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2014年6月16日 (月)

フレキシブルMEMSデバイスにおける曲げ試験及び信頼性に関する標準化可能性調査の開始

 マイクロマシンセンターではMEMSに関する標準化を進めていますが、今年度1年間の予定で(株)三菱総合研究所殿より受託して新たな標準化可能性調査を開始しました。

 屈曲性を備えた薄型MEMSセンサや薄型表示デバイスなどに代表される、フレキシブルMEMSデバイスの研究開発が世界中の研究機関や企業で進められています。このようなデバイスは平面ではない場所への装着・設置が可能なため、今後建築物や生産機械の状態モニタリングなどへの需要が大きく増加することが予想されます。

 本調査では、フレキシブルMEMSデバイスの曲げ試験及び信頼性の評価において、対象デバイスを選定し、標準化すべき特性測定項目及び測定方法を明確化することを目標とします。そして、次年度からただちに規格案開発の作業を実行できる体制を構築してまいります。

 同時に、MEMS関連の国際標準化を審議するIEC/SC47F国際標準化会議に出席して、関連規格提案の情報収集を行い、参加各国との意見交換を通じて将来の規格提案に対する賛成投票及びプロジェクト参加等の協力を要請します。本調査の成果は、フレキシブルMEMSデバイスの生産者及び使用者の間で性能・仕様に関する適正な意思疎通を促し、市場の活性化に寄与すると期待されています。(調査研究・標準部 出井敏夫)

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