MEMSの波（ブログニュース）

仙台マイクロナノ国際フォーラム2012でのMNOIC展示

2012年11月19日から20日に仙台市、サンプラザホテルで開催された「仙台マイクロナノ国際フォーラム2012」にてMNOICの展示を行いました。皆さんご存知のように東北大学・江刺研究室はMEMSの研究開発に長い経験と実績を残され、日本の全国の企業が研究員を派遣して知見を蓄え、日本のMEMS産業の基礎を築かれました。更に東北大学・戸津先生を中心に展開されているMEMSコインランドリーでは、大変自由度の高い研究施設を用いて、企業からの研究者自身がMEMSの研究開発と試作が出来ます。また仙台市にはMEMS技術を含む仙台地域に蓄積された知的資源を最大限に活かし、基盤技術の確立から製品化技術全般まで付加価値の高いものづくりを支援する、産学官の関係者によって設立されたネットワークである「MEMSパークコンソーシアム（MEMSPC）」があります。このように仙台市はMEMSを含むマイクロナノ分野の重点推進地域になっています。その仙台市で開催された、この大きなマイクロナノ関連イベントにおいて、大口径MEMSの研究開発を支援するMNOICをアピール出来たことは大変重要と思います。

写真　１　会場となった仙台市、サンプラザ仙台ホテル

写真　２　不思議な屋根を持つ自動販売機

11/19（月）は東北大学マイクロシステム融合研究開発センターシンポジウム2012が開催され、11/20（火）は日独マイクロナノ応用技術シンポジウム2012、更にその夕刻には、MEMSPCと産総研グリーンプロセスインキュベーションコンソーシアムとの特別セミナーが開催されました。また技術展示はこの２日間に渡って開催されました。

写真　３　シンポジウムでの江刺先生のご講演

写真　４　展示会場でのMNOIC展示

写真　５　展示会場の全景

写真　６　江刺先生（中央）とMEMSコアの本間社長（左）

写真　７　ドイツ・フランフォーファ研究所・ENASのThomas Gessener教授と、日本での研究分室のスタッフの皆様

展示会場では、沢山の方々とお会いすることができました。写真６は江刺先生、MEMSファンドリーを経営されているMEMSコアの本間社長（MEMSコアのファンドリビジネスは大変良好で、多くの引き合いがあるとのことでした）、また東北大学の桑野先生、田中先生、小野先生、仙台市・経済局の方々、MEMSPCの蛸島様などなど・・大変強く頼もしいネットワークがあることに実感致しました。この場を借りて皆様に感謝致します。また写真　７は東北大学・江刺先生と連携されているドイツ・フランフォーファのENASのThomas Gessener教授の日本での研究分室のスタッフです。このように国境を超えた取り組みがされており、将来MNOICにもこのような国際組織ができて欲しい、との願いから写真を載せさせて頂きました。
シンポジウムの翌日は技術ツアがあり、MEMSコインランドリーのある東北大学・西澤潤一記念研究センターを訪問致しました。戸津先生の説明のあと、２班に別れてクリーン着に着替えて研究施設を見学と、仙台MEMSショールームの見学を行いました。MEMSコインランドリー研究施設のルーツは東北地方のパワー半導体工場にあるとのことで、今もその名残がありました。日本に限らず海外でも、（今では設備もかなり古い印象を受けますが）これほどの整備された研究施設を継続的に運営できている大学の研究室は、極めて少ないと思います。また世界中の研究者から集められたMEMSサンプルがある、仙台MEMSショールームは「ここに来ればMEMSの全てが分かる」と言える素晴らしいものです。戸津先生とスタッフの皆さんに見学会のあと情報交換もさせて頂きました。重ねて感謝したいと思います。MNOICも東北大学・MEMSコインランドリー、更に京都大学を中心としたナノファブとの連携と言ったネットワークを更に強化したいと思っています。（MEMS協議会　MNOIC研究企画　三原孝士）

写真　８　MEMSコインランドリーでの戸津先生の説明

写真　９　仙台MEMSショールーム