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2013年10月

2013年10月18日 (金)

2013年度 MEMS欧州産業技術調査の報告 その1 (フィンランドとロシアのMEMS関連機関)

MEMS協議会の事業の一つとして推進しています国際交流事業では、国際マイクロマシンサミットへの参加や、マイクロマシン展での国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催、国際ビジネスワークショップの開催等に加えて、現在19機関ある国際アフィリエイトと連携した海外産業技術調査を行なっています。

今回、ドイツ・ドレスデンで開催されるセミコン欧州および、国際MEMS/MST産業フォーラムへの参加に合わせて、フィンランドとロシアのMEMS関連機関の見学と訪問Meetingを企画・実施致しました。

ご存知のように、欧州ではナノテクやMEMSに対する継続的で旺盛な投資が行われ、かつ大学や研究所が所管する大型研究施設を用いて、様々な企業がMEMS事業化に向けた取り組みを強化するとともに、多くのベンチャーが当該施設によって巣立っています。特に北欧やロシアでは広大な国土に点在する老朽化した建造物や社会インフラ、パイプライン施設等をメンテナンスするためにMEMSセンサやそのセンサネットワークが必要と言われています。日本でも近年特に社会課題に対応したMEMSセンサが注目を浴びています。今回訪問するフィンランドやロシアの関連機関は、特に社会インフラへのセンサネットワーク構築に対する取り組みが熱心であり、訪問して最新の技術や取り組み状況に関する情報交換を行うことは大変有効と考えました。以下に今回の欧州調査の概要を記載します。

(1) VTT Technical Research Center of Finland (Espoo市)

VTT(正式名 VTTテクニカルセンター、フィンランド)はヘルシンキから西に20kmのエスポー市にありますが、実際にはエスポー市の東端にあるため、ヘルシンキのダウンタウンからタクシーで(空いていれば)15分余りの自然豊かな場所にある、3100名の職員を有する北欧最大の研究施設で、早くから全世界を顧客としたオープンイノベーションに熱心です。VTTの研究テーマは電子工学、エネルギー、情報通信等の全方位に渡っています。特に電子デバイスの研究開発では実績が多く、1960年代から半導体、1980年代からCMOSやBiCMOS、更に1990年代からMEMS、また半導体や電子デバイスとMEMSの技術的融合が行われ、特にパッシブデバイスと半導体を集積した一種の集積化MEMS(Integrated Passive Devices IPD)に力を入れています。

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写真 1 VTTのマイクロナノ領域の研究施設

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写真 2 10月初旬であっても(ヘルシンキは)すでに霜

今回の訪問でのホスト、面会者はResearch Professor, Dr. Aarne Oja でした。今回のMeetingでは、Senior Scientist, Team LeaderのDr. Tommi Suni、博士コースのMsc. Viljanen Heikki、更にクリーンルームの見学を含めてAkiko Gädda様が対応してくださりました。Dr. Aarne Ojaによる全体の説明、Dr. Tommi SuniによるTSV技術を含む3D技術の説明、最後にAkiko Gädda様によるクリーンルームの見学でした。

 VTTのご紹介では、VTTは純粋に国立の研究所から1960年代から開始され、初期のMEMSの研究開発は1970年代の後半から開始したとのことで大変長い歴史を持っています。最初は半導体の研究から開始しましたが、半導体は競争相手が多いので比較的早くからセンサーやMEMSの技術を取り入れて行ったようです。また光学やバイオと言った技術開発も盛んで、MEMSとの組み合わせも息の長い研究テーマとなり、現在の光学式エタロンを用いたCO2ガスセンサーに繋がっています。また半導体CMOSとの集積化や実装技術への取り組みも熱心で、TSV技術や三次元ICへの取り組みに繋がっています。更にVTTは早くから企業との連携やベンチャーの育成を行っていて、これまで当該産業領域(MEMS)で30のスピンオフベンチャーを育成しており、これらの企業はVTTの研究施設を使った少量生産を行って、サンプルや製品を出荷しているとのことです。

 VTTの研究プログラムはHigh Performance Microsystems(HPM)と言うタイトルで
  1) MEMS Sensors
  2) Microspectrometers
  3) RF Modules
  4) Radiation Detectors
の4つの項目があります。特に2)と4)は独自性の高い研究開発が行われています。更に、産業化への貢献として
  1) 技術と知的所有権のライセンスアウト
  2) VTT発のベンチャー企業のよる実用化
を推進しています。

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写真 3 VTTに隣接する先端技術産業育成施設、歩いて数分VTTの敷地内にある。Ei4

写真 4 Dr. Aarne Ojaとシリコンインゴットの前で

更にVTT MEMSFabと言う独立した法人があって、VTTの施設を使ったMEMSの量産(実際には少量生産と考えられる)やVTTで開発されたMEMSデバイスの実用化支援を行っているようです。サービスの内容としては、6インチMEMSラインを用いたコントラクト製造(ファンドリ)と設計支援とのことですが、やはり半導体やナノテクの研究所が全面的にバックアップしているのでポリシリコンやナイトライト、シリコンフォトニックス、超伝導デバイス、薄膜RFデバイスと多岐に渡っていることも特徴の一つです。

次にTSV技術に関して個別紹介がありました。VTTのTSVは、貫通配線方法に以下の4つの手法が準備されています。
  1) Doped PolySilicon
  2) Cu Thin
  3) Cu Liner
  4) Cu Thick
 何れも、シリコンの精度の高い加工技術と用途にあった配線方法を所有しています。

最後にクリーンルームを見せて頂きました。総面積2600平米で規模としては最大級です。この施設は3つに分かれており、
  1)CMOSライン
  2)MEMSライン
  3)大学等のアカデミアが利用するライン
の3つがあります。それぞれ、6インチの装置が整備されており、研究開発から汚染を気にする半導体の開発まで大変良く整備されていました。それぞれの専有ラインに、専用装置があるので、3つの研究ラインが1箇所に集まっている感じです。

VTT Web Site:
http://www.vtt.fi/
http://www.vttmemsfab.fi/ 

(2)Russian MEMS Association

今回のホストであり、Russian MEMS AssociationのExecutive DirectorであるDr. Denis Urmanovは、2013年中国上海で開催された国際マイクロマシンナノテクサミットにロシアの団長として参加されました。その時にロシアにてMEMS産業を推進させていること、特にロシアでは広大な国土に老朽化した社会インフラが沢山あって、これらを、MEMSを中心としたセンサネットワークでメンテナンス、更に補修を行う必要が或ことを力説されていました。このRussian MEMS Associationは2010年に設立された比較的新しい、民間が運営する非営利団体で、MEMSの研究開発からセンサーシステムの実用化、更にネットワーク化を行う幅広い活動をしています。その組織の母体となっているSovtest ATEはロシアの企業で、半導体や電子機器の評価を行うテスターを中心に製造販売やソフト開発、委託開発、或いは海外の装置を展開する事業を行っています。ここ数年、ロシア国内でもMEMSやセンサーに関する関心や需要の高まりから、このSovtest ATEや、そこを母体とするRussian MEMS Associationが中心になって、欧州の研究所、VTTやフラウンホーファー研究所等と連携を取ってMEMSの産業育成を推進しています。今年の7月に東京ビッグサイトで開催されたナノマイクロビジネス展に、このSovtest ATMのテステング関係の責任者であるRYKOV氏が来日され、日本との協力関係を希望されていました。さらにMEMSの波でご紹介したように、9月26日にSovtest ATEのVladimir Lisov副社長がマイクロマシンセンターを訪問され、MEMS産業の現状や課題に関して情報交換のMeetingを持ちました。

ここで、Russian MEMS Associationのあるクルスクと言う都市は、モスクワから約500km南にある小高い丘の上にある中規模の都市です。ロシア南西部に広がるクルスク州の州都で工業都市、冶金、機械、化学工業が盛んでクルスク市にある国立南西大学はロシアで3本指に入る理系の大学とされています。人口は約40万人、ソビエト連邦時代には、クルスクは付近の豊富な鉄鉱床の存在から重要視され、ロシア南西部の鉄道の中心地となり、第二次世界大戦中にはドイツ軍と赤軍との間で大規模な戦闘(クルスクの戦い)が行われた場所でもあります。

丁度、私がクルスクを訪問した時に国立南西大学にて理学祭が行われており、そのお祭りに参加させて頂きました。日本の大学祭と違って高校の文化祭のような雰囲気で、ダンスや歌謡等の賑やかなものでした。最初にロシアの科学技術がどのように発展したかを、貴族の衣装を来た学生による寸劇で表現されていたのはとても印象的でした。その式典に学長のSegey G Emelyanov様のご挨拶が、学生が飽きないような工夫のもとにされたのも印象的です。この式典の後、幾つかの教室で学生による理学実験が紹介されていました。Er5

写真 5 Dr. Denis Urmanov(ウルマノフ様)と一緒にEr6

写真 6 国立南西大学のナノテクノロジー研究セン ター長のクズメンコ教授(左)Er7_2

写真 7 国立南西大学の理学祭での寸劇

私は(はるばる遠方の)日本からの来客として学長室に通され、Segey G Emelyanov(エメリヤーノフ)様と、ATEのマルコフ社長と一緒に面談の機会を得ました。産官学連携のハブとして機能しているマイクロマシンセンターに興味を示され、学術分野での日本とロシアの連携を希望されていました。その学長へのご挨拶と前後して、国立南西大学のナノテクノロジー研究セン ター長のクズメンコ教授の研究室の見学や、ロシアの産官学連携、日本での産官学連携の状況等を情報交換する場を得ることが出来ました。また副学長の方ともお話をさせて頂きました。(名刺がロシア語でSpell Outできません)

その後、Russian MEMS Associationに移動しましたが、この事務所はSovtest ATEのオフィスの中にあります。ここではDr. Denis Urmanov(ウルマノフ)を中心に情報交換をさせて頂きました。

1) ロシアでは本学術領域は、まだ大学レベルの研究が中心である。

2) しかし、実際には応用分野は沢山あり、既に様々な場所でMEMSは利用されている。

3) ロシアの企業、例えばSovtest ATE等はシステム開発やシステムの評価等を行っている。

4) 今後の本格的なMEMSの普及に向けてネットワークと産業推進、人材育成を目的にRussian MEMS Associationを設立した。

5) Russian MEMS Association・SovtestATEが海外の研究所、Leti,VTT、フラウンホーファー研究所と共同でMEMSやそれを使ったモジュールを開発している。

6) 日本にはMEMSの人材育成の依頼をお願いしたいと思っているが、言語や文化の問題があって簡単ではない。

7) 一般財団法人マイクロマシンセンターで行っている国際標準化や展示会活動に関して興味がある。

日本からはマイクロマシンセンターやMEMS協議会のご紹介、ナノマイクロビジネス展のご案内および国際標準化の取り組みを紹介致しました。特にマイクロマシンセンターで行っている人材育成と、国際標準化に関して強い関心と期待を寄せておられました。

Russian MEMS Association

www.mems-russia.com 

 

以上、フィンランドとロシアの研究所を訪問した結果を報告しました。印象深い国ですが、長い歴史があるように、今後の産業国際交流も長い年月で考える必要があります。昨年と同様に今年度も、国際交流や情報収集結果を基に国際産業調査報告会を開催予定です。皆様のご参加を期待しています。(MEMS協議会 三原 孝士)

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写真 8 国立南西大学・理学祭でのエメリヤーノフ学長(右から2番目)Er9

写真 9 国立南西大学での情報交換会でのメンバー(右2番目 ATEのマルコフ社長、左端は副学長様)Er10

 

写真 10 ENASと共同研究されたセンサーモジュール、2次電池を搭載する。

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第24回マイクロナノ先端技術交流会 開催のご案内

第24回 マイクロナノ先端技術交流会

   「3次元光加工・精密造形技術の最前線」

    (マイクロナノイノベータ人材育成プログラム・先端アプリ講座)

 一般財団法人マイクロマシンセンターでは、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために、マイクロナノイノベータ人材育成プログラム事業の一環として、マイクロナノ先端技術交流会を実施しております。これは産学交流を図ることを目的に、毎回大学等において先端的な研究に従事する方々を講師としてお招き、交流の機会を設けようとするものです。 今回は「3次元光加工、精密造形技術の最前線」をテーマに、同分野の最前線で活躍しておられます京都大学大学院 材料化学専攻 無機構造化学分野の平尾一之教授と産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 基盤的加工研究グループ グループ長の岡根様をお迎えして同交流会を開催致します。多くの方々にご参加頂き、ご議論を深めて頂ければと思います。

                         (産業交流部 今本 浩史)

 

■ 日時: 平成25年12月3日(火) 14:00~16:50 

         (交流会17:00~18:00)

■ 場所: 一般財団法人マイクロマシンセンター・新テクノサロン
       〒101-0026 東京都千代田区神田佐久間河岸67  MBR99ビル7階
        (地図:http://www.mmc.or.jp/gaiyou/map/) 

■ 参加費:一般 5,000円  /  賛助会員 ・ MEMS協議会メンバー 2,000円 

■ 主催: 一般財団法人 マイクロマシンセンター

 

【プログラム】
14:00~14:05 主催者挨拶
          (財)マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一

14:05~15:25 「3Dプリンタのものづくりへの活用」

           (独) 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
           基盤的加工研究グループ     研究グループ長  岡根利光

15:25~15:35   ----- 休憩 -----

15:35~16:55 「3次元ナノ光加工の現状と今後の展開」
                       京都大学大学院 工学研究科 材料化学専攻 

            無機構造化学分野       教授 平尾一之

17:00~18:00 ----- 講師の先生を囲む交流会 (立食形式) -----
               (会場:(財)マイクロマシンセンター本部 会議室 同ビル6階)

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■定 員: 50名  

■参加申込
・インターネット参加申込 → http://www.mmc.or.jp/cgi/form/sentan_24/

■お問い合わせ先
一般財団法人マイクロマシンセンター
先端技術交流会 担当
産業交流部長 今本 / 酒向
E-mail: event@mmc.or.jp 

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2013年10月17日 (木)

MemsONE実習講座の関西第1回開催

MemsONEの使用方法を学習する「MemsONE実習講座」の関西第1回総合コースを京都大学の工学部物理系校舎1階で9月30日(月)に開催しました。当初、7月26日(金)に予定していましたが、都合により延期し、出来るだけ多くの受講者を確保して開催しました。今回の受講者は、京都大学関係7名(PJ関係者3名、研究者2名、学生2名)、その他の機関2名(企業1名、産技研1名)の計9名の参加があり、非常に充実した講習会となりました。

本コースは通常定員5名(当方が保有するPCは5台のため)のところ、参加9名のため、開催に当たっては、PCの確保が課題となりました。不足の4台は京都大学から借用し、臨時のライセンス発行で対応しました。

本コースは基本操作コースと解析コースの内容をミックスしたもので、時間的に欲張った内容となっています。このため、MemsONEに初めて触れる方には重荷だったようで、実習講座終了後のアンケート結果では、受講者の殆どが理解できた、役立ったとの回答がある反面、幾つかの改善要望もありました。今後、これらの要望を吟味し、プログラムやテキストに反映していく予定です。

 

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  関西第1回総合コースの受講風景(京都大学工学部物理系校舎1階にて)

今後の関東での講習会として、下記を予定していますので、ご興味のある方は是非ご参加ください。受講者1名でも開催致します。

 

◆関東第5回基本操作コース:     平成251114日(木)

◆第2MEMS設計解析基礎実習: 平成251129日(金)

 詳細・お申込みは、http://www.mmc.or.jp/mems-one/ 「講習会案内」を参照ください。

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Sovtest ATEからのお客様、マイクロマシンセンターを訪問

「MEMSの波」でもご紹介いたしましたが、2013年に中国上海で開催された国際マイクロマシンナノテクサミットに、ロシアの団長としてRussian MEMS AssociationのExecutive DirectorであるDr. Denis Urmanovが初めて参加されました。このRussian MEMS Associationは2010年に設立された比較的新しい民間が運営する非営利団体です。その組織の母体となっているSovtest ATEはロシアの企業で、半導体や電子機器の評価を行うテスターを中心に製造販売やソフト開発、委託開発、或いは海外の装置を展開する事業を行っています。ここ数年、ロシア国内でもMEMSやセンサーに関する関心や需要の高まりから、このSovtest ATEや、そこを母体とするRussian MEMS Associationが中心になって、欧州の研究所、VTTやフラウンホーファー研究所等と連携を取ってMEMSの産業育成を推進しています。今年の7月に東京ビッグサイトで開催されたナノマイクロビジネス展に、このSovtest ATMのテステング関係の責任者であるRYKOV氏が来日され、日本との協力関係を希望されていました。

 そのような経過もあって、9月26日にSovtest ATEのVladimir Lisov副社長がマイクロマシンセンターを訪問されました。最初に双方のご挨拶を行ったあと、MEMS産業の現状や課題に関して情報交換のMeetingを持ちました。日本からはマイクロマシンセンターやMEMS協議会のご紹介、ナノマイクロビジネス展のご案内および国際標準化の取り組み、お客様からはロシアでのSovtest ATEの活動内容等でした。ロシアではMEMSはまだ新しい技術・産業領域であって、人材育成に今後力を入れていきたいとのことです。またマイクロマシンセンターで行っている国際標準化に関して強い関心と期待を寄せておられました。(MEMS協議会 三原 孝士)

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写真 1 情報交換会の様子

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IEC/TC47/SC47F国際標準化会議開催される(10月7~11日)

 MEMSに関する国際規格はIEC/TC47技術委員会傘下の分科委員会SC47Fが担当しています。今年はSC47Fを含むTC47全体の会議が10月7日から11日まで英国・ロンドンで開催されました。IEC総会は毎年秋に開催されますが(2013年はインド・ニューデリー)、TC47は今年の招致TCではなかったため、独自の日程で会議が行われました。
P1010012a 10月7日に開催されたSC47F/WG1会議には計17名(日本6、韓国5、中国5、ドイツ1)が出席し、審議中の規格案について各プロジェクトリーダから状況説明の後、意見交換が行われました。
 その結果、今年7月にNP(新業務項目提案)が承認された日本提案の形状計測法はプロジェクトリーダ(神戸大学・磯野吉正教授)による主旨説明と意見交換の後、CD(委員会原案)に移行することを決議案としました。このほか同じく日本提案の小型ジャイロはFDIS(最終国際規格案)に、海外提案ではバルジ試験法(韓国提案)がCDV(投票用委員会原案)に、残留応力決定法(韓国提案)がCDVに移行することなどを決議案としました。P1010010a NP回付中の案件では、ドイツより「マイクロシェブロン試験法を用いた粉末ガラス接合の接合強度試験」について、提案の主旨説明及びプロジェクト参加要請がありました。また今回、MEMS分野で最初に国際規格となったMEMS用語の規格改正について、プロジェクトリーダ(首都大学東京・諸貫信行教授)より改正の主旨と今後の予定について説明が行われました。さらに、これまでSC47FはひとつのWG(作業グループ)で規格案の検討を進めてまいりましたが、これを3つのWG(一般、材料、デバイス)に分割して審議を進める決議案を作成しました。SC47F/WG1として作成した各決議案は、10月9日に開催されたSC47F本会議において採択されました。
 次回会合は2014年6月にスイス・ジュネーブで開催されるSC47Fアドホック会議の予定です。(調査研究・標準部 出井敏夫)

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2013年10月 8日 (火)

ナノ・マイクロ ビジネス展に向けてビジネスフォーラム開催のご案内

「ナノ・マイクロ ビジネス展/ROBOTECH」は、MEMS、超精密・微細加工、ナノテク、バイオと応用システム、ロボット技術を産業に結びつけるビジネスプラットフォームとして、2014423日(水)~25日(金)パシフィコ横浜での開催に向けて出展募集を開始いたしました。

www.micromachine.jp

さて、昨今、社会インフラの課題に対してのセンサー・システムへの機運が高まってきていることから、以下の要領で、「ビジネスフォーラム・本見本市概要説明会」を開催します。

この機会にぜひともご参加くださいますよう、ご案内申し上げます。

(定員100名としていますので、お早めにお申し込みください。)

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 ナノ・マイクロ ビジネス展/ROBOTECH開催記念講演会

「社会インフラはセンサー・システムを求めている」

ビジネスフォーラム(第1部)・本見本市概要説明会(第2部)

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開催概要

■日時:20141031() 午後3時~5時 (受付:240分より)

■会場:ホテルグランドパレス 松の間(最寄駅:九段下)

     東京都千代田区飯田橋1-1-1

■主催:一般財団法人マイクロマシンセンター

■参加費:無料(要事前申込)

■プログラム

 

 

ナノ・マイクロ ビジネス展 / ROBOTECH 2014

●開会挨拶ならびに本見本市コンセプトのご案内

一般財団法人 マイクロマシンセンター

専務理事 青柳 桂一

●本見本市概要説明および出展者募集のご案内

メサゴ・メッセフランクフルト()

1部 ビジネスフォーラム

●「MEMSが求められる社会ニーズと条件」

東京大学 IRT研究機構 機構長 

情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻 教授

下山 勲 

●「社会インフラでのセンサー・ネットワークの事例と傾向」

株式会社日経BP Tech-On! 副編集長

三宅 常之

●「高速道路メンテナンスの高度化を図る『スマートメンテナンスハイウェイ』構想」 

東日本高速道路株式会社 管理事業本部 管理事業計画課長(兼)

SMH推進チームリーダー 松坂 敏博

2部 パネルディスカッション

●「社会インフラ-センサー・ネットワークの現状と将来像」

(パネリスト)

東日本高速道路株式会社 管理事業本部 管理事業計画課長(兼)

SMH推進チームリーダー 松坂 敏博

東京大学IRT研究機構 機構長 情報理工学系研究科 

知能機械情報学専攻 教授 下山勲 

(ファシリテーター)

株式会社日経BP Tech-On! 副編集長 三宅 常之

●質疑応答

 

 

■参加申込方法:ファックスまたはメールにて1023日(水)までに事務局、メサゴ・メッセフランクフルト(株)宛てにご連絡ください。

申込用紙は下記からダウンロードをお願いします。

http://www5.webcas.net/mail03/u/l?p=6K65QhTHP89k6UyMvXXAdgZ

⇒ファックス返信先:03-3262-8442

⇒メール連絡先:info@micromachine.jp

(所属団体名、部署・役職、お名前、ご連絡先電話番号を記載ください)

以上

本講演が皆様のビジネス拡大へのヒントとなることを期待しております。

よろしくお願いいたします。

ナノ・マイクロ ビジネス展/ROBOTECH事務局

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■見本市および講演会に関するお問合先:

ナノ・マイクロ ビジネス展/ROBOTECH 事務局

Tel. 03-3262-8446 Fax. 03-3262-8442

info@micromachine.jp

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 ナノ・マイクロ ビジネス展/ROBOTECH 次世代ロボット製造技術展

 2014423日(水)~25日(金)パシフィコ横浜・展示ホール

 www.micromachine.jp

 同時開催 OPIE'14 http://www.opie.jp/

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普及促進部 内田

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2013年10月 7日 (月)

2014年IEC東京大会の成功に向け組織委員会開催


 2014年IEC東京大会に向けて組織委員会(委員長:野間口有 日本工業調査会会長)が10月7日ホテルニューオータニにて開催され、来年11月に東京国際フォーラムにおいて開催するIEC(国際電気標準会議)の年次大会の基本計画を決定しました(→METIニュースリリース)。

 “Integration toward a Smarter World” - Co-existence and Sustainability – を大会コンセプトとし、主催国の独自企画として、テクニカルビジット、シンポジウム、技術展示会等を行い、我が国の優れた技術・取組みを世界に伝えつつ、世界的な課題の解決に貢献していくこととしています。

    


 組織委員会は、 IEC大会を2014年に東京に招致することが決まったことを受けて、その企画・実行等の準備のため、産業界、政府機関が一体となり結成されたもので、今回は第3回目の開催となります。組織委員会には約80組織が参加し、TC47/SC47Fの国内審議団体の役割を担っている私ども一般財団法人マイクロマシンセンター(理事長 作田久男)も名を連ねています。

 国際標準化の推進は、わが国製造業の競争力強化に貢献するものであり、アベノミクスにおける成長戦略の中にしっかりと位置づけられています。来年の東京大会を是非とも成功させるとともに、これを通じて国際標準化活動の更なる取組強化が強く望まれます。
                                (文責:青柳桂一)

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2013年10月 3日 (木)

国際標準化への貢献により、石山千恵美氏(東京工業大学助教、IEC/TC47/SC47Fエキスパート)IEC1906賞受賞

 10月3日に都市センターホテル(東京・永田町)において、経済産業省 赤羽一嘉副大臣ご臨席のもと平成25年度工業標準化事業表彰式が行われ、東京工業大学助教の石山千恵美氏が、IEC1906賞を受賞致しました。P1010013a_2

 IEC1906賞は、1906年に発足したIECの創立100年にちなんで創設された記念行事のひとつであり、IECの活動に対して多大な貢献のあった個人を表彰することを目的に、2004年以降毎年行われています。
 石山氏は、長年にわたり、IEC/TC47/SC47Fにおける国際標準化開発のプロジェクトリーダー及びエキスパートを務めてこられました。P1010016aこれまで、日本から提案しIEC国際規格として発行された「薄膜材料の軸荷重疲労試験方法」及び「薄膜曲げ試験法」のプロジェクトメンバーとして、また、「MEMS構造体のための曲げ及びせん断試験による接合強度試験方法」についてはプロジェクトリーダとして規格案作成・提案から標準化審議のフォローまで一貫してかかわってこられました。これらの功績が認められ今回の受賞となりました。賞状は日本工業標準調査会(JISC)の野間口有会長より手渡されました。(調査研究・標準部 出井敏夫)

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