« 2012年2月 | トップページ | 2012年4月 »

2012年3月

2012年3月15日 (木)

MEMS協議会・メンバー交流会を開催しました。(2012年2月22日)

 一般財団法人マイクロマシンセンター、MEMS協議会はMEMSを中心とした我国の産業競争力の強化を目的に、MEMS関連企業の構成メンバーが中心となってアフィリエート関係にあるアカデミア、地域拠点や海外機関と連携しつつ、行政・関係機関への政策提言や産業交流・活性化のための様々な活動を行っています。今年度は東日本大震災による未曾有の災害で、マイクロナノ2011開催が危ぶまれ、また2011年4月1日にTIA(つくばイノベーションアリーナ)の活動の一環として設立したマイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)のユーティティに甚大な被害があった、更に産総研の夏季の大幅節電要求、と言った困難な状況の連続でしたが、スタッフの前向きさと不断の努力で、この困難な局面を乗り超えることが出来ました。すなわち総合イベント「マイクロナノ2012」は出展者、来場者の人数は多少減ったものの盛大に行ない、またMNOICのユーティリティや装置設備も復旧させ、サービス制度導入も進んで8月から受付開始、10月からサービス開始、2月には特定の装置は予約が困難になる程のユーザのご要望がありました。
 このような状況の下で、メンバーの交流の場として毎年開催されるMEMS協議会・メンバー交流会(今年度は2回目)では、経済産業省・産業機械課、および独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構・技術開発推進部からのご来賓を交えて、MEMS協議会への期待や課題に対する議論を交える場として開催しました。今回は、交流会にご参加頂いたMEMS協議会の会員の方々にMEMS協議会の活動を良く理解して貰うために活動内容のレジメを準備しましたが、このような会員へのサービスは今後益々充実して行きたいと思います。ご来賓の方々、MEMS協議会メンバーを合わせて約65人の参加であり、MNOICの潜在ユーザとの意見交換が出来た有意義な会でした。皆様の多くのご意見を取り入れて、MNOICの運営に生かして行きたいと思います。(MEMS協議会 三原 孝士)

Iinnchou
写真 1 MEMS協議会副会長 堤和彦氏による主催者挨拶

Kaijyou
写真 2 MEMS協議会交流会の様子

| | コメント (0)

UMEMSME-MNOICセミナー開催の状況

ご存知のようにマイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)は、一般財団法人・マイクロマシンセンターMEMS協議会が運営する、産総研・集積マイクロシステム研究センターのMEMS研究拠点(つくばR&D研究プラットフォーム)を産業界が利活用するために設立された組織であり、TIA(つくばイノベーションアリーナ)研究拠点の一翼を担っています。このMNOICの活動は「“マイラボ”と言う研究施設の利用」、「”マイファブ“と言う研究装置の時間貸し」が主な活動ですが、人材育成も重要であると考えています。この人材育成事業は、一般財団法人マイクロマシンセンター・MEMS協議会の「マイクロナノインベータ人材育成プログラム」の一貫でもあります。その中でも、集積マイクロシステム研究センター(UMEMSME)と共催している人材教育セミナーを「UMEMSME - MNOICセミナー」と呼んでいます。本セミナーは2種類のセミナーで構成されています。この内、千葉工業大学・総合研究所・創造性教育プログラム開発センター長 佐野利男教授をモデレータとして迎え、毎会、産官学の講師による事例発表と、その後の議論を行いながら実践的なマイクロナノ領域のMOTを深堀する場として「MOTセミナー」があります。佐野教授のセミナー方針「顧客の要望を取り込む製品企画から、技術的仕様に変換する設計、生産の立ち上げに至る製品開発は、製品のライフサイクルの源流に位置する重要な価値創造のプロセスである。【技術】をベースとする製品開発のマネージメントについて概説する。」に基づいて、毎会異なった講師を迎えて開催してきました。また産業界の方々が参加しやすいように、MNOICに設置された先端装置の装置メーカの技術紹介と一緒に講演して頂き、議論を盛り上げています。

                  

 今年度(2011年度)は6回開催し、1時間の講師の持分に対し発表30分、討論30分と大変活発な討論が出来る実践的なセミナーです。下表に今年度の実施結果を示します。6回のセミナーでのべ、170人の参加がありました。写真は、第5回の今仲行一・MNOIC所長担当のセミナーの一コマです。2012年度も同様なセミナーを開催予定です。尚、NMEMSイノベーション棟に在籍の方や、MNOICの契約法人は1法人何名でも無料でご参加可能です。今後も人材育成事業として様々な企画を予定しています。皆さんの沢山のご参加をお待ちしています。(MNOIC研究企画 三原 孝士) 

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              
月日 テーマ名講師 参加人数
1 7/6ナノメカニクスの研究とそのセンシング応用石原 直東京大学 60
MOTの役割佐野利男千葉工業大学
210/5 「超高解像度電子線描画装置の紹介」 エリオニクス19
製品開発マネージメント(1)概論 「顧客の要望を取り込む価値創造のプロセスとしての「技術」をベースとする製品開発のマネージメントについて概説する。」佐野利男千葉工業大学
311/2 導入した犠牲層エッチング装置説明及びコーティング装置の説明山本 笹川 キャノンマーケティング㈱14
製品開発マネージメント(2)企業における研究開発のマネジメントについて荒川雅夫MNOIC
412/7 表面処理のご紹介:表面処理(表面改質・精密洗浄)及び、表面処理剤のご紹介 衛藤 善美株式会社ネオス19
ガラス熱インプリントを目的とした電鋳金型の開発安井 学神奈川県産業技術センター
製品開発マネージメント(3)MEMSの開発事例 ― 光スイッチ、及びMEMS用設計解析ツール「MemsONE」原田 武MNOIC
51/11製品開発マネージメント(4今仲行一MNOIC38
62/1 ドイツの産官学連携、MEMS研究開発拠点の紹介と、日本でのMEMS研究開発の課題三原 孝士MNOIC20
                  

| | コメント (0) | トラックバック (0)

MNOIC装置セミナー&見学会が多数の参加者で盛大に開催されました。

 既にこのブログにて何度もご案内させて頂きました、MNOIC装置セミナー「ツール de MNOIC -先端NMEMS拠点見学と研究開発ツール紹介-」を2012年2月14日(火曜日)に産総研・東事業所NMEMSイノベーション棟の国際セミナー室にて、集積マイクロシステム研究センターとの共催、TIA後援で開催致しました。TIA N-MEMS研究プラットフォームを活用するMNOICは2011年4月に設立、8月にHPにご案内して受付を開始し、既に沢山の法人の方々から申し込みを頂いて活用を開始しています。
今回、「MNOIC装置セミナー」として世界最先端のMEMS装置群に関して、装置メーカからの口頭発表と、ポスター発表を行う場を設定致しました。
 最初に主催者としてMNOIC所長・今仲とUMEMSMEセンター長・前田からの挨拶のあと、世界最先端のMEMS研究で知られる東北大学・江刺教授による特別講演「MEMS装置に関係するMEMSプロセス・パッケージング・テスト技術」と題してご講演を頂きました。MEMSデバイスの歴史は、その加工・製造装置の開発と言っても良いほど、江刺教授の装置開発の歴史は深いことに感銘を受けました。その後、6件の最先端装置のご紹介、UMEMSMEの小林氏からPZT薄膜の最先端の装置&デバイス技術の紹介、更に約30件の装置メーカからのポスター発表がありました。このようなイベントを開催することで、改めてMNOICが最先端で、大口径のMEMS開発装置を所有している実感をうけました。今回の参加者は、装置メーカや関連技術者とデバイスや応用研究者・技術者が半々位と推測されます。このような機会こそが、MNOICの掲げるオープンイノベーションの自由な発想とアイデア創出の場であると改めて思いました。当日は、午前中に前日開催されたISIM2012の出席者(海外のお客様を含めて)と、本装置セミナー参加者へのMNOIC研究施設見学会参加者が約40名、このセミナー参加者が約80名強と大変盛況であったことを報告しておきます。更に中国ナノテク団がセミナーの途中から合流する等の大変忙しいイベントでした。このようなイベントを通じて、改めて最先端装置への期待が高いこともわかりましたが、実態はこれらの最先端装置を最良の状態で維持することは、現状のMNOICスタッフの規模では十分ではありません。装置メーカの技術者の方々に、さらなるご支援をお願いするとともに、今後もこのようなイベントを開催したいと思います。(MNOIC研究企画 三原 孝士)

Esashi
写真 1 江刺教授の特別講演

Kaijyo_2
写真 2 国際セミナー室が満杯になる盛況ぶり

Kobayashi
写真 3 UMEMSME 小林氏による大口径PZT薄膜の実用化状況

Kouryuukai
写真 4 多くの方々にご参加頂いた交流会

| | コメント (0)

国際会議ISIM2012にてMNOICの紹介

MEMS関連の内閣府プロジェクトである「最先端研究開発支援プログラム」は新たな知を創造する基礎研究から出口を見据えた研究開発まで、さまざまな分野及びステージを対象とした、3~5年で世界のトップを目指した先端的研究を目的とした先進的な研究として良く知られています。このプロジェクトは東北大学マイクロシステム融合研究開発センター (μSIC)と産総研・集積マイクロシステム研究センターが実施しています。この成果発表と、世界の第一線研究者が集合する2nd International Symposium on Integrated Microsystems (ISIM2012)が、2012年2月13日に「つくば市・エポカルつくば」にて開催されました。このプロジェクトは集積マイクロシステム研究センター(前田センター長)で開発されている大口径の強誘電体薄膜の利用と、その実用化、また東北大学(江刺教授、田中教授)で実施されている機能材料の最高性能を維持したままMEMSとの三次元実装を行う集積化MEMS実装技術等の優れた成果が続々できています。また国際会議としてMEMS関連の著名な研究者が多数参加され、MEMSの世界的研究拠点として認知されています。
 そのような国際会議にてMNOIC所長・今仲行一が「Introduction of MNOIC @ Tsukuba - MicroNano Open Innovation Center – 」と題してMNOICの紹介をしました。(写真1)日本では、このようなオープンイノベーションが可能な大型の研究施設が無かったので、大きな注目を浴びたものと確信しています。またパネル討論会では、海外からの著名や研究者が壇上にあがり、最先端の研究開発課題やオープンイノベーションに関する熱心な討論がされました。(写真2-3)
 また夕刻に交流会とセットになったポスター報告会が開催されました。この中には最先端技術の報告と、MEMS関連企業によるポスター出展がありました。私もこの機会を使ってMNOICのポスター報告を行いました(写真4)。丁度、別のブログで紹介予定のMNOIC装置セミナーの前日(前夜)と言うこともあって、この発表やポスターを見て、MNOIC装置セミナーやMNOIC設備見学会をその場で決めたと言う方も複数いらして、大変有効であったと考えています。(MNOIC研究企画 三原 孝士)

Imanaka
写真 1 MNOIC所長 今仲によるMNOIC紹介

Paneru
写真 2 パネル討論会の様子

Kaijyo
写真 3 パネル討論会での会場の様子

Poster
写真 4 ポスター報告会

| | コメント (0)

NBCI「TIA-nanoの見える化」第1回講演会にて、MNOICの紹介をしました。

ご存知のように、マイクロナノ・オープンイノベーションセンター(MNOIC)はTIA(つくばイノベーションアリーナ)研究拠点の活動の一貫として行なっています。またナノテク関連企業の工業会であるナノテクノロジービジネス推進協議会(NBCI)が中心になって、TIA-nano推進協議会(ナノテクノロジー拠点“つくばイノベーションアリーナ”(TIA-nano)の運営主体とその拠点を活用するユーザー組織・産業界等との間の連携体制を構築し、相互のコミュニケーションを円滑にし、必要な活動を推進することを主たる目的として設営されたクラスター的存在)が2011年5月25日に発足されました。一般財団法人マイクロマシンセンター関連では、MEMS協議会、技術研究組合 BEANS研究所、技術研究組合 NMEMS技術研究機構 がそのメンバーとして加わり、TIAのユーザとしての立場で、TIAを更に整備し、オープンにする為の議論を繰り返してきました。「TIA-nanoの見える化」はその活動の一貫と考えています。
「TIA-nanoの見える化」とは、TIA-nanoおよびその背景にある技術シーズ、研究施設などの技術基盤を産業界が新製品・新事業の創出に活用しやすい形にして、広く産業界へと紹介する活動です。ご興味のある方は、文末のURLでHPを訪問してください。ナノテクノロジービジネス推進協議会が作成している「NBCIビジネスロードマップ」(公開)などから、ニーズや応用を表すキーワードを選び、そのキーワードから、順次選択していくと、 TIA-nanoおよびその背景にある技術シーズ、研究施設などに容易にたどり着けるようになっています。
その活動の一貫として2012年2月2日に日本教育会館にて「TIA-nanoの見える化」第1回講演会が開催されました。その中で、「NMEMS技術研究機構の活動」と題して今仲行一技術研究組合NMEMS技術研究機構理事長が講演し、「8/12インチMEMSラインを活用するMNOICのサービス概要」と題して三原がMNOICの紹介を致しました。
TIAはMEMS以外にも、ナノ材料を扱うナノグリーン、物質・材料研究機構の共用施設の利用、先端機器共用イノベーションプラットフォーム(IBECセンター)のサービス等の幅広い活動があります。是非、皆さんも活用されることを期待します。(MNOIC研究企画 三原 孝士)
ナノテクビジネス推進協議会HP http://www.nbci.jp/tia-nano-mieruka/
TIA-nanoの見える化HP:http://www.nbci.jp/tia-nano-mieruka/

| | コメント (0)

2012年3月 8日 (木)

第18回MEMS講習会開催される(2月28日)

 2月28日(火)に京都大学楽友会館でMEMS講習会が開催されました。今回は「ナノバイオデバイス及び次世代ヘルスケアシステムの最前線」をテーマにナノバイオデバイスとそれらを応用した医療ヘルスケアシステムの分野において、デバイスからシステムまで最新の研究開発に携わっておられる研究者の方をお招きして、講習会を開催いたしました。
 70人の会場は満席になり、最近、この分野への関心が非常に高いことが伺えました。講演内容の要点は以下の通りです。

1.【基調講演】京都大学 マイクロエンジニアリング専攻 小寺 秀俊
  「バイオMEMS及び医療用マイクロシステムの最新動向」
・MEMS、マイクロTASの開発の歴史
・マイクロ素子開発のためのオープンな試作ライン、開発拠点となる大学のネットワークを構築
・小寺研究室では医療検査システム用のナノデバイスとして、進行波型マイクロポンプ、表面プラズモン共鳴バイオセンサ、マルチマイクロチャネル、信号の送受信を行うマイクロアンテナ等の素子を開発
・再生医療に必要な細胞機能計測を行うマイクロ素子を開発P2280074

2.名古屋大学  工学研究科・医学研究科 教授 馬場 嘉信
  「ナノバイオデバイスが拓く未来ヘルスケアとバイオセンサへの展開」
・最先端研究開発支援プログラム/川合プロジェクトより開発デバイス紹介
・細胞チップを用いた超高感度ガン検出、1ppmの血液中のがん細胞を検出
・みどり虫を使ったガン細胞検出、ガン退治
・量子ドットを応用したDNA解析、幹細胞作用のイメージング化

P2280082

3.オムロン株式会社 技術本部 中嶋 宏 
 「ホームメディカルケアへの取り組み」
・生活習慣病予防のため家庭でのセルフモニタリングが重要な指標に
・特に血圧の日常管理が重要
・オムロンヘルスケアでは血圧、体脂肪、活動量等を測定し、携帯アプリを活用した健康増進のためのアドバイスを行うウェルネスリンクサービスを開始

4. ㈱国際電気通信基礎技術研究所(ATR)環境知能研究室 野間 春生
  「位置情報を応用した病院情報システム」
・病院の看護婦に位置情報センサを付けて行動を把握、看護婦の作業の効率化(負荷低減)に寄与

5.ローム株式会社 ナノバイオニクス研究開発センター 丹羽 大介 
  「ロームのナノバイオへの取組みとマイクロ流体バイオチップの開発」
・ロームの医療ヘルケア分野への取組み紹介
・3つのキーコンセプト:ポータブルシステム、マイクロフルイディクス、オプティカルセンシング
・マイクロTASを応用した微量サンプル血液分析装置を商品化
・半導体プロセスコンパチ表面プラズモンバイオセンサ、呼気診断への応用

6.ソニー株式会社 先端マテリアル研究所 勝本 洋一 
  「マイクロ流路技術による細胞分析の新展開」
・マイクロTASを応用した血液診断用高速フローサイトメータの開発

7.オリンパス株式会社  
  「MEMSカンチレバーとナノバイオデバイス」
・MEMSカンチレバーのバイオ分子形状(タンパク質、DNA)観察への応用

8.MMCファンドリーネットワーク委員会 貫井 進(オムロン株式会社) 
  「MEMSファンドリーサービス」

9.みずほ総研㈱ 藤原 信代 
  「MemsONEを用いたMEMS設計及び今後の展開

10.マイクロマシンセンター 三原 孝士
  「マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)紹介」

11.京都大学 Nanohab 松嶋 朝明
   「次世代低炭素ナノデバイス創製ハブ」

全体を通して、MEMSのバイオや医療ヘルスケアデバイスへの応用は、約20年ほど前から行われてきましたが、今回のローム様のマイクロTASを応用した血液分析装置の商品化をはじめとして、ようやく本格的な実用化フェーズに入ってきました。今後高齢化社会を迎え、オムロン様に講演頂いたホームヘルスケアのようなPOC医療・ヘルスケアへのニーズが益々高まってくることは間違いなく、MEMSの大きな応用事業に成長しつつあることが強く感じられました。
講演会後、懇親会が催され多くの方に交流をして頂きました。
今後も社会のトレンドにマッチした魅力ある講習会を企画していきますので、また多くの方の参加をお待ちいたします。

阪井 淳

| | コメント (0)

« 2012年2月 | トップページ | 2012年4月 »