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2013年5月

2013年5月27日 (月)

UMEMSME-MNOICセミナー「ツール de MNOIC 装置セミナー 2013」のご案内

開催日:日時:2013年5月30日(木) 13時から17時
開催地:産総研・東事業所 NMEMSイノベーション棟(4G棟)国際セミナー室(1F ロビー横)
連絡先およびアクセス:http://mnoic.la.coocan.jp/access/index.html(つくば開発センター)
掲載:http://www.aist.go.jp/aist_j/guidemap/tsukuba/east/tsukuba_map_e.html
主催:集積マイクロシステム研究センター(独立行政法人・産業技術総合研究所)
共催:一般財団法人マイクロマシンセンター MNOIC

【趣旨】
 昨年(2013年2月)に開催し、好評を得ましたMNOIC装置セミナーを今年も開催致します。今年度は、MNOICが研究支援の対象としている世界最先端装置群の中から、装置メーカの方から4件のご紹介頂くとともに、九州大学大学院 システム情報科学研究院・情報エレクトロニクス部門 浅野 種正 教授から「先鋭マイクロバンプを用いたLSIチップ低温接合技術」に関する講演を予定しています。また希望者からのポスター報告会も予定しています。皆様の積極的なご参加を期待しています。

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写真 2012年度の装置セミナーの様子

プログラム:
13:00 ドライ犠牲膜エッチングプロセス技術の微細構造MEMSへの適用」
    キヤノンマーケティングジャパン株式会社 
    産業機器販売事業部 プロセス機器技術部 技術第一課 山本 仁 氏

13:30 「東芝機械の微細加工ソリューション
    -高輝度LEDへの応用と大面積微細パターン形成への展開-」
    東芝機械株式会社 ナノ加工システム事業部 副事業部長 後藤 博史 氏

14:00 「高精度ウェハtoウェハ,チップtoウェハ接合装置(仮)」
    ボンドテック株式会社

14:30~15:00 MEMS微細加工ライン見学(希望者のみ)

15:00 「EVG Technologies for MEMS Packaging and Nanoimprints(仮)」
    EV Group Inc., Business Development Manager - MEMS, Eric Pabo 氏

16:00 「先鋭マイクロバンプを用いたLSIチップ低温接合技術」
    九州大学大学院 システム情報科学研究院
    情報エレクトロニクス部門 浅野 種正 教授

参加申込:返信フォームにご記入の上、MEMSセミナー事務局宛にご返信ください。
  Email:  e_mizutani@mmc.or.jp(MNOIC開発センター)

===返信フォーム=====================
平成25年5月30日(木)UMEMSME-MNOICセミナー
セミナー:   (  )参加   ( )不参加
見学会 :   ( )希望   ( )希望しない

お名前:
ご所属:
ご連絡先:
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【お問合せ】
一般財団法人マイクロマシンセンター MNOIC開発センター(つくば)
水谷 恵美(Emi MIZUTANI)
 〒305-8564 茨城県つくば市並木1-2-1
   (独)産業技術総合研究所 東事業所内NMEMSイノベーション棟4階
 TEL : 029-886-3471
 FAX : 029-886-3472
 e-mail : e_mizutani@mmc.or.jp
http://www.mmc.or.jp/
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2013年5月22日 (水)

BEANS知識データベース(試行版)の公開を開始しました


 このたび、BEANS知識データベース(試行版) の公開を開始しました。皆さまのご利用をお待ちしております。

 BEANS知識データベースは、BEANS技術開発プロジェクト(2008年~2012年実施)において得られた1500件を超える技術的知見(知識データ)を、独自の技術体系に基づいてデータベース化したものです。このデータベースはWEB上で公開し、BEANS成果・知見や異分野融合の概念の普及に努めることとしております。

 

 BEANS知識データベースには、健康医療応用デバイス、環境応用デバイス、安心安全快適デバイス、プロセス・インテグレーション、機能・製作用要素の大分類のもとに展開されたBEANS技術体系に基づき、1562件の知識データがカテゴリーに分類され登録されています。

 

 また、WEB百科事典(ウィキペディア)と同じGUIを用いていますので、データベース利用は非常に簡単です。個々の知識データのアクセスは自由キーワード検索、カテゴリ検索のどちらの方式でも可能です。

 さらに、昨今 MEMSペディア(MEMS分野の百科事典)作成の活動を行っていますが、BEANS知識データベースもMEMSペディアの一翼を担うものと位置づけられます。

           青柳桂一(BEANS技術研究センター@MMC)

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~ 日本ロボット工業会、創立40周年を迎える ~

130522_164801  当センター関係団体である一般社団法人日本ロボット工業会は、今般、創立40周年を迎えることになりました。これを記念し、平成25年5月22日、東京プリンスホテルマグノリアホールにおいて、創立40周年記念式典、表彰式及び記念パーティが開催されました。  記念式典では、平 将明経済産業大臣政務官が来賓挨拶を行い、記念パーティでは宮本聡製造産業局審議官が来賓挨拶をされました。また、併せて行われた表彰式では、ロボット産業に貢献された方々に表彰状・感謝状の授与が行われました。  会場挨拶では、世界のロボット市場の約7割を占める我が国ロボット産業への今後の期待と更なる発展を望む声が多く聞かれました。

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2013年5月19日 (日)

Guardian Angels(欧州自己発電搭載ワイヤレスセンサコンソーシアム)訪問報告

 自己発電素子を搭載したワイヤレスセンサの欧州産学官連携コンソーシアムであるGuardian Angels(GA)の本部を4月10日に訪問して情報交換を行ってきましたので、その内容について報告いたします。
 このコンソーシアムには欧州の主な企業、大学、研究機関が参加しており、全体のリーダはスイス連邦工科大学ローザンヌ校(EPFL)のAdrian Ionescu教授が務めておられたので、同教授の研究室を訪問しました。

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                  EPFLキャンパス

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                   Adrian Ionescu教授

 GAの目指すところは、マイクロテクノロジーを活用したワイヤレスセンサの端末からシステムまで総合的に開発することです。基本的な特徴として、技術面では低消費電力回路と自己発電素子を搭載したZero-Powerシステムの開発、応用面では世界的にニーズが高まっている予防を目的とした健康モニタリング、安全・安心社会を目指した環境、災害モニタリングへ活用することがあげられます。

 本コンソーシアムは公的プロジェクトを受託して、そのプロジェクトの元で活動することを狙いに設立されました。
狙いのプロジェクトは、FP7(全欧州技術開発サポートプログラム)の中の一つの事業であるEuropean Future & Emerging Technologies Flagship Initiatives(FET)です。
FETの概要を説明しますと、未来に向けた革新的技術開発事業で、開発期間は10年、予算は10年トータルで1 Billionユーロ(約1200億円)というビッグプロジェクトで2013年度開始予定です。
これに6つのプロジェクトが応募しました。
①Human Brain:神経回路、脳疾患、ニューロコンピュータ
②Graphen:グラフェン応用デバイス
③Guardian Angels:自己発電搭載ワイヤレスセンサネットワーク
④FuturICT:次世代情報通信技術
⑤ITFoM:医療向けIT技術
⑥Robocom:ヒューマノイドロボット
最近審査結果が公表され、①、②が採択されることに決定しました。
GAは受託を目指していましたが不採択という結果に終わりました。今後の予定は、引き続いて小規模なプロジェクト或いは欧州各国内で狙いが合致するプロジェクトの受託を目指すとのことでした。

GAの概要を以下に説明します。

 自己発電ワイヤレスセンサの狙いの応用分野は予防のためのヘルスケア、個人対応医療、自動車自動運転、災害検出、公害管理、食品管理です。
 センサ端末の特徴は、小型低価格、エネルギー供給不要、フレキシブルを共通プラットホーム技術として、健康モニタ、環境モニタ、運転モニタ、自律ロボット用センサ、電子皮膚等の開発を目指します。
 技術開発のロードマップが示され、各々の技術開発分野で現行の改良から未来的な革新技術開発まで幅広く網羅し、10年間で継続的アウトプットが出るように組まれています。
 例えば低消費電力回路用にはFinFET、Nanowaire-FET、スピンエレクトロニクス応用と開発期間が3年~10年までの要素技術開発が計画化されています。
 センサ素子開発では小型、高感度、低消費電力化を共通目標とし、検出ターゲットとして実用的な加速度、ジャイロセンサからグルコースセンサ、各種ガスセンサが計画化されています。
 自己発電素子は、光、熱、振動のエネルギーハーベスタで出力を現行の数十μwより3桁大きいmWオーダの自己発電素子を目指しています。
 アプリケーションとしては、健康モニタが重点分野と感じられました。高齢者社会に向けた予防のための早期発見システムの開発を前半に、後半にはストレスセンサなどハードルの高いセンサシステムの開発が計画化されています。
 全体の開発体制は、センサ端末だけではなく、システム開発を担当する企業も最初から参画します。参加企業としてデバイス開発にはSTMicroelectronics、Intel、Texas Instrumentsなど、システム開発にはSIEMENS、PHILIPS、NISSAN等の企業が参加しています。

 以上の開発計画はFETの受託を目指して企画されたものですが、不採用となったため、計画は見直される予定です。

 GAの詳細内容はウェブで紹介されています。
http://www.ga-project.eu/

 プレゼン資料等ご希望のMMC会員企業の方はMMCまで問い合わせお願いします。

                                          阪井 淳

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2013年5月17日 (金)

ハノーバメッセ2013参加報告(その2)

 4月8日~12日にドイツ・ハノーバで開催されたハノーバメッセ2013に参加しました。ここでは展示会場、併設シンポジウムの中からマイクロテクノロジー関連で注目された展示をピックアップして報告します。

◆ Fraunhofer ENAS : MEMS可変フィルタ付赤外スペクトルセンサ

 Fraunhoferは幅広い分野に渡り多くの研究所で構成されています。ハノーバメッセでは機械、光学機器、マイクロデバイスを中心に10近い研究所が展示をしていました。その中でMEMSデバイスを主な開発テーマとするのがFraunhofer ENAS(Electro Nano System)です。本年度は昨年に引き続いてMEMS可変フィルタ付赤外スペクトルセンサを中心に展示されていました。2_2

                 MEMS可変フィルタ付赤外スペクトルセンサ

下図に可変フィルタの動作原理を示します。光透過性を持つ2枚の反射板を備え、間隔に対応した共振波長を持つ光だけが強められて外へ取り出されます。静電駆動により間隔を制御して透過光の波長を連続的に変えることができます。図中反射板のところ(Reflector)には反射、透過特性の向上のためにメタマテリアルが採用されました。受光素子にはボロメータ型の赤外線検出素子が用いられています。2

本素子は既に、InfraTec社(独)より販売されており、ガス分析、赤外光を用いた医療用成分分析など、スペクトル分析を必要とされる分野で実用化されています。

◆ Fraunhofer IZM : 自己発電搭載振動センサ

 Fraunhofer IZM(Reliability and Microintegration)は集積型電子デバイスの開発を中心とする研究機関です。ここではワイヤレスセンサネットワークシステム端末用としてセンサ、電子回路、無線、エネルギーハーベスタが集積化された自己発電搭載振動センサのPRがありました。

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                      自己発電搭載振動センサ

振動検出は圧電素子が用いられています。従来の振動センサは素子構造で決まる共振周波数付近の振動のみを検出していまして、広帯域の振動を検出するのが困難でしたが、ここでは共振周波数の異なる素子を多段に集積化することによって、広帯域な振動センサを実現しました。試作品では7段積層により300Hzから700Hzまでの振動を検出できる素子をPRしていました。

◆ CiS (独): マイクロデバイスで開発から少量量産までサポート

Fraunhoferはマイクロデバイスの開発から量産までサポートできる体制整備されていますが、ドイツではFraunhofer以外にも同様な狙いで活動している機関があり、CiSはその一つです。
CiSは1990年設立の非営利団体で6インチのMEMS試作ラインを保有し、共同開発から少量量産までをサポートします。特徴として「小回りの利く対応」「少量だが特徴ある性能を保有する」デバイスを指向し、中小企業でもフレキシブルに対応するとのことでした。

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                   開発例:圧力、温度、流量集積型センサ

 開発例として圧力、温度、流量集積型センサ、カンチレバー型触覚センサ、光スペクトルセンサ、放射線センサ、光スキャナー、血中酸素濃度センサ等があり、大型加速器で著名な欧州の研究機関CERNから受注して納入した実績もPRしていました。

◆ Institute of Micro & Information Technologies (HSG-IMIT) (独)

 HSG-IMITもマイクロデバイスの開発から量産までサポートする機関で1988年に設立されました。やはりパッケージングまで含めたMEMS試作ラインを有し、MEMS全分野に対応します。特徴として車載、医療、産業機器等、高付加価値型MEMSを志向していること、ある特定の分野、例えば慣性センサであれば、センサ素子、信号処理から応用システムまでサポートすることがあげられます。
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                血液分析用マイクロフルイディクスシステム

◆ Hekiatek (独):有機薄膜太陽電池

 有機薄膜太陽電池は、低コスト太陽電池として期待され、現在は特に変換効率の向上で目覚ましい進展が見られます。使用する材料、プロセスによって大きく塗布型と蒸着型の二つに分類され、Heliatek社は蒸着型を開発しています。この度Heliatekは変換効率12.0%(第3者機関評価)と世界最高効率を達成しました。
Heliateckでは有機太陽電池の基本構造として、吸収波長域の異なる太陽電池を積層して成るタンデム型を開発しています。高効率化に成功した要因として光吸収性とキャリア輸送性に優れる有機半導体材料をUlm大学と共同で開発できたこと、生成したキャリアを効率良く取り出すためのブロッキング層等を含む多層構造を開発できたことがあげられます。

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                     蒸着方式有機薄膜太陽電池

 有機系太陽電池の課題としては耐久性に劣るため実用化の道が拓けないということがあげられます。Heliatekの担当者によると耐久性も目途が立っているとのことでしたが、具体的にどの用途から発売していくかは未定でした。

◆ Advanced Display Technologies (スイス・独):ドロップレット型ディスプレイ

 ADT社はエレクトロウェッティング(電圧印可による疎水性、親水性制御)を応用したディスプレイを開発しました。マイクロキャビティ内で着色された液滴を高速に移動させることで画素として作用させます。1_6

                 電圧印可により3種の液滴を移動
 
 特徴として低消費電力、白(電圧印可無し)が鮮明、フレキシブル/光透過型可能、屋外での視認性が良い等の特徴があります。ピクセルサイズは0.3~10mmで屋外の大型サインのような用途に適していると考えられます。

◆ i Light (スイス):街灯省エネ制御ワイヤレスセンサネットワークシステム

 最近ワイヤレスセンサネットワークシステムを用いた工場のメンテナンスシステムやビルの省エネシステムの開発が盛んに行われています。iLightは街灯の省エネ及び通行の安全性向上のためのシステムを開発しました。一つ一つの街灯にワイヤレスセンサ端末が設置され、自動車や歩行者の通行状況、周辺の明るさから、安全かつ省エネのための最適な照明を行おうとするものです。
 センサとして超高感度画像センサ(CCD)、人体検知センサ、明るさセンサが搭載され、特に画像センサは、NASAが宇宙観測用に開発したCCDを用いており、わずか1ルクスの明るさでも対象物を捉えることができます。また街灯同士が通信して、自動車又は歩行者の進行に合わせて照明をコントロールすることができます。
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                                                      阪井 淳

 

 

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2013年5月16日 (木)

H24年度国内外技術動向調査まとまる

マイクロマシンセンターでは、国内外の最新かつ詳細なマイクロマシン・MEMSそして近年活発化しているナノ関連の研究開発の情報を収集・分析し、その技術動向を把握することを目的に、各年度MEMSの分野で代表的な国際会議を定点観測して、分野別動向調査報告書にまとめています。H24年度は“MEMS2013”の調査を行いました。
 “MEMS2013”はIEEEのMEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 技術に関する国際会議で、今年は26回目となります。2013年1月20~24日の日程で、台北で開催されました。参加者数は事前登録者559名で、前回の778名より3割近く減少しました。一方、投稿件数は776件で、前回の978件を約2割下回りました。採択された論文数は全体で306件(前回346件)、採択率は39%(前回35%)という結果でした。国別では米国が94件でトップ、日本が92件と肉迫しています。日本を除くアジア諸国は台湾25件、中国14件、シンガポール13件、韓国12件と堅調に推移しています。欧州ではフランス8件、ドイツ7件、スウェーデン6件など、例年と同程度の件数で推移しています。
 報告書では、MEMS2013全体の概要と、各論文を基礎分野、応用分野合わせて18の分野に分類し、注目すべき論文をトピックスとして紹介しています。技術分野ごとにみると、流体関連が53件ともっとも多く、次いで物質の状態及び環境のセンサ関連が47件、材料関係が43件という状況です。報告内容の詳細は、H24年度分野別調査報告書冊子のほか、マイクロマシンセンターのホームページ内の賛助会員のページにてご覧になることができます。
(一般財団法人マイクロマシンセンター 調査研究・標準部 出井敏夫)

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発展を続ける中国・MEMS関連研究所の訪問報告

第19回「国際マイクロマシンサミット」が4月22日-24日の日程で中国・上海市で開催され、その様子をご紹介した「MEMSの波ブログによる報告」は先日行いました。このマイクロマシンサミット参加の後に、MEMSの世界的な研究成果を継続的に出されている、上海と北京の研究所を訪問しました。研究所の名前は、National Key Laboratory of Science and Technology (国家重点实验室)「国家重点科学技術研究所と訳せば良いのでしょうか?」と言う日本では産業技術総合研究所に対応するものと思われます。上海地区は南分室、北京地区は北分室となり、今回はこの2箇所を訪問しました。
上海市でのマイクロマシンサミットを終えてその翌日に、サミットのあった同市内中央部から上海虹橋空港のまでの途中に位置する場所にある研究所を訪問しました。周辺は都市部ですが、一旦門を入ると比較的静かな、古いレンガの建物が残る研究所ですが、MEMS関連の研究所は近代的な高層ビルです。訪問先はDirectorのXinxin Li先生です。私はMEMS共振器を使ったセンサーの研究者でしたので、先生の論文は沢山読んでいます。またLi先生は東北大学の客員研究員もされ、日本の大学や産総研とのネットワークも強い先生です。Li先生は早くから、シリコンカンチレバーにp型拡散抵抗製ピエゾ抵抗素子を組み込んで、そのピエゾ抵抗素子のせん断応力の検出によって共振器の面内振動を使うことで感度を上げる研究をされ、その分野での第一人者です。最近では、センサー技術や加工技術を広げ、RF回路とセンサーを集積したサイコロ型のワイヤレスセンサーを作成して応用を探索、更にエナージーハーベスティングのデバイスを作成されています。これらのデバイスは高精度のイオン注入装置、ホトリソ技術、メタルメッキ技術に加えて相当熟練した回路技術が必要です。特にLin先生の出身、および教授をされている上海大学の講座は電子工学と言うこともあって回路技術の検討も大きな研究項目であるとのことです。この先生のオフィスには実験装置はないとのことです。オフィスビルからシャトルバスで約40分程度走った場所に、実験研究施設がありその中も見学させて頂きました。ウェハーサイズは4インチと大きくはないのですが、基礎研究から有る程度少量生産が可能な非常に沢山の装置がありました。イオン注入装置やレーダアブレーション成膜装置、更に様々なウェットエッチング槽、メッキ装置、ウェハー研磨装置と、MEMSに加えて電子デバイスの開発も可能な施設です。ウェハー接合やパーケージも可能です。また非常に特徴的なのは、同じ研究施設で企業からの派遣技術者が少量生産をしていることです。中国では研究所の施設を用いての少量生産が可能な制度が揃っているとのことです。

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写真 1 上海地区の研究所の雰囲気

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写真 2 National Key Laboratory of Science and Technology入口

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写真 3 Xinxin Li先生

次に北京の研究所を訪問しました。訪問先はDirectorのShanhong Xia先生です。この研究室の組織の名前は同じく国家重点科学技術研究所(北分室)ですが、中国科学院電子研究所(电子学研究所)の中にあります。 場所は北京首都国際空港からタクシーで約1時間、北京中心部から北西に20km位の場所で、中关村(中関村)と言うアカデミア地区にあります。この中关村には清華大学や北京大学を始め数多くの大学や、国立の研究所があります。この中关村の中心は中关村电子一条街であって、北京市海淀区の白石橋路・海淀路・中関村路一帯を指し,電子・コンピューター関係のメーカー・販売店が集中し中国のシリコンバレーと呼ばれています。またこの中心には日本のアキハバラと呼ばれる電気製品の巨大デパート街があることでも良く知られているようです。Xia先生の研究室のある中国科学院電子研究所は北に清華大学、西に北京大学、南に電子・IT地区と最良の場所と言えます。

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写真 4 中国のアキハバラ 中关村电子一条街

Xia先生の研究室は、センサーやトランスジューサを中心とした研究が中心です。先生の研究室の中国語表記は传感技术国家重点实验室ですが、この「传感」はセンシングの意味で、国立の研究所の研究室の名前にセンシングを冠している、即ち中国ではMEMS=センサーと言った感覚で、センサーシステムの研究に熱心であることが判ります。Xia先生の研究室はややバイオチップやマイクロTASに重点化しています。研究室の廊下にパネルや試作サンプルが多数展示してありましたが、血液分析チップ、バイオ診断チップ、マイクロ流路デバイス、ガスセンサー、イオンセンサー、表面プラズモンセンサー等のバイオ系、更に圧力センサー、加速度センサー等が並んでいました。実験施設は歩いて2分の隣接するビルにありましたが、上海地区に比較すると場所や建物の余裕、研究内容から言ってより研究志向の設備が多いものの、規模としてはクリーンルームの広さは500平米と世界水準を凌ぐものです。上海もそうですが、利用者は大学からの利用(学生)、研究所のスタッフや研究員、企業からの研究員と、私が入った時も15名程度の研究者が実験・試作されていたので稼働率はかなり高いと思われます。
別のブログにもご紹介致しましたが、蘇州ナノポリスでは大型研究施設が建設され、今後は本格的なナノテク・MEMS産業が興りそうです。しかし本当に強いのは上海地区や北京地区の、このような重点技術研究所で出た成果をベンチャーや専門企業が、同じ重点科学技術研究所で少量生産して、直ちに事業化する仕組みと制度ではないかと思います。事実最近のMEMS産業調査では既に約15社の中国発MEMSベンチャーが出来ていると聞いています。今回の中国出張で印象深かったことに、夕刻の道路の大渋滞の中でどんな小さな隙間でも見逃さず進んで行くドライバーの姿を見て、個人レベルと国家レベルでの両方の側面から大変なMEMS産業勃興エネルギーを感じました。
なお、今回の中国の研究所訪問には産総研の集積マイクロシステム研究センターの研究者の方々からご紹介を受けたもので、MEMS分野では中国との連携に(人材交流を含めて)長い歴史があります。今までのアカデミア中心から、特に産業界から実りある連携が必要であると感じました。来年のマイクロマシンサミットはブラジル・サンパウロ地区で開催予定です。成長を続けるこれらの国々との連携が重要であることは言うまでもないことです。
(MEMS協議会 三原 孝士)
 

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写真 5 中国科学院電子研究所

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写真 6 廊下に展示してあるMEMS群、一部はスマートホンに入っている。

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写真 7 (左から2番目の)Shanhong Xia先生と一緒に

 

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多大な成果を輩出したBEANSプロジェクトの活動状況を取りまとめました


 2008年から5年間に亘り、MEMS技術とナノテクノロジー、バイオテクノロジー等の異分野技術を融合させ革新的次世代デバイス(BEANS)の創出に必要な基盤的プロセス技術群を開発し、次なるイノベーションのためのプラットフォームを確立することを目指し遂行された異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト(BEANSプロジェクト)の活動状況を取りまとめ、「BEANSプロジェクト 活動のまとめ」としてHPにアップしました。

    

 BEANSプロジェクト は最終目標をほぼ達成し、多数の論文・学会発表、100件を超える特許出願、1500件もの知識情報のDB化等々、輝かしい成果を輩出し、同時にこれらの成果を普及する新たな仕組みも整えております。今後の新たなマイクロナノビジネス創出を力強くバックアップしていくものと大いに期待されます。
               青柳桂一(BEANS技術研究センター@MMC)

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2013年5月15日 (水)

第19回「国際マイクロマシンサミット(2013年上海)」が開催される。


第19回「国際マイクロマシンサミット」が4月22日-24日の日程で中国・上海市で開催されましたので報告致します。マイクロマシンサミットは、1995年にマイクロマシンセンターが世界に呼びかけて提案、第1回を実施しその後継続的に年に1回、世界各国・地域の代表団が集まり、マイクロマシン/マイクロナノテクノロジーに関する課題などについて意見交換する場です。通常の学会と異なるのは、各国・地域が代表団を組織して集まるというところであり、質の高い、まとまった講演と、影響力のある人々と意見交換できることが特徴となっています。昨年2012年度は台湾・新竹にて開催されたことは既にMEMSの波ブログにて報告しました。
今回(第19回)は中国(中華人民共和国)の上海市で開催され、サミットの会議は4月22、23日、上海地区の研究施設の訪問は4月24日でした。今回のオーガナイザー(General Chair)は中国・清華大学(Tsinghua University)のZhaoying Zhou教授、また上海地区での実際の運営は上海大学、「Institute of NanoMicroEnergy」のZhiyu (Jerry) Hu教授でした。上海市(Shanghai City)は2400万人の人口を抱える中国最大の都市で、同国の商業・金融・工業・交通などの中心の一つです。またMEMSの研究開発では実績のある、上海大学のShanghai Institute of Microsystem and Information Technology(中国科学技術院南)や上海交通大学のResearch Institute of Micro/Nano Science and Technologyがあり、最近では2012年9月にThe 3rd Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS が開催され、日本、中国、韓国のMEMS関係者にて合同でコンファレンスが開催されるなど、マイクロナノ領域でも先進的な地域で、日本のMEMS研究者とも交流が深い場所です。

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写真 1 マイクロマシンサミットが開催されたHongta Hotel

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写真 2 マイクロマシンサミットの受付風景

今年は下山勲団長の都合がつかず、私が単身にて参加致しました。上海は長江河口南岸に近代的な高層ビルが林立した都市ですが、サミットの会場は、この上海市の中心部を流れるHuangpu黄浦江(こうほこう)の南にある、美しい大理石のロビーや豪華な会議場を持つ高級ホテルHongta Hotel Shanghai(上海瑞吉红塔大酒店)でした。
 今回のサミットの全体テーマはスマートシティ(Smart City, Better life-Powered by Micro-/nano-technology)です。参加者は17の地域から49人のデレゲイトでした。各国の概要報告を行うカントリーレビューは初日22日の午前中、22日の午後はセッションテーマMEMS application として7件、同日の夕刻は7人のパネラーによるパネルディスカッションとバンクエット、23日の午前中は、セッションテーマMEMS application として6件の講演、休憩を挟んでセッションテーマCurrent Status and Future Prospectとして6件、23日の午後はセッションテーマMarketing: Post, Today and Future として6件の講演、同日の夕刻は6人のパネラーによる第2回目のパネルディスカッション、その後はHuangpu黄浦江(こうほこう)の夜景を楽しむ船ツアでした。

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写真 3 オーガナイザーの清華大学Zhaoying Zhou教授のご挨拶

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写真 4 運営をされた上海大学Zhiyu (Jerry) Hu教授のご挨拶

最初にカントリーレビューの報告を致します。幾つかの印象に残った国(地域)からの発表をあげます。ベネルクス三国で、オランダではナノマイクロホットスポットとして、ツエンテ大学のEnschdeとHTCEのEindhoven,およびLeuvenを挙げていました。オランダは10年強で約100社のベンチャーが、この地方を中心に巣立ったとのことです。最先端設備を持つOpen Innovation研究施設が中心になっていますが、Leuvenでは、新たにKU Leuven(カソリックLeuven大学)が500名の研究者を抱える研究施設 LENA Core-lab facility を、約50億円投資し、2014年から運用を開始させるとのことです。またPhilipsがナノマイクロ領域で特に磁性技術とMEMSを組み合わせて、医療を中心に新規な応用を探す姿勢の紹介がありました。STマイクロを抱えるイタリアでもMEMSの産業化に加えて高齢化都市国家にロボット技術を如何に浸透させるかの紹介がありました。イタリアは日本と同様に高齢化、高寿命の国家で、道路や広場へ掃除ロボットを導入することから開始しています。

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写真 5 サミット会場の様子

ドイツからは、EPOSS(European Technology platform on Smart System integration)の一環として進めている集積化センサーMEMSや、350のドイツの南部の中小企業が連携し、Open Innovationで成功しているMicroTEC Sudwestが印象的でした。
後で、述べますが来年のサミットはブラジルで開催されます。発展著しいブラジルを中心としたラテンアメリカの発表も印象的です。ラテンアメリカは資源、農業が豊富であり、かつ環境計測や健康医療にも大きな関心があります。その全てに於いてMEMSが大きなチャンスを持っています。まだラテンアメリカはMEMSというより半導体を含むマイクロシステムの研究や産業を推進しており、半導体&MEMSでは22の設計ハウス、8つの製造施設、26の研究所があります。
最近は経済発展の著しい国家がMEMSを新規産業への期待を込めて研究開発を加速させているので、サミットへの積極的な参加を呼びかけています。その一つがロシアです。今回ロシアMEMS協会のDenis Urmanov団長が状況を紹介して下さりました。ロシアのMEMS産業クラスターはSt.Petersburg、MoscowとZelenograd、南部のKurskであり、MEMSは研究と産業化を海外の研究所との連携をしながら行っています。特にMoscow に近いZelenogradでは、大学や国立研究所が研究施設を充実させています。豊富なエネルギー資源を背景に充実を図っている様子で、ロシアとの連携は大きなビジネスチャンスがあると感じられました。
ECからの発表は、ECが支援するMEMS関係の投資は規模が大きいものの方向が少し変わってきていました。2008年から2010年は年間100億円程度がデバイス開発に投資され、ここ2年はリーマンショックの影響で減額されたものの、2013年から”Smart System”への投資として年間80億円に戻っています。更に2014年から6年間に渡ってEC予算の8%である10兆円を投資する先も検討中で、その中には集積化スマートシステムや、大面積電子デバイス(有機半導体等)が含まれているようです。

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写真 6 初日ディナーでの上海音楽の演奏会

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写真 7 イタリア団員による熱唱

シンガポールでは、海外の研究開発の受託を進めていますが、益々充実しているようです。スイスではEPFLに80億円かけて600人規模の新たな研究施設を建設中です。米国では大きな研究テーマとして、ナノテク、ロボット、ワイヤレスインフラ、脳機能、ナノ製造、IT医療等が大きな予算を集めているとの報告でした。開催国の中国では、上海に代表される都市部に人口が集中し、高層ビル(商用とマンション)が林立しています。統計データでは1980年から30年間で約4億人が都市部に移り住んだとのことです。そのエネルギーや情報の流通や管理、更に都市部への人口集中による課題、大気汚染や道路渋滞、水資源汚染等をセンサーネットワークで解決しないといけないとの話題提供がありました。
 カントリーレビュー以外の個別セッションでは更に細かい内容報告や技術の説明がありましたが詳細は割愛します。また今回は2回のパネルディスカッションがありました。22日のパネル討論は「Smart City, Better Life」でドイツの団長 Thomas Gessner教授がチェアでした。各国での取り組みをデバイスと応用の2つの側面で紹介することで、議論が深まります。中国からは一人っ子政策によって、豊かになった国民が、子供を如何に生んで、如何に育てるかに多くの資金を割くようになるだろうとの意見、シンガポールでは狭い国家の環境を如何に守るか?米国では医療と健康モニタが本格化、イタリアではロボットが市民権得るための方法等、お国柄でそれぞれ特徴がありました。日本の状況を求められた時は、日本は地震復興や節電に加えて社会インフラのモニタが問題になっている。全てに於いてMEMSを含むセンサーセットワークの重要性が増してきており、社会もその流れを認識してきていると答えてあります。また23日のパネル討論は「Merging Boundaries among Macro-/Micro/Nano-world」で米国の団長 Yogesh Gianchandani教授がチェアです。このセッションは比較的技術的な内容が多く、多くの方が質問に立ちました。私も下山団長の代理でパネラーになりましたが、TIAやMNOICを使ったオープンイノベーションに対する質問も幾つかあり、日本も変わってきたという印象を受けたようです。またトップダウンとボトムアップの技術はコスト、性能、生産性等を含めての最適化が重要であって、多くの技術の品揃えが必要であるとの認識を多くの研究者が持っています。

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写真 8 黄浦江のクルーズと東方明珠電視塔

 サミットの2日間の会期が終わったあと、技術ツアがありました。見学先はランチの場所であった上海交通博物館を含めて6箇所と大変密度の濃いものでしたが、大きくは(1)Jiading Urban)上海嘉定新城と言う人口都市、(2)Tongji大学の世界最大の風洞施設、(3)蘇州工業パーク、(4)蘇州ナノポリスです。このうち(1)(3)(4)は計画的に作られた工業団地です。中国では膨大な土地に道路、鉄道、工業団地、必要な生活基盤を最初に揃えて、その後で企業等の誘致を行う。この為、最初の誘致のための立派な事務所があって、今も博物館のような形で残っています。日本でも馴染みが深い(3)の蘇州工業パークは正確には、中国-シンガポール蘇州工業園区(ちゅうごくシンガポールそしゅうこうぎょうえんく、China-Singapore Suzhou Industrial Park)は通常蘇州工業園区(Suzhou Industrial Park, SIP)と呼ばれ1994年に中国とシンガポール政府が作った工業都市です。今ではハイテク企業が活躍しており、2012年には既に100のナノテク企業や、20以上の大学等の研究機関が設立されています。(1)の上海嘉定新城は日本のつくば学園都市に近く、大学や研究所を中心に作った都市です。(4)の蘇州ナノポリスは(3)の未開拓の森林(と言っても平地)を切り開いて1000億円の投資で作られたナノテク専門の研究施設、及びハイテク企業工業団地(MEMS、センサー、ロボット関係を含む)です。現在、第一期の工事としてサイエンスパーク全体の25%に当たる1.1km平方が工事中で、その中に5000平米の広さを持つ6インチのクリーンルームが建設中であり今年中には完成すると言うことです。投資規模は2010年から開始して5年間で約1000億円とのことですが、初期の投資は建設費に相当費やされると考えられます。既にオランダを始め、海外の研究機関との連携を進めているとのことです。
 展示会場には、幾つかのMEMSデバイスが展示されていました。MEMSの代表格と言える圧力センサー、マイクロ流路から無線センサーシステム、またナノテク関連の材料等も展示されています。
最後に来年2014年のマイクロマシンサミットは、ほぼ同じ時期にブラジル・サンパウロ周辺で開催されることがChief Delegate会議にて決定されました。 今回は日本からの参加は少なかったのですが、世界のマイクロナノ領域の政策・産業・技術マップが鳥瞰出来る貴重な2日間です。皆様の御参加を期待しています。(MEMS協議会 三原 孝士)

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写真 9 蘇州ナノポリスのジオラマ

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写真 10 蘇州ナノポリスでの建設中のクリーンルーム

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写真 11 蘇州ナノポリス内の展示室

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2013年5月14日 (火)

ナノ・マイクロビジネス展開催準備進む <その1>

 毎年7月に日本で開かれる世界最大規模のMEMS関連イベントである「マイクロナノ」は、「ナノ・マイクロ ビジネス展」と改称し、内容もリニューアルし、7月3日(水)から5日(金)まで、東京ビッグサイトで開催します。
 ナノ・マイクロ分野における微細加工技術、デバイス、ソリューションが集積する専門見本市として改めて位置付け、本分野の活発なビジネスマッチングも支援してまいります。併せて、未来ビジネスの核となる先端技術の紹介や、ナノ・マイクロ分野の産学連携の場としてますます内容の充実を図ります。
 開催準備は着々と進んでおり、順次お知らせしていきます。
 
 第1回は初日7月3日の午後に開催する「国際マイクロマシンナノテクシンポジウム」の内容をご紹介します。第19回を迎える本シンポジウムは、毎回テーマを設定して国内外の専門家にホットなお話を伺っています。今回は「社会課題対応型センサーシステム(インフラ・医療・農業)の現状と未来」というテーマのもと、次の内容となっています。
 
特別講演 社会を変えるセンサーネットワークシステム
13:40-
14:10 
 Smart Autonomous Systems Enabled by Zero Power Technologies - the Guardian Angels for a Smarter Life vision
 Nanolab, EPFL, Switzerland 教授 Adrian M. Ionescu
 EC先導研究の紹介。超低消費電力MEMSとエネルギーハーベスティングによりZeroパワーで人間のヘルス監視を行うシステムを産官学連携で研究開発。
14:10-
14:25
社会を変えるセンサーネットワークシステムの未来
東京大学大学院情報理工学系研究科教授 下山 勲
社会課題対応型センサーネットワークシステムについて報告。MEMS専門家でありセンサーによるベンチャー企業を起こしている
 セッション1 社会インフラ対応センサーシステムの現状と未来
14:25-
14:50
社会インフラ(橋・道路等)に於けるメンテナンスの重要性とセンサーへの期待
東京大学・社会基盤学専攻 教授 藤野 陽三
大型建造物の信頼性・耐久性の専門家。インフラのメンテナンスの重要性につき研究しており、センサーによるモニタリングの必要性につき報告する。
14:50-
15:10
Sensor Cluster for Public Infrastructure
Berkeley Sensor & Actuator Center,  University of California, Berkeley USA 教授 Albert P. Pisano
世界的に著名なMEMSの専門家。高温・高湿な地熱環境下でのMEMSセンサーの応用可能性について報告する。
セッション2 医療・ヘルスケア対応センサーシステムの現状と未来
15:10-
15:35
24時間血行動態モニタリングシステム: 臨床的有用性と今後の展望
自治医科大学 内科学講座循環器内科学部門 主任教授 苅尾 七臣
バイタルセンサー等による血圧等の24時間モニタリングの実現性と今後の展望について報告
15:35-
16:00
MEMS and Sensors: Some Expected Trends in Medical and Quality-of-life Applications
Silicon Components Division, CEA-Leti フランス Deputy VP for Microsystems and 3D Integration Dr. André ROUZAUD
MEMSセンサーの環境応用としてケミカル・バイオセンサーの動向について報告
セッション3 農畜産業に於けるセンサーネットワークの現状と未来
16:00-
16:20
Sensors and sensor networks in high-tech horticulture(plant factory) in the Netherlands
オランダ大使館・科学技術参事官 Paul op den Brouw
植物工場を世界で最も先端的に進めているオランダの状況を報告
16:20-
16:40
畜産業に於ける大規模センサーネットワークの有用性とその展望
産総研・集積マイクロシステム研究センター 副センター長 伊藤 寿浩
鳥インフルエンザの発生で動物の行動モニタリングが注目されている。家畜・鶏にMEMSセンサーをつけたモニタリングの実用性につき報告

 当日多数の皆様のご来場をお待ち申し上げます。

(普及促進部 内田)

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2013年5月 1日 (水)

今年もクールビズを励行します(5月1日~10月末日)


 一般財団法人マイクロマシンセンター及び技術研究組合NMEMS技術研究機構は、地球温暖化防止及びオフィス省エネの観点から、今年も夏季軽装(クールビズ)を励行いたします。期間は5月1日~10月末日になります。皆さまにもご理解・ご協力いただきますようお願い申し上げます。




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