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2012年10月

2012年10月30日 (火)

IEC/TC47/SC47F meeting開催される(10月22~26日)

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 MEMSに関する国際規格はIEC/TC47傘下のSC47Fが担当していますが、SC47Fを含むTC47全体の会議が10月22日から26日まで韓国・済州島で開催されました。IECの会議は毎年秋に開催されますが(2012年はノルウェー)、今年はTC47は招致TCではなかったため、独自の会議が行われました。
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 SC47F/WG1会議には計17名(日本6、韓国8、中国1、ドイツ1、米国1)が出席、審議中の9件について各プロジェクトリーダからの修正案説明の後、意見交換が行われました。すでにFDISへの移行が決まっている熱膨張係数試験法(IEC26047-11、韓国提案)のほか、今回議論の結果、バルジ試験法(IEC62047-17、韓国提案)は3回目のCD回付、薄膜曲げ試験法(IEC62047-18、日本提案)はCDVからFDISに移行、電子コンパス(IEC-62047-19、日本提案)はCDVからFDISに移行、小型ジャイロ(IEC62047-20、日本提案)はCDからCDVに移行、ポアソン比試験法(IEC62047-21、韓国提案)はCDからCDVに移行、柔軟基板上の薄膜引張り試験法(IEC62047-22、韓国提案)はCDからCDVに移行、残留応力決定法(IEC62047-16、韓国提案)は2回目のCD回付、PDMS/ガラス接合強度試験法(IEC62047-15、韓国提案)は2回目のCD回付とすることで合意しました。
 また、現在SC47FはひとつのWG(ワーキンググループ)のみ設置していますが、韓国よりこれを3つのWG(用語等、材料、デバイス)に分割する案があらためて示され、引続き対応を検討することになりました。
次回会合は2013年6月に中国・広州で開催されるSC47F/WG1アドホック会議の予定です。

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2012年10月19日 (金)

第19回MEMS講習会「ワイヤレスセンサネットワークシステム及びデバイスの最前線」 大盛況の中で開催される

 2012年10月15日に東京大学山上会館で第19回MEMS講習会が開催されました。
今回の全体テーマは「ワイヤレスセンサネットワークシステム及びデバイスの最前線」昨今の環境・エネルギー問題の背景もあり、関心を持たれた方が多かったようで、参加人数は約100人と会場が満員になり、熱気溢れるMEMS講習会となりました。
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 内容はワイヤレスセンサネットワークシステムの応用としてヘルスケアモニタリングシステム、エネルギマネジメントシステム、スマートシティに関しての講演がありました。デバイスととして、ヘルスケア用絆創膏型集積デバイス、ワイヤレスシステム用MEMSセンサ、エネルギーハーベスティングに関する講演があり、各講演について活発な質疑応答がなされました。
 また休憩時間を活用してMEMSファンドリー企業のパネル展示説明会が行われ、多数の聴講者の方にその活動を知って頂きました。

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主な講演内容を以下に紹介します。

○【基調講演】「MEMS技術の最新動向」
東京大学 生産技研 マイクロナノメカトロニクス センター長 藤田 博之
 MEMSの開発の歴史、現行のMEMS関連の国家プロジェクト、最近の研究成果としてナノ構造の機械特性、熱物性の評価方法に関して講演して頂きました。

○【特別講演】「クラウド時代のヘルスケアモニタリングシステム構築と応用」
東京理科大学 イノベーション研究科 教授 板生 清
 ヘルスケアモニタリングに必要なセンサ、ウェアラブルなヘルケアモニタとしてヒューマンレコーダの概念紹介、快適環境制御にあたり人間の深部体温測定の重要性と、それと連動した省エネ空調制御、「万物は情報を発信する」という理念のもと、防災、防犯用の先進的統合センシング技術に関して講演して頂きました。

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○「絆創膏型ヘルスケアモニタリングシステムと集積型MEMSセンサ」
兵庫県立大学 回路システム工学部門 教授 前中 一介
 来たるべき高齢化社会、治療医療から予防医療への転換等を背景に、ネットワークにつながるウェアラブルヘルスケアモニタを考案、絆創膏を貼るような感覚で使うことができる集積型ヘルスケアモニタモジュール、その中に組込まれるMEMSセンサ、信号処理IC、エネルギーハーベスタについて講演して頂きました。

○「ワイヤレスセンサネットワークシステムは省エネの救世主か」
千葉工業大学 教授 藤本 淳
 センサネットワークをコンビニに設置して省エネの効果を検証。データの収集方によっても結果が大きく異なること他、検証方法の注意点についても講演して頂きました。

○「スマートセンサネットとM2Mクラウド」
 日立製作所 情報通信システム社 ワイヤレスインフォ統括本部長 木下 泰三
 大規模システムへワイヤレスセンサネットワークを適用する場合の技術課題と具体的な適用例、今後の方向性としてセンシング技術やビッグデータ処理技術が重要であることを講演頂きました。

○「ワイヤレスセンサネットワークのスマートシティへの応用」
 パナソニック 三輪 真
 様々な時代を経て、これからは安心安全な社会、持続可能な社会が主要トレンドになること、具体的なアプローチの例として、街全体の見守りネットワーク、街全体のエネルギマネジメントシステムに関し、講演頂きました。

○「エネルギーハーベスティングの最新技術動向」
 NTTデータ経営研究所 竹内 敬治
エネルギーハーベスタとして最近注目される振動発電デバイスと欧州の関連大型プロジェクトGuardian Angelsについて講演頂きました。

○「ワイヤレスネットワークシステムとエネルギーハーベスティング」
 EnOcean GmbH 板垣 一美
 同社の無線スイッチ、無線センサとそれらの応用例としてスマートホーム、農業システム、災害検出システム等に関し講演頂きました。

○「ワイヤレスネットワークシステムとMEMSセンサ省エネソリューションへの展開」
 オムロン 椎木 正和
 クリーンルームの省エネを目指したセンサネットワークシステム、その適用効果、そこで使用されたセンサデバイスについて講演頂きました。

本MEMS講習会について詳しく知りたい方には、当日の配布テキストを有償で頒布しておりますので、阪井または酒向までご連絡お願いいたします。

                                              阪井 淳

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MemsONE実習講座の関東第3・4回開催

 MemsONE実習講座の関東第3回基本操作コースを9月7日(金)に、関東第4回解析コースを10月12日(金)に開催しました。第4回の解析コースでは、受講者の要望により、ウェットエッチングシミュレータとMEMS回路シミュレータについて指導しました。両コースとも参加は1名でマンツーマンでの対応となり、受講者には大変良く理解できたと好評でした。参加者2名からの開催を基本としていますが、少しでも多くの方にMemsONEを活用いただくために、1名でも開催しました。
 今後の関東での講習会として、下記を予定しておりますので、ご興味のある方は是非ご参加ください。
 ◆関東第5回解析コース:       平成24年11月9日(金)
 ◆第2回MEMS設計解析基礎実習: 平成24年11月21日(水)~22日(木)
 ◆第5回MemsONE技術交流会:   平成24年12月7日(金)
 詳細は、 MemsONEひろば の「講習会案内」を参照ください。

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2012年10月18日 (木)

2012年度 ナノマイクロ領域での欧州産業技術調査(その1・研究所訪問)の報告

2012年度 ナノマイクロ領域での欧州産業技術調査(その1・研究所訪問)の報告

MEMS協議会の事業の一つとして推進しています国際交流事業では、国際マイクロマシンサミットへの参加や、マイクロマシン展での国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催、国際ビジネスワークショップの開催等に加えて、現在19機関ある国際アフィリエイトと連携した海外産業技術調査を行なっています。
今回、ドイツ・ドレスデンで開催されたセミコン欧州および、国際MEMS/MST産業フォーラムへの参加に合わせて、オランダとドイツの研究所の見学とヒアリングを行いました。
ご存知のように、欧州ではナノテクやMEMSに対する継続的で旺盛な投資が行われ、かつ大学や研究所が所管する大型研究施設に世界中から多くの企業が参加・連携し、既に沢山の産業化のシーズ、多くのベンチャーが育っています。今回訪問したオランダやドイツの3つ研究所は、それぞれ異なった生い立ちや、研究および産業推進の戦略を持っており、大変参考になりました。訪問した3つの研究所の概要を以下に示します。
1) High Tech Campus Eindhoven・Holst Centre(IMEC分室)オランダ
オランダ・フィリップスの半導体・マイクロシステム関連の研究所が母体になり、研究所の施設・研究者とエンジニア、その専門スキルを使って企業初オープンイノベーションを行う施設。2005年から開始したが、既に100社の外部利用、8000人の参加者がある研究体に成長した。
2) MESA+ Institute of Nanotechnology(Twente大学) オランダ
バイオMEMSとマイクロTASを早くから研究開始し、当該分野で世界を牽引する研究所。その中で生まれた新技術を元に多くのベンチャーを創出するツエンテモデルと言われる大学初の産業推進を行っている。
3) IMTEK University of Freiburg ドイツ
フライブルグは、ドイツ南部のフランスとスイスの国境近くにある小さな街であるが、逆にハイテク都市(フランスBesanconやスイスNeuchatel)が多いこの地の利と、ドイツの中でもSouth Westと呼ばれるハイテク産業地域と大学が連携したマイクロ産業施設の機能を持つ、HSG-IMITを持つ産業界のための研究所。

1. High Tech Campus Eindhoven・Holst Centre(IMEC分室)オランダ
オランダ南部のアイントホーフェン(Einhoven)-ここはオランダ・フィリップスの企業城下町ですが-郊外の広大な敷地にあるハイテクキャンパスHTCEは、比較的新しい研究所で、オランダ・フィリップスの半導体・マイクロシステム関連の研究所が、その企業戦略(エネルギーや医療に経営資源を集中)を変更したおりに、当該研究所をオープンイノベーションによって(その研究施設と研究人材、研究スキルを)活用するための施設です。写真にありますような膨大なキャンパスに、8インチまでのCMOSと6インチのMEMSライン、様々な研究施設、フィリップス社の半導体子会社であるNXPや既に100社あると言われる参加企業のオフィス、半導体やMEMSの評価や信頼性の試験センター等々・・さすが世界のフィリップスの研究インフラとその研究員・スキルを最大限活用した研究所で、既に外部から参加者は8000人と言われています。また管理法人であるHigh Tech Campus Eindhoven(HTCE)は不動産会社が所有し、そのメンバーは僅か17人であり、研究所の管理運営等の殆どの活動を外部への受託で賄っています。
またMEMS関連研究所であるホルストセンター(Holst Centre)はオランダのTNO(応用科学研究機構)とベルギーのIMECが共同で設立した研究開発所であり、オープンイノベーションを掲げ、アイデアと競争優位技術を駆使したグローバルな研究所です。海外28カ国からの参加があり、世界の大学や研究所39カ所と連携、23の企業とパートナーを組んでいます。IMECの分室としても知られ、特に有機デバイス、印刷電子技術、超低消費電力技術、エナージハーベストやセンサーネットワークの研究に強みがあります。今回ご案内を頂いたホストはProf. Cees Admiraal ( Business Development Director, High Tech Campus Eindhoven)です。このHTCEのAdmiraal教授、Holst CentreとNXPの研究員、マネージャの方々をお呼びして2012年11月15日につくば産総研、集積マイクロシステム研究センター、オランダ大使館と(財)マイクロマシンセンターおよびNMEMS技術研究組合にて合同の国際ワークショップを開催予定しています。是非、御参加ください。

http://beanspj.cocolog-nifty.com/mems/2012/09/tia-n-mems-umem.html

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写真 1 広大なキャンパス

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写真 2 右がProf. Cees Admiraal

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写真 3 既に多くの企業が利用

2. MESA+ Institute of Nanotechnology(Twente大学) オランダ
オランダの東部のドイツとの国境近くの比較的小さな町であるエンスヘディー(Enschede)の郊外の、やはり広大な敷地を持つTwente大学の中にあるMESA+(メサプラス)は、マイクロTASやナノバイオを強みとする世界でも有数のナノテクの研究所です。オランダを中心に世界的なバイオや製薬企業が多いことから、早くからマイクロTASやバイオMEMSが発展して来た経緯があります。またマイクロTASの父と言われるProf. A. van den Berg(マイクロマシンサミットに於けるルクセンブルク地方の団長)が長い間研究の主導をされて来られたことも良く知られています。またMEMS+の所有する大型研究拠点であるNANOLABは、1250平米の大型クリーンルームに、CMOSやMEMS、ナノテクの最先端装置を有しています。研究領域は広く、ナノテク(材料分野と計測を含む)とバイオMEMSに関することは殆ど網羅されていると思います。
今回のホストは、van den Berg教授でした。教授が協調されていたのは、世界的にも認知されているツエンテモデルと言う、大学の研究シーズをまだ若い博士が起業する産業化のスタイルです。当該研究領域で既に35のベンチャーが生まれています。成功の秘訣は若い研究者(博士)の活力を引き出し、支援する全てが揃っているとのこと。即ちエンジェルを含む投資家、知財や営業、経営を支援する専門家が長期的に支援するとのことです。確かに大学に最も近い鉄道の駅から大学までの間には数十社の企業オフィスが立ち並んでいますが、全て大学との連携があると言うことです。今も34の研究グループでは新規な産業化に向けた取り組みをしているとのことです。実際にvan den Berg教授が関与され、ベンチャーを立ち上げたマイクロ流路を使ったPOC血液分析装置を見せて頂きました。
 研究施設であるNANOLABは、大学の研究所としては整然として良く管理されたものです。18名の技術スタッフで管理運営され、400人が利用しています。また年間運用資金は約9億円で、その内の40%は産業界からの資金が拠出されています。成功の秘訣は若い研究者の知恵を有効に使うこと、28-29歳で学位を取った研究者が1-2名で会社を起こし、最初の2年間は2.5万ユーロ、その後の3年間は20万ユーロの資金を標準的に調達してベンチャーを開始するようです。欧州ではベンチャーを支援する様々な公的な取り組むがあることはよく知られていますが・・それにしても日本とは大変な違い、と正直に思いました。

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写真 4 MESA+外観

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写真 5 van den Berg教授

3. IMTEK University of Freiburg ドイツ
フライブルグは、ドイツ南部のフランスとスイスの国境近くにある小さな街ですが、写真にあるような、何とも味のある時計台に見られるように古都を思わせる街です。The Department of Microsystems Engineering (IMTEK)は カールスルーエ研究所でMEMSの先駆的な研究をされてきたProf. W. Menzがフライブルグ大学に異動されて設立された研究所で、今では21の学部と、300人のスタッフを要する大きなMEMS、ナノテクやマイクロデバイスの研究所です。
今回のホストはマイクロナノ加工技術やナノインプリントを先導される、Prof. Dr. Holger Reineckeです。教授は、元光学計測関連の企業で技術者であり、ドイツのマイクロナノ領域の工業会であるIVAMの設立メンバーの一人、ドイツらしく様々な経歴の持ち主です。何故こんなに小さな街にと言う解は、むしろその地の利でした。フランスのハイテク都市BesanconやスイスのNeuchatelやZurichと車で数時間の距離、更にドイツの南西部はハイテク企業300社を抱えるビッグクラスターである、Microtech SouthWest と言う団体の中心に位置しているとのことです。
大学内にあるIMTEKは、4-6インチのMEMSのクリーンルームで、350人の研究員と、1300人の学生が利用、年間経費が約14億円の研究施設です。更に特徴的なのは、このIMTEKはFreiburgから車で2時間の標高1000mの小さな町Villingen-SchwenningenにあるHSG-IMITと言う産業界が共同利用する開発施設およびファンドリ施設の技術支援を行なっていて、Reinecke教授もこの施設のスタッフです。1988年から開始し、約5年かけて20-30億円(最初はドイツ政府からの出資)で施設や装置を整備し、最近の運営費は年間約10億円(内3億円は運営、他は装置整備と人件費)、その内80%は企業からの売上、4-6インチのウェハで年間10-20万ウェハーの処理能力があり、小ロットからある程度の量産までこの施設で製造しているとのことでした。利用者の60%が20-100名の従業員の小企業、ここから生まれたベンチャーは5社と少なく、むしろドイツ南西部の専門企業が大型施設を持たなくても、最先端の研究開発とある程度の生産が可能であることが最大の強みであるとのことです。(MEMS協議会 三原孝士)

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写真 6 時計台と路面電車の街

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写真 7 IMTEKの外観

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写真 8  Holger Reinecke教授と

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国際標準化への貢献により、土屋智由氏(京都大学准教授、IEC/TC47/SC47Fエキスパート)IEC1906賞受賞

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 10月15日に都市センターホテル(東京・永田町)で平成24年度工業標準化事業表彰式が行われ、京都大学准教授の土屋智由氏が、IEC1906賞を受賞致しました。IEC1906賞は、1906年に発足したIECの創立100年にちなんで創設された記念行事のひとつであり、IECの活動に対して多大な貢献のあった個人を表彰することを目的に、2004年以降毎年行われています。

 土屋准教授は、マイクロマシンセンターのIEC/TC47/SC47F国内委員会及び標準化開発のプロジェクトリーダーとして、IECの標準化審議においては長年MEMS分野のエキスパートとして参画されています。

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 これまで、日本から提案しIEC国際規格として発行された「薄膜材料の引張強さ試験方法」「薄膜材料の標準試験片」及び「薄膜材料の軸荷重疲労試験方法」のプロジェクトの委員として、また、「共振振動を用いた薄膜材料曲げ試験法」についてはプロジェクトリーダとして規格案作成・提案から標準化審議のフォローまで一貫してかかわってこられました。これらの功績が認められ今回の受賞となりました。

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