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2013年3月12日 (火)

2013年 3月 MNOICの最近の状況

2011年の4月に開設したMNOICも、ほぼ2年が経過しました。この機会に最近の状況を整理してご報告をしたいと思います。現在ご利用頂いている法人は、年間利用をご利用頂いている7法人、ビジター利用が11法人、アカメディア利用が1法人、研究委託のご利用が6法人です。また最近の傾向として、昨年度は1件であった研究委託が大幅に増えたことです。また研究支援の多い装置としては、X-CT評価、分析SEM、測長SEM、接合装置、ステルスダイサー、シリコン深堀ドライエッチ、マスクレス露光装置、i線ステッパ、ホトリソ関連装置等です。なお、このような研究支援による装置のご利用は、まだ特定の装置を使った場合に限定されています。MEMSデバイスの研究やプロセス開発にMNOICの研究支援を使って頂ければ、多くの装置を平準化してご利用頂けると思います。それにはMNOICの研究支援で得た成果をアピールする、即ち実績を出していくことが重要と考えています。
既にブログでご報告した内容ではありますが、最近のトピックスをご紹介します。
(1)MNOIC実習セミナー
MNOICの活動の中でも、特に人材育成には力をいれ、これまでにUMEMSME・MNOICセミナーや装置セミナー、国際ワークショップ等を実施してまいりました。MNOIC事業も支援サービスを開始して2年足らずが経過し、多数の装置を用いた研究支援が可能になって来ましたので、今年度からMNOICで利用可能な最先端装置を用いた「実習形式のセミナー」を開催することに致しました。既にブログでもご紹介していますが、今回はその第一弾として、1月22日-23日に1.5日のコースでMNOIC開発センターにて、MEMSの微細3次元内部構造を観察して三次元データを取得可能なX線CT(コンピュータトモグラフィー)装置を用いた実習を実施致しました。学習・実習の内容としましては、
 X-CT(米国Xradia社産業用X線CT “MicroXCT-400”)の原理・利用方法を販売元であるキヤノンマーケティングジャパン㈱からご紹介
 世界最先端の評価および三次元再構成による解析事例を東京大学・大竹准教授からご講演
 X-CTの操作方法の実習(クリーンルームにて実施)
 X-CTを用いたTSV(シリコン貫通配線基板)サンプルの計測実習
 測定データの解析、三次元データの再構成の実習(予め取得したデータを使った解析)
で、中身の濃い実習になったと自負しています。参加者数も予想をはるかに超える8名でした。またMNOICの年間利用法人には1名まで無料で参加できる特権もあります。
 MNOICではこのような実質的な実習講座を、来年度(2013年度)は2回開催を予定しています。その中の候補テーマとしては、1)常温、室温ウェハー接合技術、2)MemsONE設計ツールとナノインプリント装置を用いたマイクロモールド実習等です。皆様の積極的な御参加を期待しています。

M1
写真 1 X-CTを用いたMNOIC実習セミナー

(2)国際ワークショップ
MNOICがその役割の一旦を担っているTIA、N-MEMS領域では、集積マイクロシステム研究センターが母体となり、研究開発組合やMNOICユーザを含めると約100名規模の(国内最大級の規模を持つ)関連組織がNMEMSイノベーション棟に集結しており、海外からも沢山のお客様が集まります。特にMEMSの分野では海外の研究や産業化が活発ですので、このような機会は海外の研究者やビジネスパーソンとの情報交換を行うチャンスでもあります。そのような機会を捉えて国際ワークショップを開催し、最新のグローバルな情報交換を行える環境にあります。2012年度は昨年7月のマイクロマシンセンターの海外アフィリエイトとの国際ワークショップ、昨年の11月にオランダのHTCE(ハイテクキャンパスアインフォーヘン)との国際ワークショップに加えて、今年度3回目となるカナダ、アルバータ州との交流会を行いました。このようなイベントが開催できるのもオープンイノベーションの特徴です。是非皆様もMNOICのようなつくばの研究拠点をご利用頂き、このような国際的な交流の場で情報交換されては如何でしょうか。
M2_2
写真 2 国際WSの様子

(3)ナノマイクロビジネス展
世界最大規模のMEMS領域の展示会である、マイクロマシン展(総合イベントマイクロナノ)が2013年度から「ナノマイクロビジネス展」と名称を変えての開催となります。2013年度は7月3日から5日まで東京ビッグサイトで開催されます。MNOICでもこの機会にセミナーを開催予定です。さて「ナノマイクロビジネス展」への改名の意図ですが、まずナノテクが基礎研究や応用研究から、いよいよビジネスへの展開が必要な時期にきています。更にMEMSやセンサーも事業化に向けて、益々のビジネスマッチングが必要です。このような思いを込めて、MEMSをナノテクまで広げ、更にビジネスを志向した展示会、これが「ナノマイクロビジネス展」です。皆様のご出展や、展示会、各種イベントへのご参加をお願い致します。(MEMS協議会 三原 孝士)

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