MEMSの波（ブログニュース）

一般財団法人マイクロマシンセンター・MNOIC事業と産総研・集積マイクロシステム研究センターの共催で以下のTIA-NMEMS シンポジウム「MNOIC装置セミナー」を開催致します。皆様の積極的なご参加を期待します。（MNOIC研究企画　三原　孝士）

TIA-NMEMS シンポジウム「MNOIC装置セミナー」

「ツール　de　ＭＮＯＩＣ -先端NMEMS拠点見学と研究開発ツール紹介-」

開催日：２０１２年２月１４日（火曜日）　１３時２０分から１７時１０分
（但し、MNOIC装置見学会は１１時２０分から１２時１５分まで）
開催地：産総研・東事業所　NMEMSイノベーション棟（４G棟）
国際セミナー室（１F　ロビー横）
連絡先およびアクセス：http://mnoic.la.coocan.jp/access/index.html（つくば開発センター）
掲載：http://www.aist.go.jp/aist_j/guidemap/tsukuba/east/tsukuba_map_e.html
主催：一般財団法人マイクロマシンセンター　MNOIC
共催：集積マイクロシステム研究センター（独立行政法人・産業技術総合研究所）

【趣旨】
　TIA（つくばイノベーションアリーナ）も2年目を迎え、TIAでのMEMS関連(TIA-NMEMS)の活動も順調に推進しています。特にTIA-NMEMS研究プラットフォームを活用するMNOICは2011年4月に設立、8月にHPにご案内して受付を開始し、既に沢山の法人の方々から申し込みを頂いて活用を開始しています。
今回、「MNOIC装置セミナー」として世界最先端のMEMS装置群に関して、装置メーカからの口頭発表と、ポスター発表を行う場を設定致しました。同時に世界最先端のMEMS研究で知られる東北大学江刺教授による特別講演や集積マイクロシステム研究センター（UMEMSME）の最先端技術紹介・MNOIC利用の個別相談会も併せて設定致しました。皆様の積極的なご参加を期待しています。

【プログラム】

１． 第一部　(13:20-14:00) （司会　三原　孝士）
 主催者挨拶　 今仲　行一　MNOIC所長
 主催者挨拶 前田　龍太郎　UMEMSMEセンター長
 特別講演
「MEMS装置に関係するMEMSプロセス・パッケージング・テスト技術」
江刺 正喜　東北大学　教授

２． 第二部　世界最先端大口径MEMS製造装置のご紹介（14:00-15:30）(座長　荒川　雅夫)
 マスクレス露光装置 　　東芝機械㈱ 　　　　後藤　博史
 マスク露光装置 　　イーヴィグループジャパン㈱　 川野　連也
 ウェハ検査装置 　　㈱モリテックス　 　　　　井上　淳也
 ウェハ接合装置 　　ボンドテック㈱　 　　　　山内　朗
 犠牲層ドライエッチング装置　キヤノンマーケティングジャパン㈱　 山本　仁
 X線CT評価装置 　　キヤノンマーケティングジャパン㈱　 川内　篤

３． 第三部　UEMSME最先端プロセス技術とMNOIC利用 (15:30-16:00)（座長　原田　武）
 強誘電体薄膜材料のMEMSへの適用とそのプロセス技術
UMEMSME　 小林　健
 MNOICの利用に関して 　MNOIC研究企画　 三原　孝士

【 　休憩（16:00-16:10） 】

４． 第四部　ポスターセッションとMNOIC個別相談会　(16:10-17:1 0)　
【 場所：国際セミナー室にて（MNOIC個別相談は４F　MNOIC研究居室にて）】
 世界最先端大口径MEMS製造装置群のポスターご紹介（７件）
 UMEMSME関連の最先端研究状況ポスターおよび関連技術展示
 MNOIC個別相談会（ご希望者は申し込み時、あるいは受付時にお申し込みください）

５． 第五部　懇親会(17:15-19:00)　　国際セミナー室
 乾杯の挨拶 一般財団法人マイクロマシンセンター　青柳　桂一　専務理事
　　会費制　２０００円（領収書をご用意致します）

MNOIC見学会のご案内

 ２０１２年２月１４日（火曜日）　１１時２０分から１２時１５分まで
（MNOIC装置セミナーは１３時２０分から）
 集合場所：　産総研・東事業所　NMEMSイノベーション棟（４G棟）　
NMEMSイノベーション棟の１F玄関に１１時２０分集合
http://mnoic.la.coocan.jp/access/index.html（つくば開発センター）
http://www.aist.go.jp/aist_j/guidemap/tsukuba/east/tsukuba_map_e.html

【その他】
ポスターセッションのテーマリストは別途、MNOICのHP、
http://mnoic.la.coocan.jp/
およびUMEMSMEのHP
http://unit.aist.go.jp/umemsme/ci/index.html
に公開致します。

【参加申込】
必要事項をご記入の上、下記の申込先へE-mail又はFAXをお願いします。
・参加費用（MNOIC装置セミナー）：無料
・懇親会参加費用：2000円

■申込先：　
一般財団法人マイクロマシンセンター　ＭＮＯＩＣ開発センター（つくば）
水谷　恵美　宛
　　　　〒305-8564　 茨城県つくば市並木１-２-１
　（独）産業技術総合研究所　東事業所内　　ＮＭＥＭＳイノベーション棟４階
　TEL : 029-886-3471
　FAX : 029-886-3472
　e-mail : e_mizutani@mmc.or.jp

※申込締切り：平成２４年２月６日（月）　
定員（１５０人）になり次第締め切りさせて頂きます。

 
========= 　お申込は下記の申込欄をご送信下さい。=========

２０１２年２月１４日（火）「MNOIC装置セミナー」参加申し込み
 申込者氏名：
 氏名フリガナ：
 会社・団体名：
 所属部署：
 役職：
 E-mail：
 TEL：
 FAX：

以下の項目別の参加申し込みをお願いします。○で囲むか、或いは不要な部分を削除してください。

（１） MNOIC装置セミナー（１３時２０分から１７時１０分）
（２） MNOIC装置見学会（１１時２０分から１２時１５分）
（３） 懇親会（有料）
（４） MNOIC個別相談会

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【お問合せ】
一般財団法人マイクロマシンセンター　ＭＮＯＩＣ開発センター（つくば）
水谷　恵美(Emi MIZUTANI)
　〒305-8564　茨城県つくば市並木１-２-１
　　　（独）産業技術総合研究所　東事業所内ＮＭＥＭＳイノベーション棟４階
　TEL : 029-886-3471
　FAX : 029-886-3472
　e-mail : e_mizutani@mmc.or.jp
http://www.mmc.or.jp/
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