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2012年8月 6日 (月)

「マイクロナノ2012」 TIA N-MEMSシンポジウムPart1 MNOICセミナー開催(2011年7月12日)」

 世界最大規模のマイクロマシン/MEMSの総合イベントである「マイクロナノ2012」(東京ビッグサイト)の中で、MEMS協議会が主催する同時開催プログラムとして国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム以外に、MEMS協議会フォーラムとMNOICセミナーがあります。2010年からMEMS協議会がTIA(つくばイノベーションアリーナ)のTIA N-MEMS WGの事務局となってから、MEMS協議会フォーラムとMNOICセミナーをTIA N-MEMSシンポジウム(TIA後援)として開催しています。今回はイベントの中日である7月12日にこのプログラムを企画しました。特に今年は、「マイクロナノ2012」の全体テーマである「オープンイノベーション」に沿ったプログラム設定を行いました。このオープンイノベーションの背景には、大規模なMEMS研究拠点であるMNOICが昨年度に設置され、順調に整備されて来ていること、また同時期に東北大学のMEMSコインランドリーや京都大学のナノハブ研究拠点が開設され、いよいよ日本でも高価な研究施設を持たなくても研究開発や産業化が可能な「オープンイノベーション」の環境が揃いつつあることがあります。このような背景から、MNOICセミナーでは、パートナーである産総研・集積マイクロシステム研究センターの前田龍太郎センター長とも議論を重ね、「MNOICセミナー:世界的なMEMS研究拠点の活用」と題してプログラムを作成し、NMOICで利用可能な最先端の蓄積技術と、海外の研究拠点も含めた日本を代表するナノテク&MEMS研究拠点の紹介をしました。
 今仲MNOIC所長の主催者挨拶に続いて、経産省・福島研究開発課長のご来賓のご挨拶のあと、以下の2つのセッションを行いました。
セッション1:「技術シーズと世界最先端装置」
最初の講演は、MNOICパートナーである産総研・集積マイクロシステム研究センター(UMEMSME)に長く蓄積された技術のご紹介として、廣島副センター長から「大口径のナノインプリント技術のご紹介」でした。ナノインプリント技術は、超LSIのホトリソグラフィー技術の有力代替技術として注目されましたが、最近では大面積の表面反射膜等の光学フィルターも有力な候補であり用途が広がって来ています。特にこのナノインプリント技術では大面積精密モールド装置に加えて、大面積で精密な金型作成も普及の鍵であり、MNOICが極めて有効に利用出来ることも分かって来ました。二番目の講演は、MNOICが所有する世界最先端大口径300mmシリコン深堀装置の紹介を、製造・販売会社であるSPPテクノロジー社の田中氏から紹介頂きました。この300mmシリコン深堀装置Pegasus 300は単に大口径のみならず、DeepRIEに必要な最先端の様々な技術が導入されていて、安定なMEMS三次元構造の作成ができます。第三の講演はMNOICには整備されていせんが、将来はMEMSでも必要になると推測されるALD(分子層成膜)の技術開発や装置の最新状況を、オックスフォードインスツルメントの鈴木氏に紹介頂きました。オックスフォードは、ご存知のように英国の装置メーカですが、研究用市場に最先端装置を提供し続けている企業です。
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写真1 産総研 廣島氏からナノインプリントに関する講演

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写真2 SPPテクノロジーズ 田中氏からシリコン深堀装置の講演

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写真 3 オックスフォードの鈴木氏から分子層成膜の講演

セッション2:「最先端研究拠点を用いたオープンイノベーション」
本セッションでは、オープンイノベーションを実現可能な国内外の3つの研究拠点から紹介して頂きました。最初の講演は京都大学の次世代低炭素ナノデバイス創製ハブ拠点(京都大学ナノハブ)の取り組みを竹内先生から紹介頂きました。京都大学ナノハブは、大学や企業の最先端のナノテク・MEMSの研究に必要な、ウェハーサイズで4から6インチの加工、成膜、評価装置が揃っています。特に他の大学も含めてオープンにしているのが特徴で、アカデミアからの利用が半数以上あるようです。第二の講演は東北大学・MEMSコインランドリーの状況を戸津先生に紹介頂きました。東北大学は既に何十年に渡って企業からの研究者を受け入れ、実用化を目指した研究開発を行うことで有名ですが、MEMSコインランドリーは、この取り組みをオープンイノベーションに向けて制度化した印象です。装置は2から6インチで、手作り装置を含めて多彩な装置が利用でき、しかも安価に使える特徴があって、既に多くのユーザが利用しているようです。最後の講演はフランスLETI発ベンチャーで、MEMSのファンダリーを行なっているTronics社からStephan Louwers氏です。Tronics社は、設計-プロセス開発-ファンドリーと全てを受託可能な、世界でも有数のファンドリーです。LETIで長年経験を積んだ研究者・技術者が最適解を提案出来るところに強みがあります。また現在注目を浴びている携帯端末用のMEMSではなく、幅広い産業用MEMSや医療・バイオ用のMEMSに注力しています。
今回はスケジュールの関係で、TIA N-MEMS関連セミナーは、12日にPart1  MNOICセミナー、13日にPart 2 MEMS協議会フォーラムと日程をずらしての開催でした。MNOICセミナーの参加者は118名でしたが、多くの方々にご参加頂いたことに感謝致します。来年に向けて更に充実した企画をして行きたいと思いますので、お気軽にご意見を頂ければと思います。(MEMS協議会事務局 三原 孝士)

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写真 4 京都大学ナノハブの竹内先生の講演

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写真 5 東北大学 MEMSコインランドリー 戸津先生の講演

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写真 6 フランスTronics社からStephan Louwers氏の講演

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