また、お振込み期限を過ぎる場合には、お振込み予定日をメールまたはFAXにてお知らせください。尚、MNOICの年間利用コースの利用法人は1法人につき1名が無料となります。またMEMS協議会会員はアカデミア料金でご参加可能です。

【申込方法、および申込み先】
以下を記入の上、メールにてお申し込みください。

 郵便番号:
 ご住所:
 法人名:
 ご所属:
 ご氏名:
 連絡先(電話):
 メールアドレス:
 請求書の宛先・宛名(上記と異なる場合):
 参加費区分(ご選択ください): 一般 ・ 学生 ・ MNOIC年間利用コース ・ MEMS協議会
 その他、ご連絡内容:

申込先
〒101-0026 東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル 6F
TEL:03-5835-1870 FAX:03-5835-1873
email:t_mihara@mmc.or.jp
一般財団法人 マイクロマシンセンター
MEMS協議会事務局 MNOIC研究企画部
三原 孝士 宛 
<その他>
恐れ入りますが、宿泊場所等は各自でご予約ください。

【最小実施人数
・3名
 恐れ入りますが、申込者が2名以下の場合は実施を延期、或いは中止する場合がありますのでご容赦ください。また実習形式のため、先着順に10名に達した時点で締切とさせて頂きます。

【実習プログラム案】

2014年 8月21日(木曜)  1日目
13時20分集合(NMEMSイノベーション棟1F受付ロビー):入所方法、集合場所等は参加者に別途ご案内致します。
1)13:20-13:25 開催の挨拶
2)13:25-13:40 オリエンテーリングとMNOICの概要説明(担当 三原)
3)13:40-14:30 センサ、MEMSの原理、利用方法、最先端MEMSの研究開発状況、MEMSの産業概観(MNOIC 三原)
4)14:40-15:40 LTSpiceの使用方法の学習、回路部品入力の実習(三原)
5)15:40-16:20 OPアンプの学習、基本的なOPアンプ回路のシミュレーション(三原)
6)16:20-17:20 MEMS圧力センサのAC駆動の設計、LTSpiceによるシミュレーション実習(三原)
7)17:30-18:00  簡単な懇親会(参加者+関係者:ビールとおつまみ程度)

2014年 8月22日(金曜)  2日目
1)9:00 集合(NMEMSイノベーション棟2F会議室)
2)9:00-10:00  MEMS圧力センサの読み出し回路の設計(三原)
3)10:00-10:45 MEMS圧力センサの読み出し回路のシミュレーション実習(三原)
4)10:45-12:00 実際の回路のオシロスコープによる波形観察(三原)
5)13:00-13:40 MemsONEの概要、機能シミュレーションの説明((株)NTTデータ数理システム 望月俊輔氏)
6)13:40-14:50 MEMSpiceの実際とカンチレバーモデルの実習(望月氏)
7)14:50-16:00 MEMSpiceを用いた周辺回路との統合化シミュレーションの実習(望月氏)
8)16:00-16:30 纏めと反省会(三原)
9)16:30  終了予定


MemsONE* 正式名称:MEMS用設計・解析支援システム
参考情報(実習に使うツール等の説明)
1. LTspiceに関して
 高性能なアナログ半導体を開発・製造・販売する米国の企業、リニアテクノロジー社が提供する回路シミュレータ「LTspice」を実習に使います。LTspiceの説明は以下のリニアテクノロジー社のHPから抜粋した内容をそのまま記載しました。http://www.linear-tech.co.jp/designtools/software/
 「LTspice IVは高性能なSpice IIIシミュレータと回路図入力、波形ビューワに改善を加え、スイッチング・レギュレータのシミュレーションを容易にするためのモデルを搭載しています。 Spiceの改善により、スイッチング・レギュレータのシミュレーションは、通常のSpiceシミュレータ使用時に比べて著しく高速化され、ほとんどのスイッチング・レギュレータにおいて波形表示をほんの数分で行なうことができます。Spiceとリニアテクノロジーのスイッチング・レギュレータの80%に対応するMacro Model、200を超えるオペアンプ用モデルならびに抵抗、トランジスタ、MOSFETモデルをここからダウンロードできます。」

今回学習・実習する機能
1) 回路図の入力、素子の選択、結線
2) 回路シミュレーション条件の設定
3) 波形ビューアの見方
4) DC解析、AC解析、波形の過度解析

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図1 LTspiceシミュレーションの例

2. MemsONE(統合化MEMS設計・シミュレーションツール)の紹介
 MemsONE( MEMS Open Network Engineering System of Design Tools ) は、効率的なMEMSの設計・開発をサポートするためのソフトウェアです。MemsONEは経済産業省/NEDO技術開発機構の委託を受けた「MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト」により産学連携の研究コンソーシアム(9企業、13大学、1研究機関、1団体)により、3年間を費やして開発され、その成果として2007年から販売され、その後、年1回のペースで機能の改善強化版がリリースされてきています。皆様には2013年7月にリリースされた最新バージョン、6.0を使って頂きます。
 MemsONEは、最先端の習熟したMEMS研究者・技術者に利用されるのみならず、初心者や経験の乏しい多分野の研究者・技術者であってもMEMSに関する高度な知見やデータをストレスなく利用することが可能なソフトウェアを目指して開発されました。
 MemsONEの詳細は
 http://www.mmc.or.jp/mems-one/
を参照してください。  今回 実習するMEMSpice機能通常、MEMS構造体の機構解析、すなわち構造体の振動モード解析や、歪や応力と言った力学解析、電界や磁界の電磁気解析は有限要素法を使って解析しますが、モデル化に時間が掛かかり、その物理モデルを良く理解しないと正しい解析解が得られないと言った課題もあります。今回実習に使うMEMSpiceは、MemsONEの1機能ですが、SPICEで使われている手法(回路ノード解析)を用いて、MEMS構造体を部品レベルで配置し、その物理・構造パラメータを回路パラメータに置き換え、かつ解析モデルをSPICEで計算できるような変換モデルを使うことで従来の有限要素法を用いなくても、極めて精度の高い振動モード解析や歪・応力解析等が可能になります。更に、この結果をSPICEモデル化した回路と一体化しててシミュレーションすることで、MEMS機構と回路の一体化解析も可能になります。

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図2 MEMSpiceの説明

1) カンチレバーの機能部品への分割
2) 解析条件の設定
3) カンチレバーの振動モード解析
4) 簡単な周辺回路の付加と統合シミュレーション

3. 実習に使用する教材、モデル
(1) 対象とするセンサ
 ・センサ: 圧力センサ(MEMS絶対圧センサ 高感度型)
 ・センシングデバイス: シリコンピエゾ歪センサ(ホーイストンブリッジ型)

J4_2 図3 センサの概要

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図4 駆動用サイン波発生回路

(2) 駆動用サイン波発生回路
・ワンチップマイコン(PICマイコン)の内部発振回路を利用
・OPアンプを使った積分回路
・OPアンプを使ったQ=5のバンドパスフィルターによりサイン波生成

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図5 センシング回路

(3) センシング回路
・OPアンプを使ったサイン波電流駆動回路
・低雑音増幅回路
・OPアンプを使った実効値検出回路

J7_2 図6 シリコンカンチレバー素子の例

(4) シリコンカンチレバー素子(MEMSpiceで扱うMEMS構造体)
・厚さ、長さ、幅は自由に設定可能
・空気の粘性やダンピングも考慮
・外付け回路との統合シミュレーションも可能


<MEMS協議会 三原孝士>

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【平成26年7月の経済報告】

本稿は、マイクロマシン/MEMSを取り巻く経済・政策動向のトピックをいろいろな観点からとらえて発信しています。今回は平成26年7月分の経済報告をお届けします。

図表を含めた詳細版を、以下のPDFファイルとしてありますのでご覧ください。

「2014.7.pdf」をダウンロード

 

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2014年7月16日 (水)

「ライフラインコアモニタリングシステムの研究開発」がNEDO公募事業「インフラ維持管理・更新等の社会課題対応システム開発プロジェクト」に採択

 このたび当センター(一般財団法人マイクロマシンセンター)を含む産学グループが提案した「ライフラインコアモニタリングシステムの研究開発」について、独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の公募事業「インフラ維持管理・更新等の社会課題対応システム開発プロジェクト」への採択が決まりました。

 本テーマは社会・産業インフラ維持管理・更新等の重要な社会課題の一つである都市機能を支えるライフライン系の都市インフラ(電気、ガス、上下水道、情報、エネルギー)の安全な保全のためのセンサーモニタリングシステムの研究開発を実施するものです。特に、ライフラインの心臓部にあたるモーター、ポンプ、コンプレッサー等の動力機械に焦点を当てたコアモニタリングに取り組むこととしています。

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 今回のNEDOからの採択通知を受け、我々の産学連携グループでは本年度から平成30年度までの5年間の研究開発を効果的かつ円滑に推進するための研究体制を構築し、わが国の都市機能を支えるライフライン系の都市インフラの保全に資する「ライフラインコアモニタリングシステムの研究開発」の実現を目指していきます。今後の関係者のご支援・ご協力をお願いいたします。

<MEMSシステム開発センター 逆水登志夫>

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NMEMS組合が提案した「道路インフラ状態モニタリング用センサシステム開発」がNEDO公募事業「インフラ維持管理・更新等の社会課題対応システム開発プロジェクト」に採択

 このたび技術研究組合NMEMS技術研究機構(以下NMEMS組合と略す)が提案した「道路インフラ状態モニタリング用センサシステム開発」が独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の委託事業「インフラ維持管理・更新等の社会課題対応システム開発プロジェクト」に採択されました。

 社会インフラの中で陸上貨物輸送量2,655億トンキロの92.3%(2,451億トンキロ、出典:陸運統計要覧、道路交通センサス)を占め、国民の豊かな生活を支える道路インフラを対象に、国民生活に与える影響度とその維持管理体制の状況を踏まえ、先ずは高速道路を対象とし、将来的には一般道への展開を目指して、「道路インフラ状態モニタリング用センサシステム」を提案しました。この無線センサネットワークを活用したシステムは従来の点検技術を補完し、道路インフラの状態を常時・継続的・網羅的に把握することを可能とし、さらには、容易にアクセスできない場所のモニタリングや災害等の突発事象への対応にも適しています。

 本研究では橋梁、道路付帯物、法面を対象にして、環境エネルギを利用した自立電源を有し、各フィールドのモニタリングに適した新規の小型、安価、高性能、高耐久性の無線センサ端末を開発します。無線通信センサネットワークや高耐久性のパッケージングに関しては共通化を図り、効率的な開発を行うとともに道路インフラを統合したトータルな維持管理が可能なシステムを構築します。なお、高速道路会社、センサ企業、通信システム企業、実装企業が連携することにより、道路インフラ全般のニーズに沿ったシステムを開発します。開発したモニタリングシステムにより、各フィールドの劣化・損傷診断が可能となり、高速道路で得られた成果を一般道に展開することで、道路インフラの長寿命化が達成できると考えています。これにより、安全・安心で豊かな国民生活に貢献して参ります。提案したシステム構成を図1に、研究開発体制を図2に示します。

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    図1 提案した道路インフラ状態モニタリング用センサシステム構成図

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                   図2 研究開発体制

 今回のNEDOからの採択通知を受け、NMEMS組合ではセンサデバイス/システム/実装メーカ、産総研、大学、高速道路会社などが結集した産学連携でユーザー参加型の研究体制を構築し、わが国の社会課題解決に資する「道路インフラ状態モニタリング用センサシステム」の実現を目指して研究開発を推進していきます。研究期間は本年度から平成30年度までの5年間となります。今後得られました成果に関しましては、随時発表していくこととしております。

<NMEMS組合 武田 宗久>


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MNOICの最近の状況(2014年 7月)

 一般財団法人マイクロマシンセンターの研究支援サービスMNOIC(マイクロナノ・オープンイノベーションセンター)の最新状況をご報告致します。今回は、1)4月に横浜で開催されたナノ・マイクロビジネス展へのMNOIC出展、2)技術スタッフの増員に関するご報告、3)MNOIC実習セミナー、に関してとなります。

1)ナノ・マイクロビジネス展へのMNOIC出展
 既に何度も本ブログニュースにおいて、MEMSやナノマイクロ技術領域での世界最大規模の展示会であるナノ・マイクロビジネス展の開催報告を致しました。今年は会期を4月22日から24日まで、また場所をパシフィコ横浜に変更しての開催でした。昨年までは一般財団法人マイクロマシンセンターのブースの中に、MNOICを出展していましたが、今回は初めての試みとして、企画展示コーナとして「オープンイノベーション拠点ゾーン」を設置致しましたので、MNOICは単独でこのゾーンに展示致しました。「オープンイノベーション拠点ゾーン」はTIA(くつばイノベーションアリーナ)関連施設、文部科学省・ナノテクプラットフォーム関連、物質・材料研究機構関連、関東4大学ナノビック、東北地方の工業試験センター等の全国22の研究拠点が一堂に展示したもので、私の知る限りでは日本最大規模のオープンイノベーション拠点の企画コーナとなりました。MNOICはその一角を占める展示で、ビデオ紹介、5枚のパネルと、簡単なパターニングを施した12インチウェハー、また今回初めて研究受託させて頂いたユーザ展示のとして、株式会社タッチエンス様からご依頼を受けた触覚センサーのセンサーデモ展示と、実際の触覚センサーを試作した8インチウェハーを展示させて頂きました。触覚センサーは実装基板に作成したセンサー部と、マイコンと一体化した回路モジュール、および制御と結果のモニターを行うノートPCで構成され沢山の方々に体験・実感して頂きました。更に会期3日間に渡って、「オープンイノベーション拠点ゾーン」の隣接セミナー会場にて企画出展者プレゼンテーションも開催されました。

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写真1 ナノ・マイクロビジネス展が開催された横浜地区

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写真2 MNOIC展示ブース

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写真3 研究受託例の展示

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写真4 企画展示者プレゼンテーション

2)技術スタッフの増員に関するご報告
 本年3月にも報告しましたように、MNOICの利用法人が年々増え、またMNOIC研究員が仕様書に基づいて研究開発を行う「研究依託」サービスが主要な業務になってきました。この「研究受託」サービスはMNOICの研究員や技術スタッフが主体的に研究開発の業務を行うものです。このような背景から、研究員や技術スタッフの増員やスキルの向上が求められています。このため4月に1名、6月に1名の技術スタッフの増員を行いました。半導体関連の設備メンテナンスの長年の経験がある技術スタッフも仲間入りして、より質の高い研究依託・研究支援のサービスを進めて行きたいと思います。

3)MNOIC実習セミナー
 MNOICの活動の中でも、特に人材育成には力をいれ、2013年度からMNOICで利用可能な最先端装置を用いた「実習形式のセミナー」を開催しています。昨年は「ナノインプリント実習、MemsONEによる形状予測とサンプル作成、その形状評価」を実施致しました。これは「TIA連携大学院サマー・オープン・フェスティバル2013」の一環として開催し、より実践的な取り組みを希望する多くの学生の方にもご参加頂きました。今年度も昨年と同様に「TIA連携大学院サマー・オープン・フェスティバル2014」の一環として、「センサー回路・システム、シミュレータ実習」と題して開催し、企業や学生の方にご参加頂きたいと思います。秋葉原の部品ショップでも簡単に入手出来る程、昨今MEMSが大変身近になってきました。新しい応用が、今後どんどん広がると思います。学生の方を含めて沢山の方々に使って貰いたい、それには最低限のセンサ周辺回路の理解や、システム化の技術に親しむ必要があります。この願いから今回のセミナを企画しました。今年度の日程は8月21日(木)、22日(金)となります。別のブログニュースにて詳細をご案内致しますので、積極的なご参加をお願い致します。
 
 以上、最近のMNOICの状況をご報告致しました。皆様の積極的なご利用をご検討頂ければと思います。 

<MEMS協議会 三原 孝士>

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2014年7月 3日 (木)

第10回MEMS標準化ワークショップ(6月25日)

 

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 IEC/TC47/SC47F/WG1-3国際標準化アドホック会議(6月24日)に引続き、6月25日にスイス・ジュネーブのIEC本部で第10回日韓中MEMS標準化ワークショップが開催されました。MEMS関連の研究開発状況について日本及び韓国より各々2件、中国より1件のトピックが紹介され、それぞれの発表に対して活発な質疑応答・議論が行われました。出席者は日本6名、韓国8名、中国6名、ドイツ1名の計21名でした。各発表の概要を以下に示します。
(1)Mechanical fatigue damage accumulation in silicon visualized by electronic defect analysis technique(名古屋工業大学 神谷庄司教授)
薄膜MEMS材料の曲げに起因する劣化を電気特性の変化として可視化する研究について説明が行われ、信頼性の尺度の標準化の必要性について考察が示されました。

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(2)Sensors and MEMS devices for the future smart phone and smart home(韓国・慶北大学校  Sekwang Park教授[SC47F議長])
市場拡大が著しいスマートフォンなど携帯端末や家庭内の各種センサへのMEMSデバイス応用が進む中、さらなる標準化課題の設定が必要との考え方が示されました。
(3)Pressure sensor for automotive applications(中国・北京大学 Wei Zhang教授)
自動車のタイヤ圧センサなどへのMEMSの応用と標準化について考察が示されました。

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(4)Magnetostrictive energy harvesters and applications(金沢大学 上野敏幸准教授)
高効率なエネルギーハーベスティングデバイスとして有望視されている逆磁歪型デバイスの原理と応用について説明が行われました。

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(5)Fabrication and mechanical characterization of suspended nano-scale membrane(韓国機械研究院 Dr Jae-Hyun Kim)
ナノスケールのメンブレーン構造の機械的特性評価に関する標準化の必要について考察が示されました。(調査研究・標準部 出井敏夫)

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2014年7月 2日 (水)

IEC/TC47/SC47F/WG1-3アドホック会議(6月24日)

 MEMSに関する国際標準化はIECのTC47/SC47Fが担当していますが、そのアドホック会議が6月24日にスイス・ジュネーブのIEC本部で開催されました。TC47/SC47Fアドホック会議は毎年6月に日韓中の各国持ち回りで開催されており、今回のホスト国は日本ですが、今年はIECの総会が11月に東京で開催されるため、IEC本部での会合としました。

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 会議には日本8名、韓国8名、中国4名そして今回初参加のドイツから2名の計22名が参加し ました。会議では開催宣言に続き、参加者の自己紹介、議事の確認、前回会議の確認及びコンビナから審議状況の報告が行われた後、具体的な規格案の審議が行われました。

 

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審議中の案件では、「MEMS用語改正(日本提案、CD回付終了)」に関し、プロジェクトリーダの首都大学東京・諸貫信行教授より各国コメントへの対応案について説明がなされ、各国エキスパートと活発な意見交換が行われたほか、「MEMS形状計測法(日本提案、CD回付終了)」についても、プロジェクトリーダの神戸大学・磯野吉正教授より各国コメントへの対応案説明及び意見交換が行われました。

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 次回会合は11月のIEC東京大会の折り行われるTC47会議ですが、再会を約束して会議を終了しました。(調査研究・標準部 出井敏夫)

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2014年7月 1日 (火)

MemsONEに係る講習会のご案内

 平成26年度のMemsONEに係る講習会のご案内を致します。

今年度の実習講座は開催回数を増やすと共に、使用上で必須となる「基本操作」は無料で受講可能としました。まだ受講されていない方は、是非ご参加ください。なお、PCの持参は不要です。

 

①実習講座

 MemsONEのGUI操作や解析手順を学習するものです。

 導入ユーザ様、または導入を検討中の方々が対象となります。

 ◆開催日:

      <<関東会場>>

基本操作コース第1回  6月12日[]

基本操作コース第2回  7月10日[]

基本操作コース第3回  8月14日[]

基本操作コース第4回  9月18日[]

基本操作コース第5回 10月 9日[]

基本操作コース第6回 11月13日[]

解析コース第1回     6月26日[]

解析コース第2回     8月28日[]

解析コース第3回    10月23日[]

解析コース第4回    12月 4日[]

      <<関西会場>>

総合コース第1回     9月で調整中

 ◆時間帯: 関東 半日(13:00-18:00 の最長5時間)

         関西 全日(10:00-17:00)

 ◆会  場: 関東 MMC 7Fテクノサロン

         関西 京都大学 工学部物理系校舎講義室

 ◆受講料: 基本操作コース及び総合コースは無料

         解析コースは一般 \8,000(税抜)、アカデミック \3,000(税抜)

 

MEMS設計解析基礎実習

 MEMS設計解析における解析ツールの活用方法を学習するものです。

 応用実習は、MNOIC実習セミナーと連携した開催です。

 ◆開催日: 基礎実習 11月20日[]

        応用実習  8月21日[]-22日[]

 

 ◆時間帯: 全日(10001730

 ◆会  場: 基礎実習 MMC 7Fテクノサロン

       応用実習 産総研東事業所内

 ◆受講料: 基礎実習 一般 \12,000(税抜)、アカデミック \4,500(税抜)

        応用実習 MNOIC実習セミナーを参照

 

受講希望の方は、下記URLで詳細をご確認の上、お申込みください。

 http://mmc.la.coocan.jp/mems-one/hiroba/seminar_info/

 

ご不明な点が御座いましたら、下記までお問合せください。

一般財団法人マイクロマシンセンター

MemsONEサポートセンター 担当:水津

電話: 03-5835-1870 FAX: 03-5835-1873

E-mail: mems1-user@mmc.or.jp

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