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2013年6月

2013年6月18日 (火)

ナノ・マイクロビジネス展開催準備進む <その3>

  世界最大規模のMEMS関連イベントである「ナノ・マイクロ ビジネス展(マイクロナノを改称」の開催まで間近となりました。7月3日(水)から5日(金)まで、東京ビッグサイトで開催します。
 ナノ・マイクロ分野における微細加工技術、デバイス、ソリューションが集積する専門見本市として改めて位置付け、本分野の活発なビジネスマッチングも支援してまいります。併せて、未来ビジネスの核となる先端技術の紹介や、ナノ・マイクロ分野の産学連携の場としてますます内容の充実を図ります。
 
 今回は、最終日7月5日(金)午後に開催する「グリーンセンサ・ネットワーク(GSN)プロジェクトセミナー」のプログラムをご紹介します。
 
 NEDO共同研究事業「社会課題対応センサーシステム開発プロジェクト」として平成23年度から4年間にわたり研究開発を行う本プロジェクトも3年目に入ります。今回のセミナーは実証実験の成果や姿が見えてきた端末について報告します。
14:10

14:20
GSNプロジェクト概要
プロジェクトリーダ(グリーンセンサネットワーク研究所所長/(独)産業技術総合研究所 前田 龍太郎
特別講演
14:20

14:50
持続可能な社会への入り口としての低炭素社会とセンサーの役割
(独)国立環境研究所 社会環境システム研究センター持続可能社会システム研究室  主任研究員  藤野 純一
持続可能な低酸素社会のデザインを研究テーマとする講師よりグリーンセンサーに対する期待を語って頂く
14:50

15:20
センサネットワークを活用した東京電力のエネルギーコンサルティング
東京電力株式会社 カスタマーサービス・カンパニー 法人営業部 エネルギー解析イノベーショングループ グループマネージャー  横坂 雅樹
工場等に設置した電力モニターを活用したエネルギーコンサルティングについて報告して頂く
15:20

15:50
人と地球にやさしいスマートコンビニ(仮題)
株式会社セブン-イレブン・ジャパン 取締役 常務執行役員 三谷 庸
全国のコンビニ2000店舗の内外に設置した温湿度・電力無線センサー(17000個)によるモニタリング実験を1年ほど実施した成果(地域、周辺、運営等の差異と省エネ対策)について報告していただく
GSNプロジェクト成果報告
15:50

16:10
見えてきたグリーンMEMSセンサ端末の姿
グリーンセンサネットワーク研究所 つくば研究センター センター長 伊藤 寿浩
室内光による自立電源で稼働するセンサー端末の具体化像について報告する
16:10

16:30
センサーネットワークシステムにおけるナノファイバー自立電源の開発
グリーンセンサネットワーク研究所 大岡山研究センター センター長 谷岡 明彦
ナノファイバーを織り込み、フレキシブルな光自立電源について報告する
(普及促進部 内田)

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2013年6月13日 (木)

UMEMSME-MNOICセミナー「ツール de MNOIC 装置セミナー 2013」開催報告

 TIA(つくばイノベーションアリーナ)の研究リソースを産業界が利活用する研究支援サービスであるMNOICも3年目を迎えました。今年も昨年同様、集積マイクロシステム研究センターの所有する最先端装置の製造メーカと、研究者・ユーザの交流の場であるMNOIC装置セミナー「ツール de MNOIC 装置セミナー 2013」を、5月30日(木)に産総研・東事業所 NMEMSイノベーション棟(4G棟)国際セミナー室にて開催致しました。今年度は、千葉工業大学の佐野利男教授の司会の元で、MNOICが研究支援の対象としている世界最先端装置群の中から、装置メーカの方から4件の最先端装置および加工技術のご紹介頂くとともに、招待講演として九州大学大学院 システム情報科学研究院・情報エレクトロニクス部門 浅野 種正 教授から「先鋭マイクロバンプを用いたLSIチップ低温接合技術」に関する講演を頂きました。

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写真 1 講演会の様子
 今回の装置メーカの発表は、確実なユーズがある微細加工やプロセスから2件、最近ユーザが増えてきた接合関連の技術から2件です。また招待講演はマイクロバンプの上部表面を特殊なレジストを用いたホトリソグラフィーとメッキによって、安定で均一に先端を先鋭化することで、低温でかつ少ない圧力でチップとウェハを接合できる技術を開発された浅野教授(写真)の大変興味あるご講演でした。更にEV Group Inc., のEric Pabo 氏(写真)は毎年ドレスデンで開催されるセミコンユーロでも最先端のプロセス技術の講演をされ、世界最先端の装置&プロセス技術がここに集まっていると言う実感があります。

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写真 2 EVグループ Eric Pabo氏のご講演

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写真 3 招待講演 浅野教授
 講演会の途中で実施した研究施設の見学会も25名の方に御参加頂きました。更に懇親会では集積マイクロシステム研究センター 前田龍太郎センター長に「このようなセミナーの継続性が重要であること」のご挨拶を頂きました。また懇親会の中で、ポスター報告のポイントを報告して頂く等の実りの多いセミナーでした。
別のブログでも取り上げましたが、MNOICでは研究支援が可能な最新装置を順次増やして参ります。皆様のご利用をお待ちしています。(MNOIC研究企画 三原 孝士)

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写真 4 懇親会の様子

実施プログラム:
13:00 ドライ犠牲膜エッチングプロセス技術の微細構造MEMSへの適用」
    キヤノンマーケティングジャパン株式会社 
    産業機器販売事業部 プロセス機器技術部 技術第一課 山本 仁 氏
13:30 「東芝機械の微細加工ソリューション
    -高輝度LEDへの応用と大面積微細パターン形成への展開-」
    東芝機械株式会社 ナノ加工システム事業部 副事業部長 後藤 博史 氏
14:00 「高精度ウェハtoウェハ,チップtoウェハ接合装置」
    ボンドテック株式会社代 表取締役 山内 朗 氏

14:30~15:00 MEMS微細加工ライン見学
15:00 「EVG Technologies for MEMS Packaging and Nanoimprints」
    EV Group Inc., Business Development Manager - MEMS, Eric Pabo 氏
16:00 「先鋭マイクロバンプを用いたLSIチップ低温接合技術」
    九州大学大学院 システム情報科学研究院
    情報エレクトロニクス部門 浅野 種正 教授

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第9回MEMS標準化ワークショップ(6月6日)

 IEC SC47F/WG1国際標準化アドホック会議に引続き、6月6日に中国・広州で第9回日韓中MEMS標準化ワークショップが開催されました。MEMS関連の研究開発状況について日本及び韓国より各々1件、最近注目されているエネルギーハーベスティングに関連するトピックが日本、韓国及び中国より各々1件ずつ紹介され、それぞれの発表に対して活発な質疑応答・議論が行われました。出席者は日本4名、韓国6名、中国7名の計17名でした。各発表の概要を以下に示します。
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[セッション1(MEMS)]
(1)Assessment of super-long-term fatigue reliability of silicon MEMS structures – a possible strategy(名古屋工業大学・神谷庄司教授)
 シリコンMEMS構造体の超長期信頼性評価に関する考察について説明が行われ、MEMS構造体の疲労・寿命予測の合理的な方法について考え方が示されました。
(2)Eutectic bonding and reliability test for sensors and MEMS devices(韓国・Sekwang Park, Kyungpook National Univ.)
 MEMSデバイスにおける共晶(共融)接合に関する信頼性試験について考察が示されました。韓国は接合の信頼性に関して近い将来規格提案を行う意向で、内容充実化のため日韓中3カ国の協力が必要との考えが示されました。
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[セッション2(エネルギーハーベスティング)]
(1)Vibration Driven Energy Harvesting Devices and Commercialization(韓国・Jae Y. Park, Kwangwoon Univ.)
 世界各国で注目されている振動発電デバイスの研究開発状況について紹介が行われました。韓国も日本のエネルギーハーベスティングコンソーシアムと同様、企業、大学及び国研からなる連絡会を立ち上げて、関連技術及び事業に関する意見交換を始めているとのことです。
(2)Update of Discussion on Energy Harvesting in Japan(マイクロマシンセンター・出井敏夫)
 エネルギーハーベスティングに関連する日本国内の最近のトピックについて紹介しました。また、振動発電デバイスの特性測定方法に関して規格提案準備中であることをあらためて示しました。
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(3)Implementation and validation of energy extraction optimization techniques for solar energy harvesters(中国・ Jiang Shaobo, Peking Univ.:代理発表Zhou Zaifa, Southeast Univ.)
 太陽電池パネルの出力最大化制御(MPPT: maximum power point tracking)の一手法について紹介が行われました。時々刻々変化する日照に対して追従しながら制御する方法をフローチャートを示しながら説明がなされました。
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IEC/TC47/SC47F/WG1アドホック会議(6月4日)

 MEMSに関する国際標準化はIECのTC47/SC47Fが担当していますが、そのアドホック会議が6月4日に中国・広州で開催されました。IECの会議は毎年秋に全体会議が世界各国で開催され(2013年はインド・ニューデリー)、TC47/SC47E&Fアドホック会議が毎年6月に日韓中の各国持ち回りで開催されており、今回のホスト国は中国でした。P6040001a
 会議には日本4名、韓国5名、中国6名の計15名が参加しました。会議では開催宣言に続き、参加者の自己紹介、議事の確認、前回会議の確認及びコンビナから審議状況の報告が行われた後、具体的な規格案の審議が行われました。P6040003a
 審議中の案件では、「バルジ試験法(韓国提案、3rdCD回付終了)に関し、プロジェクトリーダの韓国Dr Yong-Hak Huhより各国コメントに対する修正案について説明が行われ、日本側エキスパート(京都大学・土屋智由准教授)と活発な意見交換が行われました。その結果、今回の議論をふまえた修正案を作成し、他のプロジェクトメンバー(中国、ドイツ)の見解も確認した上で次の段階(CDV)に移行すべきかどうかを判断することになりました。
 このほか、CD回付が終了した韓国提案2件(「PDMS/ガラス接合強度試験法」及び「MEMS膜材料の残留応力測定法」)について、韓国・Se Kwan Park教授より状況説明が行われました。
 次回会合は10月に英国・ロンドンで行われるTC47会議ですが、再会を約束して会議を終了しました。

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2013年6月 6日 (木)

ナノ・マイクロビジネス展開催準備進む <その2>

 世界最大規模のMEMS関連イベントである「ナノ・マイクロ ビジネス展(マイクロナノを改称」の開催まで数週間となりました。7月3日(水)から5日(金)まで、東京ビッグサイトで開催します。
 ナノ・マイクロ分野における微細加工技術、デバイス、ソリューションが集積する専門見本市として改めて位置付け、本分野の活発なビジネスマッチングも支援してまいります。併せて、未来ビジネスの核となる先端技術の紹介や、ナノ・マイクロ分野の産学連携の場としてますます内容の充実を図ります。
 開催準備は着々と進んでおり、順次お知らせしています。
 
 2日目7月4日の午後には「BEANSプロジェクトセミナー」が開催されます。
 BEANSプロジェクトは2008年から2012年まで5年間にわたり研究開発が実施されました。このプロジェクトは、将来の革新的次世代デバイス(BEANS)の創出に必要な異分野融合コンセプトに基づいた基盤的プロセス技術群を開発し、プラットフォームの確立を目指しました。5年間の成果を是非体感下さい。


セッション1 BEANSプロジェクト成果報告
14:20

14:45
ナノの合わせ技がもたらすMEMSプロセスの新地平(3D BEANS)
東京大学 大学院工学系研究科 准教授 杉山 正和
中性粒子ビームを用いた超低損傷ドライエッチングによるシリコン材料の3次元構造作成プロセス技術、フェムト秒レーザー照射による局所改質技術とウエットエッチングを組み合わせた非シリコン系の石英に対する高アスペクト流路形成等基盤技術について報告する
14:45

15:10
Life BEANSの拓く健康社会
テルモ株式会社 研究開発本部 高橋 正幸
健康・医療分野で将来必要とされるデバイスとして、常時健康管理のための体内埋め込みデバイス、オンサイト予防・診断デバイス等が挙げられている。研究開発成果として「バイオ・ナノ界面融合プロセス技術」と「バイオ高次構造形成プロセス技術(埋め込み型血糖値センサー等)」について報告する
15:10

15:35
有機分子のナノ構造・配列制御が造り出す次世代有機・熱電デバイス(Life BEANS九州)
九州大学学術研究推進支援機構 研究戦略企画室 安達 淳治
高効率有機太陽電池や有機EL素子などの有機ナノ分子デバイスの研究基盤を送出するために、微細加工技術や有機分子の自己組織化現象を駆使し、ナノメートルオーダーで有機分子集合体構造を制御するプロセス技術を開発した。
15:35

16:00
メーター級大面積マイクロシステムを実現する集積化技術(Macro BEANS)
(独)産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター 副研究センター長 伊藤 寿浩
大面積デバイスの実現のため、非真空プロセスによるマイクロナノ構造を有する高品位機能膜の形成技術、製織技術を活用した機能性薄膜連続皮膜や連続微細加工等の製造技術について報告する
16:00

16:25
BEANSプロジェクト成果の総括
東京大学 生産技術研究所 教授 藤田 博之
5年間のBEANSプロジェクトを振り返り、その成果と今後の期待を報告する
セッション2 BEANSプロジェクト成果の活用促進
16:25

16:45
BEANS知識データベース
みずほ情報総研(株) サイエンスソリューション部 新田 仁
BEANSの研究開発項目やこれに関する新たな知見(文献情報等)を系統的に蓄積してデータベース化し、BEANS技術について容易に閲覧・参照できるBEANS知識データベースについて報告する
 16:45

16:55
BEANSプロジェクト成果(知財)のワンストップショッピング
マイクロマシンセンターBEANS技術研究センター 阿出川 俊一
BEANSの成果である知財は100を超える。複雑な権利関係にあるBEANS知財を一括して購入できるBEANSショップについて報告する

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