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2012年7月20日 (金)

第8回MEMS標準化ワークショップ

 IEC SC47F/WG1国際標準化アドホック会議に引続き、6月29日に韓国・済州島で第8回日韓中MEMS標準化ワークショップが開催されました。将来の標準化に向けてのロードマップや、MEMSに関連する研究開発のトピックスが日韓中各国より計9件紹介され、それぞれの発表に対して活発に質疑応答がなされました。各発表の概要を以下に示します。
(1)Footprint and Roadmap of MEMS Standardization by JNC(マイクロマシンセンター・出井敏夫):日本
 MEMSに関するこれまでの日本からの規格提案実績と今後の提案予定及び進むべき方向についてプレゼンテーションが行われ、今後の方向として、既存規格の見直し、MEMS応用分野およびエネルギーハーベスティングのような新分野での規格提案を推進すべきとの方向が示されました。
P1010269_2
(2)Research on Energy Harvesting Applications in Japan(マイクロマシンセンター・出井敏夫):日本
 SC47F/WG1アドホック会議(6/27)における東京大学・鈴木教授による説明に関連して、日本におけるエネルギーハーベスティング応用の研究状況について説明が行われ、さらに今回同行のNTTデータ経営研究所・竹内敬治氏よりエネルギーハーベスティングコンソーシアムの活動状況について説明が行われました。
(3)Mechanical Properties of Three Dimensional Micro-sized Components for MEMS Devices(東京工業大学・石山千恵美助教):日本
 パーマネントレジストSU-8をMEMS構造材料として応用する際の、基本的な変形・破壊特性に関する実験結果が報告されました。溶媒や添加物等の成分や、露光量の違いによっても特性が変化するため注意が必要とのことです。
(4)MEMS standards in China (Prof Bo CUI/Hebei Semiconductor Research Institute):中国
 中国国内のMEMS関連標準化進捗状況について報告が行われ、2013年の初めにIECに国際規格の提案を3件提出する予定であることが示されました。
(5)High precision MEMS accelerometer (Prof Chengchen GA/ Beijing University):中国
 北京大学にて開発された加速度センサーの、プロセス並びに性能についての詳細が紹介されました。
(6)Micro Electro-Elasto-Capillarity: A Novel Actuation Method for MEMS Devices (Prof Ziqian WANG/Institute of Mechanics Chinese Academy of Sciences):中国
 迅速・低侵襲の医療への適用をめざし、薄膜に電界をかけて制御して血液などの液滴を封止・開放する技術について、実験報告が行われました。現在は350Vの電圧を加えており、薄膜化、小液滴化による低電圧化が課題のひとつとのことです。
(7)MEMS Standardization Roadmap of Korea toward 2020 (Prof Sekwang Park/Kyungpook National University):韓国
 韓国におけるMEMS関連標準化のロードマップが紹介されました。携帯電話端末、インクジェットヘッドなどMEMS適用製品の成熟段階と関連付けて、2020年に向けての重点分野が示され、あらたな分野としてエネルギー変換・蓄積、3次元半導体の測定・分析が挙げられました。P1010274
(8)Particle and fluid properties measurement using micro-fluidic beam resonator (Prof Jungchul Lee/Sogang University):韓国
 血流などの液流を微小流路でカンチレバーの共振器に分流させ、共振点のずれで液中に含まれる不純物(ウィルスなど)を検出する研究について報告がありました。HIVウィルスの検出を当面の目標としています。
(9)MEMS neural probe for optogenetics (Dr Il-joo Cho/KIST):韓国
 脳神経が光に反応するように遺伝子操作したラットを使って、脳神経細胞の反応を光プローブを用いて観察する研究の様子が紹介されました。

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