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2011年11月25日 (金)

MNOICのMEMS試作研究開発支援サービスが順調に稼働

 マイクロマシンセンターでは、本年4月につくばのTIA-NMEMS拠点において産学連携によるマイクロナノ分野のイノベーション実現の場を提供する組織として、マイクロナノ・オープンイノベーションセンター (MNOIC;エムノーイック) を設立しました。

 半導体業界だけでなくMEMS分野においても、必要な技術、設備、人財の全てを、自前で内部から調達する「クローズドイノベーション」にはもはや限界が来ており、リソースを広く外部からも含めて調達する「オープンイノベーション」への転換が必要との認識は産官学共通のものとなってきています。MNOICはその社会的要請に応えるソリューションのひとつです。
 
 MNOICでは、(独)産業技術総合研究所つくば東事業所の集積マイクロシステム研究センター (UMEMSME) が所有する世界最先端のMEMS研究施設をR&Dプラットフォームとして活用することにより、参加機関の自主研究・試作を支援するサービスをこの8月から開始しました。

 特に、設備面では世界最先端の8/12インチMEMS試作研究ライン;ニックネーム”TKB812”がご利用いただけます。 ウェハの洗浄、リソグラフィー、成膜、エッチングなどの前工程プロセスから、接合実装、デバイスチップ切断、実装用配線などの後工程プロセス、さらに、デバイス表面及び内部の形状評価までカバーする一貫ラインです。前工程プロセス装置は、3次元マイクロ加工からサブハーフミクロン加工まで対応しており、実績あるセンサ等のMEMSから最先端レベルのデバイスの試作が可能です。また、MEMS量産現場で実績を積んだ加工装置メーカーによる国内第1号の12インチ対応装置も備わっています。

 本年8月のサービス開始以降、MEMS応用製品企業をはじめとして、ファブレス企業、ファンドリー企業、大学の研究室、等々、10数社のMEMS関連機関の皆様からお問い合わせをいただいており、”TKB812” での8/12インチプロセス試作が始まったところです。本格的な稼働はこれからですので、MEMS開発に関する課題をお持ちの方々は是非ご一報をお寄せください。

MNOICのご利用方法や ”TKB812” の詳細については、マイクロマシンセンターの該当ホームページへどうぞ。"TKB812"ご紹介ビデオへのリンクはこちら

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