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2012年1月

2012年1月26日 (木)

TIA-NMEMS シンポジウム「MNOIC装置セミナー」開催のご案内

一般財団法人マイクロマシンセンター・MNOIC事業と産総研・集積マイクロシステム研究センターの共催で以下のTIA-NMEMS シンポジウム「MNOIC装置セミナー」を開催致します。皆様の積極的なご参加を期待します。(MNOIC研究企画 三原 孝士)


TIA-NMEMS シンポジウム「MNOIC装置セミナー」

「ツール de MNOIC -先端NMEMS拠点見学と研究開発ツール紹介-」


開催日:2012年2月14日(火曜日) 13時20分から17時10分
(但し、MNOIC装置見学会は11時20分から12時15分まで)
開催地:産総研・東事業所 NMEMSイノベーション棟(4G棟)
国際セミナー室(1F ロビー横)
連絡先およびアクセス:http://mnoic.la.coocan.jp/access/index.html(つくば開発センター)
掲載:http://www.aist.go.jp/aist_j/guidemap/tsukuba/east/tsukuba_map_e.html
主催:一般財団法人マイクロマシンセンター MNOIC
共催:集積マイクロシステム研究センター(独立行政法人・産業技術総合研究所)


【趣旨】
 TIA(つくばイノベーションアリーナ)も2年目を迎え、TIAでのMEMS関連(TIA-NMEMS)の活動も順調に推進しています。特にTIA-NMEMS研究プラットフォームを活用するMNOICは2011年4月に設立、8月にHPにご案内して受付を開始し、既に沢山の法人の方々から申し込みを頂いて活用を開始しています。
今回、「MNOIC装置セミナー」として世界最先端のMEMS装置群に関して、装置メーカからの口頭発表と、ポスター発表を行う場を設定致しました。同時に世界最先端のMEMS研究で知られる東北大学江刺教授による特別講演や集積マイクロシステム研究センター(UMEMSME)の最先端技術紹介・MNOIC利用の個別相談会も併せて設定致しました。皆様の積極的なご参加を期待しています。


【プログラム】

1. 第一部 (13:20-14:00) (司会 三原 孝士)
 主催者挨拶  今仲 行一 MNOIC所長
 主催者挨拶 前田 龍太郎 UMEMSMEセンター長
 特別講演
「MEMS装置に関係するMEMSプロセス・パッケージング・テスト技術」
江刺 正喜 東北大学 教授

2. 第二部 世界最先端大口径MEMS製造装置のご紹介(14:00-15:30)(座長 荒川 雅夫)
 マスクレス露光装置   東芝機械㈱     後藤 博史
 マスク露光装置   イーヴィグループジャパン㈱  川野 連也
 ウェハ検査装置   ㈱モリテックス      井上 淳也
 ウェハ接合装置   ボンドテック㈱      山内 朗
 犠牲層ドライエッチング装置 キヤノンマーケティングジャパン㈱  山本 仁
 X線CT評価装置   キヤノンマーケティングジャパン㈱  川内 篤

3. 第三部 UEMSME最先端プロセス技術とMNOIC利用 (15:30-16:00)(座長 原田 武)
 強誘電体薄膜材料のMEMSへの適用とそのプロセス技術
UMEMSME  小林 健
 MNOICの利用に関して  MNOIC研究企画  三原 孝士


【  休憩(16:00-16:10) 】


4. 第四部 ポスターセッションとMNOIC個別相談会 (16:10-17:1 0) 
【 場所:国際セミナー室にて(MNOIC個別相談は4F MNOIC研究居室にて)】
 世界最先端大口径MEMS製造装置群のポスターご紹介(7件)
 UMEMSME関連の最先端研究状況ポスターおよび関連技術展示
 MNOIC個別相談会(ご希望者は申し込み時、あるいは受付時にお申し込みください)


5. 第五部 懇親会(17:15-19:00)  国際セミナー室
 乾杯の挨拶 一般財団法人マイクロマシンセンター 青柳 桂一 専務理事
  会費制 2000円(領収書をご用意致します)



MNOIC見学会のご案内


 2012年2月14日(火曜日) 11時20分から12時15分まで
(MNOIC装置セミナーは13時20分から)
 集合場所: 産総研・東事業所 NMEMSイノベーション棟(4G棟) 
NMEMSイノベーション棟の1F玄関に11時20分集合
http://mnoic.la.coocan.jp/access/index.html(つくば開発センター)
http://www.aist.go.jp/aist_j/guidemap/tsukuba/east/tsukuba_map_e.html


【その他】
ポスターセッションのテーマリストは別途、MNOICのHP、
http://mnoic.la.coocan.jp/
およびUMEMSMEのHP
http://unit.aist.go.jp/umemsme/ci/index.html
に公開致します。

【参加申込】
必要事項をご記入の上、下記の申込先へE-mail又はFAXをお願いします。
・参加費用(MNOIC装置セミナー):無料
・懇親会参加費用:2000円

■申込先: 
一般財団法人マイクロマシンセンター MNOIC開発センター(つくば)
水谷 恵美 宛
    〒305-8564  茨城県つくば市並木1-2-1
 (独)産業技術総合研究所 東事業所内  NMEMSイノベーション棟4階
 TEL : 029-886-3471
 FAX : 029-886-3472
 e-mail : e_mizutani@mmc.or.jp

※申込締切り:平成24年2月6日(月) 
定員(150人)になり次第締め切りさせて頂きます。



=========  お申込は下記の申込欄をご送信下さい。=========


2012年2月14日(火)「MNOIC装置セミナー」参加申し込み
 申込者氏名:
 氏名フリガナ:
 会社・団体名:
 所属部署:
 役職:
 E-mail:
 TEL:
 FAX:


以下の項目別の参加申し込みをお願いします。○で囲むか、或いは不要な部分を削除してください。

(1) MNOIC装置セミナー(13時20分から17時10分)
(2) MNOIC装置見学会(11時20分から12時15分)
(3) 懇親会(有料)
(4) MNOIC個別相談会


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【お問合せ】
一般財団法人マイクロマシンセンター MNOIC開発センター(つくば)
水谷 恵美(Emi MIZUTANI)
 〒305-8564 茨城県つくば市並木1-2-1
   (独)産業技術総合研究所 東事業所内NMEMSイノベーション棟4階
 TEL : 029-886-3471
 FAX : 029-886-3472
 e-mail : e_mizutani@mmc.or.jp
http://www.mmc.or.jp/
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2012年1月24日 (火)

マイクロマシンセンターは創立20年の節目を迎えました

 マイクロマシンセンターは、お陰様で本日創立20周年を迎えることが出来ました。これまでの皆さま方のご支援・ご協力に感謝申し上げます。

 当センターは1992年1月に財団法人として設立され、その後マイクロナノ分野の技術開発の推進、産業化支援のための環境整備に係る活動を行ってきており、本日ちょうど創立20年の節目を迎えることになりました。
 
                  

 マイクロマシンセンター設立からの20年を振り返り概観すると、マイクロマシン技術開発プロジェクトの推進を中心にした最初の10年 (1990-2000)と、技術開発とともに産業化推進の活動が多くなった次の10年                 (2001-2012)とに大別されます。

(90年代はマイクロマシン技術開発が中心)

 当センターは、マイクロマシン技術研究開発プロジェクト(1991年から10年間、総予算:約250億円)の推進主体として1992年1月に設立されました。本プロジェクトでは、将来いろいろな形でマイクロマシン(数μm~数mm寸法の部品により構成された微小な機械)が実用化されることを期待して、マイクロマシン実現に資する技術的なプラットフォームづくりを目指しました。

 国・NEDO委託のマイクロマシン技術プロジェクトが始動する頃のわが国経済はまだバブル崩壊前の絶頂期にあり、世界1~2位の経済大国として国際貢献が強く求められていました。技術開発分野ではわが国の基礎技術の貢献が少ないことが指摘されていました。このため本プロジェクトにおいては、じっくりとマイクロマシンの基礎技術について研究開発を行い、その成果を内外に広く普及させることも目標の一つに掲げられました

 本プロジェクト推進の10年間、当センターは産学官の研究コンソーシアムを結成し、将来大きな産業波及効果が期待されるマイクロマシンについての共通基盤技術、機能デバイスの高度化技術、システム化技術を確立するための研究開発に注力しました。
 
                    

 また、毎年展示会としてのマイクロマシン展が開催されましたが、この頃は産業的な発展が伴っていなかったため、内容的にはビジネス展というよりも、マイクロマシン技術の成果を発表する技術展としての域に止まっていたといえます。

 一方、マイクロマシン展と同時開催されたマイクロマシン国際シンポジウムや、当センターが主導し各国持ち回りという形で毎年開催されることになった国際イベントのマイクロマシンサミットは、「マイクロマシン技術」の概念を内外に普及させるという意味から、大きな功績があったと思われます。

 (2001年以降は産業発展を支援する活動が中心)

 マイクロマシン技術の10年プロジェクトが終了した2001年以降は、MEMS産業発展を目標にした新たな技術開発への挑戦や産業化推進の活動が中心となっています。
                 
 それまで長年マイクロマシン基礎技術の開発が進められてきたことに加えて、半導体製造技術やレーザー加工技術の進展も相まって、センサやアクチュエータに応用されるMEMS(微小電子機械デバイス)が各種製品に高性能化・高機能化をもたらすキーデバイスとして注目され、産業のマメと言われるようになりました。すなわち、マイクロマシン技術が牽引役となりMEMS産業化が進展してきました。

 当初科学技術館を会場に数千人の入場者規模の技術展の色彩が強かったマイクロマシン展が年々活況になり、最近では東京ビッグサイトを会場にして1万数千人の入場者規模の立派なビジネス展にまで成長したことからも、産業の発展ぶりがうかがえます。
 
 このような状況を受け、2001年以降はMEMS産業に焦点を当て、その発展のため、新たに数次の技術開発プロジェクトを推進し続けるとともに、MEMS協議会の設置(2006年4月)やMNOICの設置(2011年4月)等を通じて産業化を支援するための環境整備活動を進めてきています。また、センター活動に柔軟性や機動力を高めるべく、2011年4月に一般財団法人に移行しました。

                      

 今後も当センターでは、次の10年、20年を見据え、マイクロナノ分野の産業発展のため、先端技術開発に果敢に挑戦し、同時に産業化支援のための様々な環境整備事業を積極的に推進して参ります。引き続きのご指導・ご支援をお願い申し上げます。

 なお、「マイクロマシンセンター20年の歩み」のWEBコンテンツを取りまとめ、HPにアップしました。ご高覧いただければ幸いです。
                  (マイクロマシンセンター 青柳桂一)
               
               

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2012年1月13日 (金)

平成24年 ロボット3団体 新年賀詞交歓会盛況に終了

 平成24年1月12日(水)12時から、(社)日本ロボット工業会、(財)製造科学技術センター及び(財)マイクロマシンセンターによる「ロボット関連三団体・平成24年新年賀詞交歓会」が、東京プリンスホテル 2階「プロビデンスホール」にて盛会に開催されました。
 会場では、(社)日本ロボット工業会 稲葉善治会長からの新年の抱負を含めた冒頭挨拶に引き続き、来賓の上田隆之経済産業省製造産業局長から関係団体への新年の期待を含めたご祝辞を賜りました。
 当日は、昨年の東日本大震災、タイの洪水被害、円高等による不況の波を吹き飛ばそうと昨年(370人)を上回る410人余の関係者が参集する盛況となり、出席者は時間一杯、歓談に花を咲かせておりました。ご参加頂きました皆様方に御礼申し上げます。

受付風景
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青柳専務理事と上田製造産業局長
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日本ロボット工業会 稲葉会長による 主催者合同挨拶
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上田経済産業省製造産業局長ご祝辞
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会場風景
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2012年1月 1日 (日)

謹賀新年(2012年)

                 一般財団法人マイクロマシンセンター
                 技術研究組合BEANS研究所       
                           理事長 作田 久男

 新年明けましておめでとうございます。
 皆様におかれましてはつつがなく新しい年をお迎えのこととお慶び申し上げます。平成24年の新春に当たり、謹んで新年のご挨拶を申し上げます。
年頭にあたり、平素より一般財団法人マイクロマシンセンター及び技術研究組合BEANS研究所の活動にお寄せ頂いております皆様のご支援とご協力に、心より御礼申し上げます。

 さて、昨年3月11日に発生いたしました東日本大震災は、東北地方を中心とする非常に広い地域に甚大な被害をもたらし、たくさんのかけがえのない命が失われました。改めまして、今回の震災で犠牲となられた方々のご冥福をお祈りいたしますとともに、震災発生から9月余が過ぎた今日もなお、大変困難な状況におられる被災者の皆様方に心よりお見舞いを申し上げます。

 このたびの大震災は、日本経済が、長きに渡る停滞からようやく脱け出しつつあった矢先に発生いたしました。現在、わが国は、低成長とデフレの継続、行き過ぎた円高、厳しい雇用情勢などに加え、震災からの復興という、非常に大きな困難に直面しております。

 このような状況を打開していくためには、国民の一層の努力や精進に加えて、中・長期的観点に立って国家的・社会的課題の解決に向けて取り組む研究開発の一層の推進が不可欠と考えます。そこにおいて、いまや産業のキーテクノロジーといわれるMEMS等のマイクロナノ分野に対する期待は一層高まっております。

 この要請に的確に応えていくことが、一般財団法人マイクロマシンセンター及び技術研究組合BEANS研究所に課せられた使命と考え、今後とも本理事長職を通じまして、マイクロマシン・MEMS等マイクロナノ分野の研究開発を中心とした諸活動の充実に努めてまいる所存でございますので、何とぞよろしくお願い申し上げます。

【一般財団法人化による柔軟でかつ広範な業務体制の構築】
 当センターにおきましては、昨年4月1日付で一般財団法人に移行しました。移行に伴い、法人名称を一般財団法人マイクロマシンセンターに名称を変更し、従来の業務内容を継続して実施するとともに、一般財団法人として、民間営利部門のみでは果たすことのできないマイクロナノ分野に係る様々なニーズに対応するサービスを、より一層、広範かつ柔軟な形で実施し、国内外への貢献を目指して参りますので、引き続き、皆様のご支援ご協力をよろしくお願い申し上げます。

【MNOIC(マイクロナノオープンイノベーションセンター)の活動強化】
 昨年4月、マイクロマシンセンターでは、MEMS協議会の下にMNOIC(マイクロナノオープンイノベーションセンター)を発足させ、7月以降は活動を本格化させてきました。本年も、つくばイノベーションアリーナにおけるNMEMS分野の研究開発拠点(TIA-NMEMS)の一翼をになう主体として、MEMS分野でのオープンイノベーションの実現に注力して参りますので、皆様の積極的なご活用をお待ち申し上げますとともに、MNOICに対する継続的なご支援、ご指導をよろしくお願い致します。

【BEANSプロジェクトにおける成果創出活動の加速・強化】
 第3世代MEMSのための基盤プロセス技術の開発を進めているBEANSプロジェクトは5年目に入りますが、最終年度としてプロジェクトの成果創出活動の一層の加速・強化に努めて参ります。これまで、革新的次世代デバイス創出に必要な基盤的プロセス技術群の開発、さらに、従来の応用分野に加えて環境・エネルギー、安心・安全、健康・医療など幅広い分野での応用を目指して所定の成果を上げて参りました。おかげさまで高い評価をいただきながら、残りの1年間を迎えることができましたので、今後とも全力を傾けて成果創出を加速・顕在化させて参ります。技術研究組合BEANS研究所の活動につきまして、引き続き、皆様のご支援ご協力をよろしくお願い申し上げます。

 最後となりましたが、両法人を代表しまして、本年が皆様方にとって実り多い一年になりますよう心からお祈り申し上げて、新年のご挨拶とさせていただきます。
2012年元旦

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