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2014年2月19日 (水)

第25回マイクロナノ先端技術交流会を開催(2月14日)

 2月14日バレンタインデーの午後、外は大雪の中、マイクロマシンセンター新テクノサロンで第25回マイクロナノ先端技術交流会を開催しました。

 今回のテーマは「材料・工法が切り開く技術レイヤ縦断型MEMSの研究」。MEMSの新材料、新工法を用いて、センサやアクチュエータ等のデバイス、そして、それを用いたモジュール・アプリケーションの展開についてのご講演でした。
 はじめに、アルカリエレクトレットという独自の工法を提案し、エネルギーハーベスティングや、低消費電力センサデバイスに展開を推し進めている静岡大学の橋口先生よりご講演をいただきました。

 シリコンにアルカリイオンを用いて独自のエレクトレット膜を形成し、電圧印加による帯電方法を確立され、これを用いることによってエレクトレット振動発電デバイスやわずかな電力で大変位を得る省電力アクチュエータ等の原理の紹介をしていただきました。特に、驚くべきことは、既存のエレクトレット方式の振動発電デバイスに比べて本提案を用いることによって、理論上一桁近く発電効率があがることが示されました。
 また、講演後の質疑応答においては、高効率環境発電と低消費電力デバイスを実現できることから、今まさに話題の”Trillion sensors”につながるのではないかという議論になりました。

 続いて、東大年吉先生よりご講演をいただきました。圧電アクチュエータを用いたディスプレイへの展開についてのお話ですが、冒頭に上記”Trillion Sensors”
社会に向けて独自のセンサ端末のシナリオを示されました。エレクトレット発電デバイスでの発電効率向上、さらに現在東大で検討中の工法を追加することで発電効率が飛躍的に向上し、一方でデバイスの消費電力も省電力化が進むことで、将来はスマートフォン等の電力の大部分を環境発電で賄えるのではとの考察を示されました。これは、世界中の携帯電話の充電の電力を考えると非常にインパクトのある内容と感じたのは私だけではないと思います。
 本題のご講演については、これまでのMEMS開発の歴史をひもとかれて、1990年代は主にPZT等の材料開発、2000年代にはプロセス、工法開発、その後集積か、アクチュエータ開発ときて、2010年代にはシステム開発へのシフトしてきていることを示され、これからはアプリケーションの中で医療、安全・安心、エンターテインメント等への実用化の展開が加速されていくとの解釈をされており、共感させられると同時にこれからのMEMS産業にさらなる期待感を抱きました。
 特にご講演の中では独自の圧電光スキャナをもちいて企業と連携してプロジェクタ、3次元空間の認識等への展開についてご講演いただきました。
昨今の自動車の衝突防止やゲームのジェスチャ入力等の新たな候補技術として魅力あふれるご講演でした。

 講演終了後は懇親会も開かれ、参加者と講師の方々との間で熱心なディスカッションが続いていました。また、両講師ともに大雪の中、二次会にまでご参加いただき大変盛り上がった次第です。 当日の配布資料については、MMC会員の皆様は会員専用ページよりダウンロードできます。

 年吉先生が大雪の中、横浜市の自宅に帰宅された際の近所の写真を添付します。 40cm近くの積雪で10段の階段が単なる斜面と化しています。丸いのは植木鉢だそうです。 

 今後も今回のような関心の高い、そしてホットな話題の講演を企画・提案していきたいと思いますます。


<産業交流部 今本>

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