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2012年2月

2012年2月14日 (火)

MemsONE V5.0リリース案内

 MemsONE最新版V5.0のリリースを2月6日(月)から開始しました。 本バージョンは、MEMS回路シミュレータとプロセス逆問題解析に対して機能強化を図ると伴に、操作性に関わる機能の改善とVer.4.0の安定化を図っています。
改善・強化機能の詳細については、ホームページ「MemsONEひろば」の「リリース案内」:
  http://mmc.la.coocan.jp/mems-one/hiroba/release_info/
で、ご覧ください。
なお、下記の条件に該当するユーザ様には、DVD媒体を無償提供致します。
  ◆スタンダード版導入企業で使用期間(保守期間)中の場合
  ◆アカデミック研究版導入ユーザでライセンスが有効な場合

アカデミック版のお申込みは、ホームページ「MemsONEひろば」の「アカデミック版申込み」:
  http://mmc.la.coocan.jp/mems-one/hiroba/propose_ac/
からお願いします。

Memsone_v5

ご不明な点が御座いましたら、下記までお問合せください。
 一般財団法人マイクロマシンセンター 
 MemsONEサポートセンター 担当:水津
 電話: 03-5835-1870 FAX: 03-5835-1873
 E-mail: mems1-user@mmc.or.jp

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2012年2月 9日 (木)

TIA N-MEMS シンポジウム「MNOIC装置セミナー」 ポスター報告のご案内

既にご案内しています2012年2月14日開催のTIA N-MEMS シンポジウム「MNOIC装置セミナー」 におけるポスター報告のリストができましたのでご案内致します。皆様の積極的なご参加をお待ちしています。申し込みはこちらからお願い致します。申し込みは随時受け付けます。また当日受付も致しますので直接講演会場でお申し込みください。(MNOIC研究企画 三原 孝士)


TIA N-MEMS シンポジウム「MNOIC装置セミナー」

「ツール de MNOIC -先端NMEMS拠点見学と研究開発ツール紹介-」


開催日:2012年2月14日(火曜日) 13時20分から17時10分
(但し、MNOIC装置見学会は11時20分から12時15分まで)
開催地:産総研・東事業所 NMEMSイノベーション棟(4G棟)
国際セミナー室(1F ロビー横)
連絡先およびアクセス:つくば開発センター
掲載:こちら
主催:一般財団法人マイクロマシンセンター MNOIC
共催:集積マイクロシステム研究センター(独立行政法人・産業技術総合研究所)
後 援:つくばイノベーションアリーナナノテクノロジー拠点運営最高会議

4. 第四部 ポスターセッションとMNOIC個別相談会 (16:10-17:1 0) 
・ 場所:国際セミナー室にて
 (MNOIC個別相談は4F MNOIC研究居室にて)
・世界最先端大口径MEMS製造装置群のポスターご紹介
・UMEMSME関連の最先端研究状況ポスターおよび関連技術展示
・MNOIC個別相談会(ご希望者は申し込み時、あるいは受付時にお申し込みください。):4F MNOIC研究居室にて)

以下、ポスター報告のリストです。

   装置名  会社名 展示概要
 1 ウェハ洗浄装置ほか ㈱日立ハイテクトレーディング ウェハのセミオートスピン洗浄・乾燥装置
 2 異方性エッチング装置ほか ㈱カナメックス ウェハ揺動による高均一性エッチング
 3 マスク露光装置、接合装置 イーヴィグループジャパン㈱ 高段差対応、両面アライメント、プロキシミティ露光
 4 マスクレス露光装置 東芝機械㈱ 大口径ウェハへのDMDによるレーザスキャン直描
 5 TEOS-CVD、TSVへの応用 サムコ㈱ 高アスペクトTSVに適した低温SiO2プラズマCVD成膜
 6 縦型炉 光洋サーモシステム㈱ カセットツーカセット25枚バッチ半量産装置
 7 ICPドライエッチング装置 パナソニック㈱ 低フットプリント、SiO2・メタルICPドライエッチング
 8 大口径Si深堀ドライエッチ装置 SPPテクノロジーズ㈱ 8インチ、12インチボッシュプロセスDeepRIE装置
 9  犠牲層ドライエッチ装置 キャノンマーケティングジャパン㈱ SiO2犠牲層リリースエッチング、撥水膜コーティング装置
産業用X線CT装置 キャノンマーケティングジャパン㈱ X線撮像による3D構造の非破壊評価装置
 10 光学検査装置 ㈱モリテックス ウェハレベル自動光学顕微鏡観察欠陥検査装置
 11 チップtoウェハ/ウェハ接合装置 ボンドテック㈱ プラズマクリーニングによるウェハレベル低温接合
 12 MEMSテスター エスティケイテクノロジー㈱ セミオートウェハレベルプローバテスター
 13 MemsONE みずほ情報総研㈱ 純国産のMEMS用設計解析支援システムソフトウェア
 14 ミニマルファブ (独)産業技術総合研究所 超小型ウェハによる枚葉処理半導体プロセス装置
 15 大面積電鋳金型技術 池上金型工業㈱ 12インチ対応金型電鋳プロセス技術
 16  検討中 ナノクラフトテクノロジーズ㈱  検討中
 17  検討中 マリモ電子工業㈱ 検討中
 18  検討中 ㈲VIYIA 検討中
 19  検討中 ㈱D-process 検討中

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2012年2月 3日 (金)

第18回 MEMS講習会 「ナノバイオデバイス及び次世代ヘルスケアシステムの最前線」ご案内

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第18回 MEMS講習会
マイクロナノイノベーター人材育成プログラム
「ナノバイオデバイス及び次世代ヘルスケアシステムの最前線」
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http://www.mmc.or.jp/fsic/seminar/koshu-18/koshu-18.html
主催:一般財団法人 マイクロマシンセンター
協力:京都大学 工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻

半導体微細加工技術を応用して、微小な電気要素と機械要素を1つのデバイスに組み込んだMEMSは、モバイル機器、ゲーム、自動車、ロボット、医療・バイオ、環境・エネルギーなど多様な分野におけるキーデバイスとしてさらなる市場拡大が期待されています。
一般財団法人マイクロマシンセンターでは、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために、マイクロナノイノベータ人材育成プログラム事業の一環としてMEMS講習会を開催しています。  
高齢化社会の到来に対応して、遠隔医療、ホームヘルスケアシステム等、いつでもどこでも簡便に健診が受けられるシステムの開発が盛んに行われています。
それらのシステムを実現するためには小型で高精度なバイタルセンサが必要で、微細加工技術、エレクトロニクス技術、バイオ技術等を融合したナノバイオ技術の開発も重要性を増しています。
本講習会では、ナノバイオデバイスとそれらを応用したヘルスケアシステムの分野において双方から最新の研究に携わっておられる研究者をお招きして、デバイスからシステムまで最新動向を広く紹介して頂くとともに、関係者の方々の交流を深めて頂いて、今後の同分野の研究開発の加速につなげられるよう本講習会を開催させて頂きます。

○日時:2012年2月28日(火)13:00~17:25 懇親会 17:30~18:30

○場所:京都大学 吉田キャンパス 楽友会館 同場所で懇親会を開催
http://www.kyoto-u.ac.jp/ja/profile/intro/facilities/kyoshokuin/rakuyu/access.htm

○プログラム
・13:00-13:05 主催者挨拶
・13:05-13:50【基調講演】京都大学 工学部 教授 小寺 秀俊 「MEMS及びバイオナノマイクロシステムの最新動向」
・13:50-14:35【特別講演】名古屋大学 工学部 教授 馬場 嘉信 「ナノバイオデバイスが拓く未来ヘルスケアとバイオセンサへの展開」
・14:35-15:00 オムロン㈱ コアテクノロジセンター 中嶋 宏 「ホームメディカルケアの将来動向」
・15:00-15:25 ㈱国際電気通信基礎技術研究所(ATR)環境知能研究室 野間 春生 「位置情報を応用した病院情報システム」
・15:25-15:40 休憩【MEMSファンドリー企業パネル展示】
・15:40-16:00 ローム㈱ 丹羽 大介 「ロームのナノバイオセンサへの取組みとマイクロ流体バイオチップの開発」
・16:00-16:20 ソニー㈱ 勝本 洋一 「マイクロ流路技術による細胞分析の新展開」
・16:20-16:40 オリンパス㈱ 太田 亮 「MEMSカンチレバーとナノバイオデバイス」
・16:40-16:50 MMCファンドリーネットワーク委員会 貫井 進 「MEMSファンドリーサービス」
・16:50-17:00 みずほ総研㈱ 藤原 信代 「MemsONEを用いたMEMS設計及び今後の展開
・17:00-17:10 マイクロマシンセンター 三原「マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)紹介」
・17:10-17:20 京都大学 Nanofab「京都大学 Nanofab紹介」(仮)
上記講演タイトルは変わる可能性がありますのでご了承下さい。

◆参加申し込み
http://www.mmc.or.jp/fsic/seminar/koshu-18/koshu-18.html
◆参加費:一般 5,000円 / 賛助会員 2,000円 /  学生 無料(申込要)
◆定 員: 60名 (定員になり次第、締切りさせていただきます。) 
◆問合せ先:〒101-0026東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル 6階
       一般財団法人マイクロマシンセンター  担当: 阪井、酒向
       TEL 03-5835-1870, FAX 03-5835-1873

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