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2012年7月

2012年7月20日 (金)

第8回MEMS標準化ワークショップ

 IEC SC47F/WG1国際標準化アドホック会議に引続き、6月29日に韓国・済州島で第8回日韓中MEMS標準化ワークショップが開催されました。将来の標準化に向けてのロードマップや、MEMSに関連する研究開発のトピックスが日韓中各国より計9件紹介され、それぞれの発表に対して活発に質疑応答がなされました。各発表の概要を以下に示します。
(1)Footprint and Roadmap of MEMS Standardization by JNC(マイクロマシンセンター・出井敏夫):日本
 MEMSに関するこれまでの日本からの規格提案実績と今後の提案予定及び進むべき方向についてプレゼンテーションが行われ、今後の方向として、既存規格の見直し、MEMS応用分野およびエネルギーハーベスティングのような新分野での規格提案を推進すべきとの方向が示されました。
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(2)Research on Energy Harvesting Applications in Japan(マイクロマシンセンター・出井敏夫):日本
 SC47F/WG1アドホック会議(6/27)における東京大学・鈴木教授による説明に関連して、日本におけるエネルギーハーベスティング応用の研究状況について説明が行われ、さらに今回同行のNTTデータ経営研究所・竹内敬治氏よりエネルギーハーベスティングコンソーシアムの活動状況について説明が行われました。
(3)Mechanical Properties of Three Dimensional Micro-sized Components for MEMS Devices(東京工業大学・石山千恵美助教):日本
 パーマネントレジストSU-8をMEMS構造材料として応用する際の、基本的な変形・破壊特性に関する実験結果が報告されました。溶媒や添加物等の成分や、露光量の違いによっても特性が変化するため注意が必要とのことです。
(4)MEMS standards in China (Prof Bo CUI/Hebei Semiconductor Research Institute):中国
 中国国内のMEMS関連標準化進捗状況について報告が行われ、2013年の初めにIECに国際規格の提案を3件提出する予定であることが示されました。
(5)High precision MEMS accelerometer (Prof Chengchen GA/ Beijing University):中国
 北京大学にて開発された加速度センサーの、プロセス並びに性能についての詳細が紹介されました。
(6)Micro Electro-Elasto-Capillarity: A Novel Actuation Method for MEMS Devices (Prof Ziqian WANG/Institute of Mechanics Chinese Academy of Sciences):中国
 迅速・低侵襲の医療への適用をめざし、薄膜に電界をかけて制御して血液などの液滴を封止・開放する技術について、実験報告が行われました。現在は350Vの電圧を加えており、薄膜化、小液滴化による低電圧化が課題のひとつとのことです。
(7)MEMS Standardization Roadmap of Korea toward 2020 (Prof Sekwang Park/Kyungpook National University):韓国
 韓国におけるMEMS関連標準化のロードマップが紹介されました。携帯電話端末、インクジェットヘッドなどMEMS適用製品の成熟段階と関連付けて、2020年に向けての重点分野が示され、あらたな分野としてエネルギー変換・蓄積、3次元半導体の測定・分析が挙げられました。P1010274
(8)Particle and fluid properties measurement using micro-fluidic beam resonator (Prof Jungchul Lee/Sogang University):韓国
 血流などの液流を微小流路でカンチレバーの共振器に分流させ、共振点のずれで液中に含まれる不純物(ウィルスなど)を検出する研究について報告がありました。HIVウィルスの検出を当面の目標としています。
(9)MEMS neural probe for optogenetics (Dr Il-joo Cho/KIST):韓国
 脳神経が光に反応するように遺伝子操作したラットを使って、脳神経細胞の反応を光プローブを用いて観察する研究の様子が紹介されました。

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IEC/TC47/SC47F/WG1アドホック会議(6月27、28日)

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 MEMSに関する国際規格はIECのTC47/SC47Fが担当していますが、そのアドホック会議が6月27、28日に韓国・済州島で開催されました。IECの会議は毎年秋に全体会議が世界各国で開催され(2012年はノルウェー)、TC47/SC47E&Fアドホック会議が毎年6月に日韓中の各国持ち回りで開催されており、今回のホスト国は韓国でした。
 会議には我が国より11名、韓国より12名、中国より3名の計26名が参加しました。会議では開催宣言に続き、参加者の自己紹介、議事の確認、前回会議の確認、コンビナから審議状況の報告が行われた後、具体的な規格案の審議が行われました。
 審議中の案件では、「熱膨張係数試験法(韓国提案、CDV回付終了)に関し韓国Dr Hak Joo Leeよりコメントに対する修正案について説明が行われた結果、次の段階(FDIS)に移行することになりました。「バルジ試験法(韓国提案、2ndCD回付終了)」についてはDr Yong Hak Huhよりコメントに対する修正案について説明が行われましたが、今回欠席の日本側エキスパート(京都大学・土屋智由准教授)の見解を再確認した上で次の段階(CDVまたは3rdCD)を決めることとしました。「薄膜曲げ試験法(日本提案、CDV回付中)」及び「電子コンパス(日本提案、CDV回付中)」については次回(10月、韓国・済州)に持越し、「小型ジャイロ(日本提案、CD回付終了)」については内容修正の上、2ndCDを回付することとしました。P1010252

 すでにNPが承認され現在CD回付準備中の段階にある韓国提案4件(「薄膜材料のポアソン比試験法」「柔軟基板上の薄膜引張り試験法」「PDMS/ガラス接合強度試験法」及び「残留応力測定法」)について、韓国・Se Kwan Park教授より状況説明が行われました。
 提案予定案件(Future Works)として、神戸大学・磯野吉正教授より、2012年3月までにNP提案を予定しているマイクロトレンチ及びニードル構造の形状表示/計測法について説明が行われました。これに関連して、中国・崔宝氏より「形状計測については中国も関心があり、関連する規格提案の準備を進めている」旨意向が示されました。
 また、東京大学・鈴木雄二教授よりエネルギーハーベスティングに関する新規提案予定に関する説明が行われました。SC47Fの親委員会であるTC47のWG6 (Incubating Group)において、韓国よりすでに2件のNPが提出されており、日本側も韓国NPに賛意を示すとともに、遅くとも2013年3月までにNP提出をめざします。韓国Sekwan Park議長からエネルギーハーベスティングに関する日韓共同のシンポジウム開催の提案があり、中国も加わる形で3カ国の意見交換の機会を探ることとなりました。
 次回会合は10月に今回と同じ会場で行われるTC47会議ですが、再会を約束して終了しました。

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2012年7月18日 (水)

TIA N-MEMS 国際ビジネスワークショップ、UMEMSME・MNOICセミナーを開催しました。

世界最大級のMEMS展示会であるマイクロマシン/MEMS展が今年も7月11日から13日まで、東京ビッグサイトにて開催されました。既に速報がブログ「MEMSの波」に載っています。このマイクロマシン/MEMS展は、同時に多数のシンポジウムやセミナーが開催され、海外からも多くの招待講演者、出展者、マイクロマシンセンターの国際アフィリエイト(現在19機関)の方々が来日されます。(財)マイクロマシンセンターでは、海外との国際交流を行う絶好の機会ととらえ、海外からのお客様を招いて、TIAの研究所訪問および産総研・集積マイクロシステム研究センターとの共催、更にTIAの後援で、国際ビジネスワークショップ(兼UMEMSME・MNOICセミナー)をマイクロマシン/MEMS展の前日である7月10日に開催致しました。今回は7ヶ国(ドイツ、カナダ、米国、フランス、台湾、韓国、日本)から国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムやMNOICセミナーの招待講演者、海外からの出展者、国際アフィリエイトの方々(日本法人の方々も含めて)17名をお迎えして本ワークショップを開催しました。
午前中のTIAの見学会は(ご招待した方々のみが対象でしたが)、独立行政法人・産業技術総合研究所・中央のナノチューブ研究センターと、TASC(Technology Research Association for Single Wall Carbon Nanotube)の見学会でした。特設のセミナー会場を設営頂き、Dr. Don N Futaba様からCNTの紹介、Super Growth法の特徴、CNTの特性やデバイス・MEMSへの応用可能性、上野様からCNT材料の特性や材料としての応用可能性に関して熱心な講演を頂きました。 展示コーナの説明や実験施設の見学もさせて頂き、関係者の方々に感謝致します。CNTの研究開発は日本が先進的であることを多くの招待者は良くご存知でした。

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写真 1 CNTセミナー

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写真 2 CNT展示会場

午後は2班に別れて、クリーン着を着て頂き、最先端8・12インチのMEMS前工程(TKB812F)、後工程(TKB812B)の見学をして頂き15時から、国際ビジネスワークショップ(兼UMEMSME・MNOICセミナー)を開催致しました。
今仲MNOIC所長からのWelcomeアドレスの後、ドイツのMEMS工業会(実際には全世界から約300社が会員となっている)である、IVAM(イーファン)のHippler所長からIVAMのご紹介、そのメンバーへのサービスや特に国際的な広報活動の重要性に関して、カナダACAMP(Alberta Centre for MNT)のCEO、Brizel様からアルバータ州の紹介、産業育成、ACAMP研究拠点の投資状況に関して、米国の装置メーカであるApplied MaterialsのRosa様から、数00nm幅にも関わらず高いアスペクト比で深堀可能な最新のRIE技術のご紹介、フランスLETI発のMEMSファンドリであるTronicsのLouwers様から、海に浮く氷山を例に、「水面にあるのは最近脚光を浴びているスマートフォン向けのMEMSであるが、水面下に巨大なMEMS市場がある。これが”Special MEMS Product“であり、Tronicsは設計、試作、評価、量産まで、この領域のMEMSは全て可能である」との紹介、最後にKyodo InternationalのMartini 様からレーザ成膜法を用いて、良好な特性のPZT薄膜が高い均一性で成膜出来る装置の紹介でした。

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写真 3 国際WS会場

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写真 4 IVAM(イーファン)のHippler所長

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写真 5 カナダACAMP(Alberta Centre for MNT)のCEO、Brizel様

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写真 6 国際 設計・シミュレーションツールセミナー

また日本からの講演では、集積マイクロシステム研究センターの小林氏から大口径ゾルゲルPZT自動成膜装置とそのデバイスへの応用、みずほ情報総研の藤原様からMemsONE紹介のその英語化、大日本印刷、鈴木様からDNPの大口径ウェハファンドリサービス、更に懇親会までの準備の時間を使って、みずほ情報総研からMEMS関連の設計ツール、科学技術シミュレーションツールの紹介をして頂きました。懇親会でのゲスト挨拶はIVAMのHippler所長に頂きました。マイクロマシン展の前日で、多くの方々が多忙であったにも関わらず、参加者はご招待者を含めて約60名でした。特にワークショップでは、沢山の質問やコメントあり、懇親会でも終始国際的な交流の場として、装置技術やデバイス開発、ビジネスや地域性の議論等が行われました。このイベントによって、マイクロマシン/MEMS展でも多くの海外の方々や、我々事務局がお互いの知り合いとなって声を掛け合うシーンが見られ、ある意味での国際産学ハブの役割を果たしています。マイクロマシンセンターでは、このような国際交流の場を毎年何だかの形で開催し、海外のアフィリエイトの方々との更なる交流を進めて行きたいと思います。(MEMS協議会 三原 孝士)

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写真 7 懇親会

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2012年7月13日 (金)

「マイクロナノ2012」、大盛況のうちに終了。

「マイクロナノ2012」は7月13日(金)、大盛況の内に終了しました。
ご来場いただいた多くの皆様に感謝致します。
来年はますます内容を充実させて、皆様の期待に一層応えるイベントに致しますのでご期待ください。

来場者数はまだ集計できておりませんが、1万人を超えたのではないかと予想され、この厳しい経済状況下、BtoBの単独ビジネスイベントとしては健闘したのではないかと考えております。

以下は本日の会場の模様です。

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TIA N-MEMSシンポジウムPartⅡ MEMS協議会フォーラムで講演する青柳専務理事

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TIA N-MEMSシンポジウムPartⅡ MEMS協議会フォーラム 唐木副委員長

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大盛況だったMEMS産業動向:MEMS関連市場予測( 阪井 産業交流部長講演)


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盛況のMMCBooth


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閉幕直前に来場者が殺到し、臨時受付を設置。

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多くの来場者で盛況のBEANSプロジェクトBooth


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今年度初出展で好評だったGSNプロジェクトBooth

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GSNプロジェクトBoothの記念撮影


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MMCBoothの記念撮影。

来年も頑張りましょう!!

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「マイクロナノ2012」第2日目終了!

(平成24年7月12日(木))

時々強風が吹く天候の一日となりましたが、雨も小雨で収まり、開催初日から約500人入場者が増加した第2日となりました。

マイクロマシンセンター関係の同時併催プログラムとしては、TIA N-MEMSシンポジウムPartⅠ「MNOICセミナー 世界的なNMEMS研究拠点の活用」が、午後3時から開催され、大勢の聴講者で賑わいました。
冒頭、御来賓の経済産業省 福島研究開発課長から、MEMSにおけるオープンイノベーションの重要性とMNOIICについての期待が語られ、その後、講演者から、各種の取り組みが紹介されました。

以下は会場やシンポジウムの様子です。

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今回が最後となる予定のBEANSプロジェクトBoothの巨大モニュメント。
今年は大きく育ち、豆のさやにも大きな実がつきました。

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会場内を闊歩するロボット(ROBOTECH展示より)

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会場メインストリート。

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MMC・Boothの様子。

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講演の今中MNOIC所長

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来賓ご挨拶の経済産業省、福島研究開発課長

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講演の様子

TIA N-MEMSシンポジウムPartⅠ「MNOICセミナー 世界的なNMEMS研究拠点の活用」

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2012年7月11日 (水)

本日、晴天のもとに総合イベント「マイクロナノ2012」が開催されました。

2012年7月11日 (水)

本日、晴天のもとに総合イベント「マイクロナノ2012」が開催されました。
以下詳細です。

【総合イベント マイクロナノ2012】

<世界最大規模のMEMS、ナノ、バイオの総合イベント>
第23回マイクロマシン/MEMS展
 【同時併催】ROBOTECH次世代ロボット製造技術展
2012年7月11日(水)~13 日(金)
東京ビッグサイト(東京国際展示場)東2ホール


一般財団法人マイクロマシンセンターは、マイクロナノ/MEMS分野の最新技術・製品が効果的に一望できる総合イベント「マイクロナノ2012」を本日開催しました。
MEMS領域における世界最大規模の総合イベントである「マイクロナノ2012」は、当センターが主催し、メサゴメッセフランクフルトがオーガナイザーとなって運営しています。
 約200社超の/機関/大学が出展し、マイクロナノ分野やロボット分野の製品や最新技術を展示しておりますので、ブログをご覧の皆様にもぜひご来場いただきたいと存じます。

 また、総合イベント「マイクロナノ2012」では、国内外の一線で活躍する専門家・研究者をお招きして、マイクロマシン/MEME分野の最新情報を提供する同時開催プログラムを次のとおり開催しております。

 7月11日13:00~16:50 国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム(本日開催)
 7月11日13:00~16:25 グリーンセンサ・ネットワークプロジェクト成果報告会(本日開催)

 7月12日15:00~17:30 TIA N-MEMSシンポジウムPartⅠ MNOICセミナー
 7月13日10:20~11:55 TIA N-MEMSシンポジウムPartⅡ MEMS協議会フォーラム
 7月13日13:00~16:00 BEANSプロジェクトセミナー

すべて無料でご参加できますので、ぜひこの機会にご聴講ください。

会期中は、3日間で1万5千人を来場を目標に出展者一同頑張っておりますので、ぜひともご来場をお待ちしております。

さて、本日の会場の様子です。


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会場入り口

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会場内の様子


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最終年度を迎えたBEANSプロジェクトブース


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今年度、初出展のグリーンセンサグリーンセンサ・ネットワークプロジェクトのブース

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国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムでの作田理事長主催者挨拶

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来賓ご挨拶の経済産業省の藤木産業機械課長


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国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの講演風景1


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国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの講演風景2

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国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの講演風景3

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グリーンセンサ・ネットワークプロジェクト成果報告会1

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グリーンセンサ・ネットワークプロジェクト成果報告会2

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グリーンセンサ・ネットワークプロジェクト成果報告会3

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マイクロマシンセンターBoothの受付です。

みなさまのご来場お待ちしております。

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2012年7月 9日 (月)

MEMS協議会・メンバー交流会を開催しました。(2012年6月27日)

一般財団法人マイクロマシンセンター、MEMS協議会はMEMSを中心とした我国の産業競争力の強化を目的に、MEMS関連企業の構成メンバーが中心となってアフィリエート関係にあるアカデミア、地域拠点や海外機関と連携しつつ、行政・関係機関への政策提言や産業交流、産業活性化のための様々な活動を行っています。昨年度は東日本大震災による災害と、厳しい節電要求の中での活動でしたが、2011年4月1日にTIA(つくばイノベーションアリーナ)の活動の一環として設立したマイクロナノ・オープンイノベーションセンター(MNOIC)の運用を10月から開始し、2月から5月にかけて特定の装置は予約が困難になる程のユーザのご要望がありました。また国際交流ではマイクロマシンサミットや海外の展示会出展、MNOICが参考とすべき海外の研究拠点との意見交換等の交流を幅広く行いました。更に人材育成では産総研・集積マイクロシステム研究センター(UMEMSME)との共催でMNOIC/UMEMSMEセミナーを中心に、総計26回のセミナーやシンポジウムを開催し、のべ996名の参加者を集める事が出来、大きな実績を作りました。このようにMEMS協議会の活動は、政策提言や技術動向・産業動向調査、産学連携のハブとしてのみならず、広報や国際交流等に渡って幅広く行なっています。
このような諸活動と共に、メンバーの交流の場として毎年開催されるMEMS協議会・メンバー交流会(今年度としては1回目)を6月27日に東京都、商工会館にて開催しました。経済産業省・産業機械課、および独立行政法人、新エネルギー・産業技術総合開発機構・技術開発推進部からのご来賓を交えて、MEMS協議会への期待や課題に対する議論を交える場として開催しました。最初にMEMS協議会会長である作田(MMC理事長)による主催者挨拶があり、MEMS協議会が産学のハブになっていること、MNOICは長期的に取り組みことを強調しました。交流会にご参加頂いたMEMS協議会の会員の方々にMEMS協議会の活動を良く理解して貰うために活動内容のレジメを準備しましたが、このような会員へのサービスは今後益々充実して行きたいと思います。ご来賓の方々、MEMS協議会メンバーを合わせて約60人の参加であり、MNOICの潜在ユーザとの意見交換が出来た有意義な会でした。皆様の多くのご意見を取り入れて、より皆様にとって有意義なMEMS協議会として行きたいと思います。(MEMS協議会 三原 孝士

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写真 1 MEMS協議会交流会の様子

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写真 2 MEMS協議会顧問 東大・下山教授によるご挨拶

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