MEMSの波（ブログニュース）

　第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムが、2013年11月5日から11月7日の会期で、仙台市・仙台国際センターで開催され、一般財団法人マイクロマシンセンターではMEMS協議会・MNOIC事業、BEANSパテントショップおよびMemsONEの技術展示を行いました。この「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムは電気学会センサ・マイクロマシン部門の開催で、日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門主催「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」および応用物理学会集積化 MEMS 技術研究会主催「集積化 MEMS シンポジウム」が同時開催され、国内最大のセンサー・MEMS領域のシンポジウムになっています。参加者は毎年増加しており、今回は700名の参加があったとのこと、4つのパラレルセッションとポスター報告、更に企業や研究機関の出展と、出展者プレゼンテーションがあります。今回は、30回を記念した様々なイベントや特別講演も企画されました。

　MNOICの出展は、2011年の設立時から行い、3年目となります。継続的に出展することで学生の皆さんを含めた、センサー関連の多くの研究者に認知されています。今回は8インチのMEMSセンサーを加工したウェハーの展示と、ポスターを展示しました。大学や研究機関の施設は4インチが多く、8インチのウェハーを見る良い機会と思います。今回の参加者は過去最大の700名でしたが、日本のMEMSやセンサー関係者（学会会員）は約2000人規模と考えらますので、実質的に研究開発の業務に関わっているかなりの研究者・技術者はここに集まっています。事務局によりますと、企業からの参加者が増えているとのことです。発表・投稿での企業比率は決して多くないのですが、最近の半導体や電子デバイスの低調からMEMSを検討する技術者や研究者が増えている傾向があります。またポスター報告の中にはMNOICを利用して試作し、研究開発した事例も出されており、今後はこのような発表が増えることに期待したいと思います。またマイクロマシンセンターから3件の展示かあったことから、多くの研究者の方にマイクロマシンセンターの最近のアクティビティが高いことに驚きの声を寄せて頂きました。

　BEANSパテントショップはBEANSプロジェクト成果（特許等）の普及を目的として2013年度に開設しました。センサーシンポへの出展は“BEANSパテントショップ”のPRを行うとともに、イベント（展示会等）を積極的に活用した効果的な広報手法の検討に参考となる以下の基礎データ収集を目的としました。
(1) 「BEANSパテントショップ」のホームページ／展示会等のイベント／報道／文献の活用手法
(2) 「BEANSパテントショップ」ホームページでの知財情報の提供について興味を示している業種分野の把握とデモを通じた閲覧のし易さ、情報提供内容の理解度
　展示・デモの場でアンケート調査を行い、最終日には出展社としてプレゼンテーションを行いました。

　MemsONEの展示では、MemsONEがＰＲの強化の一環として、５年ぶりに本シンポジウムに出展しました。新しいユーザ獲得には直接結び付きませんでしたが、平素なかなかお会いできない先生方に会え、ライセンス更新の依頼や年１回開催している技術交流会での講演依頼ができ、出展の成果は得られたと考えています。また、出展の合間をみて、普段聞けない講演に参加することができたことも成果と言えます。

　次回、2014年は松江市・くにびきメッセで開催されます。マイクロマシンセンターのスタッフも一部本シンポジウムのスタッフに関わっており、次回の本シンポジウムでは産業界からの参加者比率を増やす様々なイベントを考えたいとのことです。最先端の産業動向調査の一環として、益々のご参加をお願い申し上げます。

（MEMS協議会：三原、水津　BEANS技術研究センター：阿出川)