MEMSの波（ブログニュース）

第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム｣シンポジウムにてMNOICの展示

電気学会センサ・ マイクロマシン部門（E部門）がその部門大会として主催する第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム｣シンポジウム（2012年10月22～24日、福岡県北九州市・北九州国際会議場および西日本総合展示場）にてMNOICの展示を行いました。MNOICはTIA（つくばイノベーションアリーナ）の集積マイクロシステム研究センターの最先端8/12インチMEMS研究施設を用いて技術開発の研究支援を行うもので、既にMEMS産業に参入している企業の（特に先端装置を用いた）支援から、研究・試作装置を持たない企業やベンチャーへの研究支援を通じて、MEMSの産業化に寄与できるものと考えています。
　「センサ・マイクロマシンと応用システム｣シンポジウムは電気学会センサ・ マイクロマシン部門（E部門）が主催ですが、4年前から機械学会主催「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催の「集積化MEMSシンポジウム」の3つのMEMS関連のシンポ＆研究会が同時開催することで日本最大のMEMS関連の最先端学術発表ができる場になっています。更に今年は、日本学術会議、更に日本材料学会、電子情報通信学会や実装学会等のMEMS関連研究会を含めて、日本のMEMSを中心としたマイクロナノ領域の研究者が一同に会するシンポジウムとなりました。このような企画で、今回は過去最高の600名強の参加者を集め、学術発表やポスター発表、企業展示等を併せて行うMEMS関連学術総合イベントになりました。すなわち全国の大学・研究所・企業の研究者が一同に集まる場になっています。
MNOICは展示コーナの1ブースに、ポスターと12インチシリコンウェハーおよびパンフレッドを置いてMNOICのご紹介をさせて頂きました。今回はシンポジウム企画のご配慮もあって、展示会場に沢山の方々が足を運ばれ、また出展者プレゼンテーションの内容を全ての会場に放送して頂きました。電気学会をはじめとする多くの学会で企業会員が減少傾向にあります。このようなシンポジウムに企業の研究者、技術者から更に企画、営業担当の方々が参加することがMEMS産業推進に必要なことであると実感しました。また是非長期的な視野で、学会活動にもご参加頂きたいと思います。
海外では専門企業がMEMSを含むマイクロナノデバイスの事業を行なっている場合が多く、また個々の大学の施設も十分ではないため、大学や産業界が共通に使う最先端のコモンラボがあり、その設備を用いて研究を行うのが一般的です。しかし、日本では企業内部に研究施設があり、また大学も研究室が装置を所有しているのが一般的です。MNOICは大学や公的な研究所のユーザの方にも使い易いように、アカデミアコースと言う研究支援のディスカウントも準備してあります。またMNOICが研究支援可能な研究施設は、集積マイクロシステム研究センターの中にあるため、常時80名以上の産官学連携研究者が集まっていますので、多くの有用で最先端の情報を共有することも可能です。ご利用をお待ちしております。（MEMS協議会　MNOIC研究企画部　三原　孝士）
ご参考：
日本電気学会・E部門：http://www2.iee.or.jp/ver2/smas/
日本機械学会・マイクロナノ工学専門会議：http://www.jsme.or.jp/mnm/
応用物理学会・集積化MEMS技術研究会：http://annex.jsap.or.jp/MEMS/

写真１．　センサーシンポの看板

写真２．　展示会場、多くの参加者があった。

写真３．　サービスの説明と、12インチウェハー展示

写真４．　熱心に聞いて頂いた学生の方々

写真５．　大盛況だったランプセッションによるパネルディスカッション