MEMSの波（ブログニュース）

　既にこのブログにて何度もご案内させて頂きました、MNOIC装置セミナー「ツール　de　ＭＮＯＩＣ -先端NMEMS拠点見学と研究開発ツール紹介-」を２０１２年２月１４日（火曜日）に産総研・東事業所NMEMSイノベーション棟の国際セミナー室にて、集積マイクロシステム研究センターとの共催、TIA後援で開催致しました。TIA N-MEMS研究プラットフォームを活用するMNOICは2011年4月に設立、8月にHPにご案内して受付を開始し、既に沢山の法人の方々から申し込みを頂いて活用を開始しています。
今回、「MNOIC装置セミナー」として世界最先端のMEMS装置群に関して、装置メーカからの口頭発表と、ポスター発表を行う場を設定致しました。
　最初に主催者としてMNOIC所長・今仲とUMEMSMEセンター長・前田からの挨拶のあと、世界最先端のMEMS研究で知られる東北大学・江刺教授による特別講演「MEMS装置に関係するMEMSプロセス・パッケージング・テスト技術」と題してご講演を頂きました。MEMSデバイスの歴史は、その加工・製造装置の開発と言っても良いほど、江刺教授の装置開発の歴史は深いことに感銘を受けました。その後、６件の最先端装置のご紹介、UMEMSMEの小林氏からPZT薄膜の最先端の装置＆デバイス技術の紹介、更に約３０件の装置メーカからのポスター発表がありました。このようなイベントを開催することで、改めてMNOICが最先端で、大口径のMEMS開発装置を所有している実感をうけました。今回の参加者は、装置メーカや関連技術者とデバイスや応用研究者・技術者が半々位と推測されます。このような機会こそが、MNOICの掲げるオープンイノベーションの自由な発想とアイデア創出の場であると改めて思いました。当日は、午前中に前日開催されたISIM２０１２の出席者（海外のお客様を含めて）と、本装置セミナー参加者へのMNOIC研究施設見学会参加者が約４０名、このセミナー参加者が約８０名強と大変盛況であったことを報告しておきます。更に中国ナノテク団がセミナーの途中から合流する等の大変忙しいイベントでした。このようなイベントを通じて、改めて最先端装置への期待が高いこともわかりましたが、実態はこれらの最先端装置を最良の状態で維持することは、現状のMNOICスタッフの規模では十分ではありません。装置メーカの技術者の方々に、さらなるご支援をお願いするとともに、今後もこのようなイベントを開催したいと思います。（MNOIC研究企画　三原　孝士）

写真　１　江刺教授の特別講演

写真　２　国際セミナー室が満杯になる盛況ぶり

写真　３　UMEMSME　小林氏による大口径PZT薄膜の実用化状況

写真　４　多くの方々にご参加頂いた交流会