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2012年7月18日 (水)

TIA N-MEMS 国際ビジネスワークショップ、UMEMSME・MNOICセミナーを開催しました。

世界最大級のMEMS展示会であるマイクロマシン/MEMS展が今年も7月11日から13日まで、東京ビッグサイトにて開催されました。既に速報がブログ「MEMSの波」に載っています。このマイクロマシン/MEMS展は、同時に多数のシンポジウムやセミナーが開催され、海外からも多くの招待講演者、出展者、マイクロマシンセンターの国際アフィリエイト(現在19機関)の方々が来日されます。(財)マイクロマシンセンターでは、海外との国際交流を行う絶好の機会ととらえ、海外からのお客様を招いて、TIAの研究所訪問および産総研・集積マイクロシステム研究センターとの共催、更にTIAの後援で、国際ビジネスワークショップ(兼UMEMSME・MNOICセミナー)をマイクロマシン/MEMS展の前日である7月10日に開催致しました。今回は7ヶ国(ドイツ、カナダ、米国、フランス、台湾、韓国、日本)から国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムやMNOICセミナーの招待講演者、海外からの出展者、国際アフィリエイトの方々(日本法人の方々も含めて)17名をお迎えして本ワークショップを開催しました。
午前中のTIAの見学会は(ご招待した方々のみが対象でしたが)、独立行政法人・産業技術総合研究所・中央のナノチューブ研究センターと、TASC(Technology Research Association for Single Wall Carbon Nanotube)の見学会でした。特設のセミナー会場を設営頂き、Dr. Don N Futaba様からCNTの紹介、Super Growth法の特徴、CNTの特性やデバイス・MEMSへの応用可能性、上野様からCNT材料の特性や材料としての応用可能性に関して熱心な講演を頂きました。 展示コーナの説明や実験施設の見学もさせて頂き、関係者の方々に感謝致します。CNTの研究開発は日本が先進的であることを多くの招待者は良くご存知でした。

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写真 1 CNTセミナー

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写真 2 CNT展示会場

午後は2班に別れて、クリーン着を着て頂き、最先端8・12インチのMEMS前工程(TKB812F)、後工程(TKB812B)の見学をして頂き15時から、国際ビジネスワークショップ(兼UMEMSME・MNOICセミナー)を開催致しました。
今仲MNOIC所長からのWelcomeアドレスの後、ドイツのMEMS工業会(実際には全世界から約300社が会員となっている)である、IVAM(イーファン)のHippler所長からIVAMのご紹介、そのメンバーへのサービスや特に国際的な広報活動の重要性に関して、カナダACAMP(Alberta Centre for MNT)のCEO、Brizel様からアルバータ州の紹介、産業育成、ACAMP研究拠点の投資状況に関して、米国の装置メーカであるApplied MaterialsのRosa様から、数00nm幅にも関わらず高いアスペクト比で深堀可能な最新のRIE技術のご紹介、フランスLETI発のMEMSファンドリであるTronicsのLouwers様から、海に浮く氷山を例に、「水面にあるのは最近脚光を浴びているスマートフォン向けのMEMSであるが、水面下に巨大なMEMS市場がある。これが”Special MEMS Product“であり、Tronicsは設計、試作、評価、量産まで、この領域のMEMSは全て可能である」との紹介、最後にKyodo InternationalのMartini 様からレーザ成膜法を用いて、良好な特性のPZT薄膜が高い均一性で成膜出来る装置の紹介でした。

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写真 3 国際WS会場

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写真 4 IVAM(イーファン)のHippler所長

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写真 5 カナダACAMP(Alberta Centre for MNT)のCEO、Brizel様

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写真 6 国際 設計・シミュレーションツールセミナー

また日本からの講演では、集積マイクロシステム研究センターの小林氏から大口径ゾルゲルPZT自動成膜装置とそのデバイスへの応用、みずほ情報総研の藤原様からMemsONE紹介のその英語化、大日本印刷、鈴木様からDNPの大口径ウェハファンドリサービス、更に懇親会までの準備の時間を使って、みずほ情報総研からMEMS関連の設計ツール、科学技術シミュレーションツールの紹介をして頂きました。懇親会でのゲスト挨拶はIVAMのHippler所長に頂きました。マイクロマシン展の前日で、多くの方々が多忙であったにも関わらず、参加者はご招待者を含めて約60名でした。特にワークショップでは、沢山の質問やコメントあり、懇親会でも終始国際的な交流の場として、装置技術やデバイス開発、ビジネスや地域性の議論等が行われました。このイベントによって、マイクロマシン/MEMS展でも多くの海外の方々や、我々事務局がお互いの知り合いとなって声を掛け合うシーンが見られ、ある意味での国際産学ハブの役割を果たしています。マイクロマシンセンターでは、このような国際交流の場を毎年何だかの形で開催し、海外のアフィリエイトの方々との更なる交流を進めて行きたいと思います。(MEMS協議会 三原 孝士)

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写真 7 懇親会

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