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2012年9月

2012年9月27日 (木)

TIA N-MEMS UMEMSME/MNOICセミナー:低炭素社会におけるMEMSセンサーネットワークをテーマとしたオランダHolstセンター/HTCEとの国際ビジネスワークショップのご案内

TIA N-MEMS UMEMSME/MNOICセミナー:低炭素社会におけるMEMSセンサーネットワークをテーマとしたオランダHolstセンター/HTCEとの国際ビジネスワークショップのご案内(MEMS協議会 MNOIC研究企画 三原 孝士)

MNOIC-UMEMSMEセミナー(特別セミナー)として以下を開催致します。


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MNOIC-UMEMSMEセミナー
特別セミナー
“MEMS Sensor Network for Low Carbon Emission society”
TIA N-MEMS International Business Work Shop with Holst Center/HTCE in the Netherlands
「TIA N-MEMS UMEMSME/MNOICセミナー:低炭素社会におけるMEMSセンサーネットワークをテーマとしたオランダHolstセンター/HTCEとの国際ビジネスワークショップ」

日時:2012年11月15日(木) 15時から17時(懇親会19時まで)
場所:産業技術総合研究所 つくば東事業所 NMEMSイノベーション棟 1F国際セミナー室
(〒305-8564 茨城県つくば市並木1-2-1、TEL: 029-886-3471 FAX:029-886-3472)
  http://mnoic.la.coocan.jp/access/index.html
主催:一般財団法人マイクロマシンセンター
共催:産総研・集積マイクロシステム研究センター
共催:技術研究組合NMEMS技術研究機構
共催Co-organizer:Embassy of the Kingdom of the Netherlands オランダ王国大使館
共催Co-organizer:Holst Centre・High Tech Campus Eindhoven (the Netherlands)
後援:つくばイノベーションアリーナ ナノテクノロジー拠点運営最高会議(TIA)
参加費:無料

セミナー趣旨:MEMS産業推進を目的として(財)マイクロマシンセンターでは様々なイベントや、産官学連携を行なっています。特にMEMS協議会の元で産総研・集積マイクロシステム研究センターの支援を得て開始した研究開発支援サービスであるMNOICも2年目を迎えました。多くの方々に利用して頂く為に人材育成や、国際交流もMEMS協議会の活動と連携して取り組んでいます。今回(財)マイクロマシンセンターでは、産総研・集積マイクロシステム研究センター、技術研究組合NMEMS技術研究機構、オランダ王国大使館およびオランダHolst Centre・High Tech Campus Eindhovenとの共催で、国際ビジネスワークショップをTIAの後援で開催することと致しました。今回は「低炭素社会におけるMEMSセンサーネットワーク」をテーマに、オランダから3つの講演、日本から3つの講演を予定しています。オランダ王国はMEMSやナノバイオの分野で先進的な研究をされていることは有名です。今回講演されるオランダHolst Center(ホルストセンター)はIMECのオランダ分室でもあり、特にMEMSセンサーネットワークを熱心に研究されています。このため、技術研究組合NMEMS技術研究機構の「グリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェト」における国際的な相互情報交換も含めてセミナーを開催したいと思います。更にホルストセンターのあるハイテクキャンパスのオープンイノベーション、NXP Semiconductors社から集積化MEMSについての講演も予定しており、これらは大型研究拠点であるTIAの活動とも共通性が高いと思われます。

また本ワークショップの後、同会場にて技術研究組合NMEMS技術研究機構の研究員によるポスターセッションを簡単な懇親会と兼ねて開催致します。オランダからの研究者や技術研究組合NMEMS技術研究機構、産総研・集積マイクロシステム研究センター、MNOICのメンバーとの直接交流が出来る場として皆様の積極的なご参加を期待致します。(尚、事前にご連絡を頂ければ、この機会にMNOICへの見学や、技術相談も可能です。)

Chair  Dr. Masao Arakawa Research Center Director, MNOIC

1. 15:00 Opening Address
    Dr. Ryutaro Maeda; Center Director UMEMSME, AIST Japan
       Project Leader NMEMS Technology Research Organization
    Dr. Paul op den Brouw;
       Counsellor for Science and Technology, Embassy of the Kingdom
       of the Netherlands

2. 15:10 Session 1 : Presentation from Holst Centre / High Tech
       Campus in Eindhoven
       Session Chair  Dr. Masao Arakawa
    “Holst Centre - open innovation organized by imec and TNO at the
      High Tech Campus in Eindhoven”
      Mr. Bert Gyselinckx, Managing Director, Holst Centre
    “Open Innovation at Work: High Tech Campus Eindhoven” 
       Dr. Cees Admiraal, Business Development Director, High Tech
       Campus in Eindhoven
       Mr. Marcel de Haan, Director Strategic Acquisition, BOM Foreign
       Investments , Senior Manager        
       Business Development
    “Sensors and actuators at NXP: bringing more than Moore to
      CMOS”
       Mr. Joost van Beek, Senior Principal Scientist, Corporate R&D,
       NXP Semiconductors

3. 16:10 Session 2: Presentation from Japan
       Session Chair  Mr. Takeshi Harada, Manager MNOIC

    “Introduction of MNOIC (employing the state-of-the-art 8/12
      inches MEMS facility) ”
       Dr. Masao Arakawa Research Center Director, MNOIC
    “Large Area MEMS by weaving (Take up reel to reel type MEMS
      manufacturing system and meter size large area MEMS by
      automatic Weaving) “ ,
       Dr Seiichi Takamatsu, UMEMSME, AIST Japan
    “Green Sensor Network (Sensor network system employing MEMS
      ultra-low-power sensors, and the application) “
       Dr. Toshihiro Itoh, Deputy Center Director, UMEMSME,
       AIST Japan

4. 17:10 Closing Remarks
       Dr. Koichi Imanaka, General Manager, MNOIC/Micromachine
       Cetner Japan

5. 17:30 Poster Session and Reception
       At the same room of NMEMS Innovation building 1F
  17:30 Welcome address
       Mr. Keiichi Aoyagi, Executive Director, Micromachine Center
  17:35 Guest Address
       Holst Centre / High Tech Campus in Eindhoven
  17:45-19:00 Poster Session by NMEMS Technology Research
       Organization
  19:30 Reception End

ご参考
Holst Centre / High Tech Campus Eindhovenのご紹介
ホルストセンター(Holst Centre)はオランダ政府とベルギーのフランダース政府が資金を提供し、フィリップス社の跡地に設立したハイテクキャンパス内に2005年にオープンした比較的新しい研究所です。オランダのTNO(応用科学研究機構)とベルギーのIMECが共同で設立した研究開発所であり、オープンイノベーションを掲げ、アイデアと競争優位技術を駆使したグローバルな研究所です。海外28カ国からの参加があり、世界の大学や研究所39カ所と連携、23の企業とパートナーを組んでいます。IMECの分室としても知られ、特に有機デバイス、印刷電子技術、超低消費電力技術、エナージハーベストやセンサーネットワークの研究に強みがあります。

L2
写真1 ホルストセンター

オランダ大使館・オランダ総領事館
http://japan-jp.nlembassy.org/
ハイテクキャンパス High Tech Campus Eindhoven
http://www.hightechcampus.com/
Holst Center
http://www.holstcentre.com/

** 11月15日 MNOIC-UMEMSME特別セミナー(TIA N-MEMS International Business Work Shop with Holst Center/HTC in Kingdom of the Netherlands)ご参加ご希望 **
・貴法人名 :
・貴所属 :
・ご芳名 :
・e-mailアドレス:
・電話番号 :

上記をご記入頂き、MNOIC-UMEMSMEセミナー担当者
一般財団法人マイクロマシンセンター MNOIC開発センター(つくば)水谷
e_mizutani@mmc.or.jp
までメールにてご返信下さいませ。


また、当日のご参加も受付を致しておりますので、是非ご参加下さいませ。
皆様方のご参加をお待ち致しております。


マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)は
TIA(つくばイノベーションアリーナ)のNMEMS研究設備を
含む研究プラットフォームを産業界が利活用する様々な研究支援サービスを提供します。

詳しくは
  E-mail: mnoic@mmc.or.jp
   URL: http://mnoic.la.coocan.jp/ 

*****************************************
 一般財団法人マイクロマシンセンター
 MNOIC開発センター(つくば)
 水谷 恵美
 〒305-8564
 茨城県つくば市並木1-2-1
 (独)産業技術総合研究所 東事業所
    NMEMSイノベーション棟4階
 TEL : 029-886-3471
 FAX : 029-886-3472
 e-mail : e_mizutani@mmc.or.jp
*****************************************

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2012年9月13日 (木)

「TIA 第3回公開シンポジウム」開催される

一般財団法人マイクロマシンセンター、MEMS協議会はTIA N-MEMS WGの事務局を行い、MNOICをTIAの活動の一環と捉えて活動を行なっています。TIAの母体である、つくばイノベーションアリーナナノテクノロジー拠点運営最高会議の主催で、平成24年7月19日に学術総合センター2階一橋講堂(旧一橋記念講堂)にて、第3回つくばイノベーションアリーナ(TIA-nano)公開シンポジウムが開催されました。開催の規模は、産業界からの170余名の参加者、総勢350名を超える聴衆でした。第3回となったこのシンポジウムは、「TIA-nanoが提案するオープンイノベーションハブ」が全体テーマであり、TIA-nanoの成果紹介に止まらず、コアインフラ・コア研究領域の取り組みを中心に議論されました。
MNOICは集積マイクロシステム研究センター(UMEMSME)、技術研究組合NMEMS技術研究機構、BEANS研究所とともに、NMEMS関係団体の一つとしてポスター報告を行いました。最近はナノテクの研究者も、MNOICのような大型研究拠点を利用する研究支援のサービスに興味を示されます。このような広報活動は地道なものですが、そのような場でより具体的な支援の中身や実績を出していくことが重要であると感じました。(MEMS協議会 三原 孝士)
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写真1 ポスター会場の様子

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写真2 ポスター会場でのMNOICポスター

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写真3 MNOICポスター


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2年目を迎えたMNOICの最近の状況

2011年の4月に開設し、2011年9月からサービス開始、10月に最初のユーザにご利用頂き、順調にスタートしたMNOICも、今年の秋に実質的な2年目を迎えました。この機会に最近の状況を整理してご報告をしたいと思います。一言で言いますと、MNOICが研究支援可能な装置群が拡大して更に使いやすくなったのですが、幾つかの主要装置の故障や、その他対応の遅れから2012年度の初期は新規のお客様にご迷惑をかけ、ご利用が停滞したことです。それらの課題や、主要装置の整備も完了し、今後はユーザ満足度の高い研究支援ができるものと確信しています。また研究支援の活動ですが、一時期は特定の装置を使った研究支援は予約が困難なほどでした。課題として研究支援のご利用は、まだ特定の装置を使った場合に限定されていることです。MEMSデバイスの研究やプロセス開発にMNOICの研究支援を使って頂ければ、多くの装置を平準化してご利用頂けると思います。それにはMNOICの研究支援で得た成果をアピールする、即ち実績を出していくことが重要と考えています。このブログニュースでは最近のトピックスをご紹介します。
(1)広報活動とセミナー:
MNOICでは産業界で利用できる世界最先端の大型研究施設の存在を広く知って頂くための以下のような広報活動を行なって参りました。特にご紹介したいイベントを記載致します。
 2011年度はUMEMSME/MNOICセミナーとして、千葉工大・佐野先生をモデレータとした連続講座である「MOTセミナー」、MEMS産業化に熱心な板生先生、服部先生、藤本先生等による連続講座である、「新マーケットセミナー」を開催し、総計18回、のべ人数約450名の参加者を集めることができました。それぞれにセミナーには、産総研の研究者や、最先端装置を提供する企業からの装置技術の紹介など、密度の濃いセミナーとなりました。このセミナーは2011年7月7日に初回、2012年6月27日に最終回と、ほぼ1年間に渡って実施されました。
 MNOIC装置セミナー「ツール de MNOIC -先端NMEMS拠点見学と研究開発ツール紹介-」を2012年2月14日(火曜日)に産総研・東事業所NMEMSイノベーション棟の国際セミナー室にて開催致しました。このセミナーでは、MNOICが研究支援できる最先端の装置群の装置メーカの方々に、装置の先端性や利用方法をご紹介して頂くこと、また同様な装置紹介をポスターで紹介して頂いて、ユーザと装置メーカが個別に議論できたことです。 参加者は80名でした。
 2012年も世界最大規模のMEMS領域の展示会である、マイクロナノ2012の一般財団法人マイクロマシンセンターのブースにてMNOICの展示と、TIAシンポジウムやセミナーを開催しました。MNOICの展示では、MNOICの研究支援で利用可能な装置群のビデオや、実際にMNOICの研究支援で完成した8インチと12インチのウェハーを展示しました。この大口径のウェハー展示には多くの方々が立ち止まって興味を持って頂きました。また、TIAの後援で行なった3つのセミナー(海外アフィリエイトとの交流である国際ビジネスワークショップ、MNOICセミナー、MEMS協議会フォーラム)も沢山の方々にご参加頂きました。
(2)研究支援の対象となる新たな装置のご紹介
MNOICでは9月から以下の新規な装置を用いた研究支援を開始しました。どちらも大口径、大面積、世界最先端です。また何れの装置も産総研の研究者が最先端の研究開発に用いた実績の高い装置です。
 12インチ ウェハ常温接合装置
     ウェハ寸法:4、6、8、12インチ
     ウェハ/ウェハ常温接合(表面活性化接合)
     最大接合荷重:200kN、
     アライメント精度:±1µm
 大面積ナノインプリント装置
     基板寸法:最大200mm角、
     熱および光ナノインプリントによる微細パターン形成
     加熱温度:200℃、最大加圧力:5MPa

今後の予定ですが、2012年度から、UMEMSME/MNOICセミナーをMNOIC研究支援の将来ユーザを対象とした、実習スタイルの人材育成プログラムを考えています。またMNOIC研究支援の標準設計ツールである、MemsONEと加工・評価を組み合わせた実習セミナーも準備しています。また11月には、欧州オランダのハイテクキャンパスやホルストセンターの研究者との、第2回国際ビジネスワークショップも11月中旬に(11月15日を予定)開催予定です。MNOICのご利用と、関連イベントへのご参加をお待ちしています。(MEMS協議会 三原 孝士)

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写真 1 12インチ ウェハ常温接合装置

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写真 2 大面積ナノインプリント装置

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2012年9月11日 (火)

NEDO技術戦略マップにおけるMEMS分野の改訂作業始まる

 経済産業省(METI)と新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)は、全技術分野を対象に技術戦略マップを策定して公開しています。これは産官学の専門化が集まって研究開発の対象となる各分野毎に技術ロードマップを策定し、企業、大学、公的研究機関における研究開発の戦略策定や開発投資に活用して頂こうというものです。
 MEMS分野については、本年度見直し作業を進めることになり、NEDOの「革新デバイス調査及び技術戦略マップ改訂」委託事業(受託:みずほ情報総研)の中で実施されることが決まりました。
 マイクロマシンセンターはこの見直し作業に参加して、大学、企業の専門家の方々と共同でMEMS分野の技術戦略マップ改訂を目指します。

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2012年9月 4日 (火)

第19回 MEMS講習会開催案内 「ワイヤレスセンサネットワークシステム及びデバイスの最前線」 10月15日 東京大学 山上会館

第19回MEMS講習会の予定が決まりましたのでお知らせします。

テーマ 「ワイヤレスセンサネットワークシステム及びデバイスの最前線」

主催:一般財団法人 マイクロマシンセンター / 
協力:東京大学 生産技術研究所 マイクロメカトロニクス国際研究センター 

 一般財団法人マイクロマシンセンターでは、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために、マイクロナノイノベータ人材育成プログラム事業の一環としてMEMS講習会を開催しています。  
 エネルギー問題、高齢化社会、スマートシティに対応したエネルギマネジメントシステム、ヘルスケアモニターシステム等のシステム開発が盛んに行われています。それらのシステムを実現するためのワイヤレスセンサネットワーク及び各種デバイスの開発も重要性を増しています。
 本講習会では、ワイヤレスセンサネットワークシステム及びデバイス分野において開発に携わっておられる方々をお招きして、最新動向を広く紹介して頂くとともに、関係者の方々の交流を深めて頂いて、今後の同分野の技術開発の加速につなげられるよう本講習会を開催させて頂きます。

■日時: 2012年10月15日(月)12:30~17:50 懇親会 ~19:00

■場所: 東京大学 本郷キャンパス 山上会館 大会議室 
      同会館内で懇親会を開催

■プログラム
・12:30-12:35 主催者挨拶 マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 圭一
・12:35-13:20 【基調講演】 「MEMSの最新技術動向」
           東京大学 生産技術研究所 
           マイクロナノメカトエロニクス国際研究センター 
           センター長 藤田 博之 
・13:20-14:05 【特別講演】 
           「クラウド時代のヘルスケアモニタリングシステム構築と応用」
           東京理科大学 教授 / ウェアラブル環境情報ネット推進機構 
           理事長 板生 清 
・14:05-14:35 「絆創膏型ヘルスケアモニタリングシステムと集積型MEMSセンサ」
           兵庫県立大学 /ERATO前中センシング融合プロジェクト 
           教授 前中 一介
・14:35-15:00 「ワイヤレスセンサネットワークシステムは“省エネ”の救世主か?」
           産業技術総合研究所 招聘研究員/千葉工業大学 
           教授 藤本 淳 
・15:00-15:30 「スマートセンサネットとM2Mクラウド」
           日立製作所 情報・通信システム社 ワイヤレス統括本部 
           統括本部長   木下 泰三 
・15:30-15:40  休憩
・15:40-16:10 「ワイヤレスセンサネットワークのスマートシティへの応用」
           パナソニック R&D本部 全社CTO室 技術政策室
           室長 三輪 真
・16:10-16:40 「エネルギーハーベスティングの最新技術動向」
           NTTデータ経営研究所 社会・環境戦略コンサルティング本部 
           シニアスペシャリスト 竹内 敬治 
・16:40-17:10 「ワイヤレスネットワークシステムとエネルギーハーベスティング」
           EnOcean GmbH (エンオーシャン) 
           日本代表 板垣 一美 
・17:10-17:35 「ワイヤレスネットワークシステムとMEMSセンサ:
           省エネソリューションへの展開」
           オムロン MD事業推進本部 MEMSアプリケーション開発課 
           課長 中村 隆 
・17:35-17:50 「アルバックのMEMSファンドリーサービス」
           アルバック 技術開発部 試作解析センターMEMS研究室
           室長 前平 謙
・17:50-18:00 「MEMSファンドリーサービス産業委員会活動紹介」
           ファンドリーサービス産業委員会 委員長 貫井 晋 
・18:00-19:00 懇親会
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■参加費: 一般 10,000円 / MEMS協議会メンバー 5,000円 /  懇親会 無料
■定 員: 70名 (定員になり次第、締切りさせていただきます。) 
■参加申込
必要事項(氏名、所属団体、部署、役職、住所、TEL、E-mailアドレス)をご記入の上、
      下記の申込先へE-mail又はFAXをお願いします。
       (Web申込: http://www.mmc.or.jp/cgi/form/mems19/
     ・申込及び問合わせ先: (財)マイクロマシンセンター : 阪井 / 酒向 まで
     ・申込用E-mail: mems-ws@mmc.or.jp
     ・TEL : 03-5835-1870  ・FAX : 03-5835-1873

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