MEMSの波（ブログニュース）

MEMS関連の内閣府プロジェクトである「最先端研究開発支援プログラム」は新たな知を創造する基礎研究から出口を見据えた研究開発まで、さまざまな分野及びステージを対象とした、３～５年で世界のトップを目指した先端的研究を目的とした先進的な研究として良く知られています。このプロジェクトは東北大学マイクロシステム融合研究開発センター (μSIC)と産総研・集積マイクロシステム研究センターが実施しています。この成果発表と、世界の第一線研究者が集合する2nd International Symposium on Integrated Microsystems (ISIM2012)が、2012年2月13日に「つくば市・エポカルつくば」にて開催されました。このプロジェクトは集積マイクロシステム研究センター（前田センター長）で開発されている大口径の強誘電体薄膜の利用と、その実用化、また東北大学（江刺教授、田中教授）で実施されている機能材料の最高性能を維持したままMEMSとの三次元実装を行う集積化MEMS実装技術等の優れた成果が続々できています。また国際会議としてMEMS関連の著名な研究者が多数参加され、MEMSの世界的研究拠点として認知されています。
　そのような国際会議にてMNOIC所長・今仲行一が「Introduction of MNOIC @ Tsukuba - MicroNano Open Innovation Center – 」と題してMNOICの紹介をしました。（写真１）日本では、このようなオープンイノベーションが可能な大型の研究施設が無かったので、大きな注目を浴びたものと確信しています。またパネル討論会では、海外からの著名や研究者が壇上にあがり、最先端の研究開発課題やオープンイノベーションに関する熱心な討論がされました。（写真２-３）
　また夕刻に交流会とセットになったポスター報告会が開催されました。この中には最先端技術の報告と、MEMS関連企業によるポスター出展がありました。私もこの機会を使ってMNOICのポスター報告を行いました（写真４）。丁度、別のブログで紹介予定のMNOIC装置セミナーの前日（前夜）と言うこともあって、この発表やポスターを見て、MNOIC装置セミナーやMNOIC設備見学会をその場で決めたと言う方も複数いらして、大変有効であったと考えています。（MNOIC研究企画　三原　孝士）

写真　１　MNOIC所長　今仲によるMNOIC紹介

写真　２　パネル討論会の様子

写真　３　パネル討論会での会場の様子

写真　４　ポスター報告会