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2011年11月16日 (水)

ドイツのMEMS関連研究所(ENAS、ISIT、MFI)の訪問報告

ドイツのMEMS関連研究所(ENAS、ISIT、MFI)の訪問報告
MMC 三原 孝士

 2011年10月11日から13日まで、ドイツ・ドレスデンで開催されたセミコンユーロに参加後、ドイツのMEMS関連研究所(ENAS、ISIT、MFI)を訪問しました。
1. Fraunhofer ENAS(イーナスと発音)
 ENAS(The Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems)は ドレスデン(Dresden)から南西に電車で1時間の距離のケムニッチ(Chemnitz)にある、SiliconSaxonyとも呼ばれるハイテク地域のMEMSを含む電子ナノシステムの中心的存在となる研究所です。このChemnitzの語源はStoneとのことで、実際に市の中心に巨大な石のモニュメント(写真1)があります。ENASの訪問においては日本でもお馴染みのProf. Thomas Gessner所長がホスト、Prof. Thomas Otto副所長が技術説明、またDr. Martina Vogel氏に訪問のケアをしていただきました。訪問時に多くのテーマご責任者の方々にご説明をして頂いたこと(写真3)に感謝したいと思います。このENASには大きく3つの研究テーマがあります。1)シリコンMEMS、2)ポリマーMEMS、3)機能素子のためのプリンティング技術です。MEMSに関しての設計、シミュレーション、加工、パッケージ技術が幅広く(過不足なく)整備され、企業との共同研究が極めてスムースに行われる運用体制が出来ています。特に三次元の実装技術や、有機半導体をベースにする印刷エレクトロニクスの技術や実験施設では、最先端技術に加えてある程度の量産設備が揃っていました。私一人の訪問にも関わらず沢山の責任者の方々に集まって頂いたことに恐縮していましたら、産業技術の研究所なので、訪問者に詳細な技術紹介を行うことは当然であると断言されました。
 The Fraunhofer Instituteはドイツの全域に60以上の研究所を散りばめています。その中でもENASはドイツの電子産業の元祖であり、その地域がSiliconSaxonyと言われる所以になっています。基礎研究は大学やMax Planck研究所に任せ、産業化に特化した技術開発を行なっています。ドイツは日本と違って中小企業がハイテク産業を支えている現実が、このように有効な産官学連携や設備の共通利用を生んでいるようです。
2. Fraunhofer ISIT(イズイットと発音)およびMFI
 南西部に位置するChemnitzから一気に北上してデンマークに近いイテホー(Itzehoe)と言う小さな町にISIT(The Fraunhofer Institute for Silicon Technology) とそのISIT発ベンチャーMFI(MEMS Foundry Itzehoe)があります。ここはFraunhofer研究所の中でも最北端の研究所とのことです。名前の通りシリコン半導体の研究所ですが、このISITはドイツハイテク研究の産官学連携の象徴を見るようでした。何百億円と言う投資が必要な半導体の研究を行うために、ISITは産業界との共栄・共存を探っています。即ち、VISHAYと言うパワー半導体の工場とISITの研究所が一体になって、クリーンルームの維持管理やメンテ技術者を共有することでVISHAYは施設の建設費・運営費や人件費を削減し、ISITは最先端の350nm半導体ライン(4・6インチ)を利用する研究開発が出来ます。実際には前工程をVISHAYが利用し、後工程にMEMS施設を入れてISITは半導体から次第にMEMSの研究にシフトしていったようです。また研究開発で実ったMEMSはISITの研究施設を用いて製造され、ISIT発のベンチャー企業を幾つも作って更に設備投資を行い、更にMFIと言うファンドリーまでビジネスにしてしまうと言う柔軟振りです。この間に研究者や技術者は企業と、研究所を自由に行き来しながら運用しているようです。そこでは自律的に研究所のシードが実用化、産業化できる仕組みが出来上がっています。更に地域、EC、産業界と様々な研究投資があります。(累計投資額は125億円)尚、MFIのCEOはDr.Peter Merzで訪問時に都合がつかなかったのでセミコンユーロの時に情報交換をさせて頂きました。また訪問時にはProf. Dr. Ralf Dudde氏(写真)に隅々まで見せて頂きました。MNOICの運用の参考にすべくしつこく質問をした私に、Dudde氏には最後までお付き合い頂いて恐縮しました。
Ch1
写真 1 ケムニッチ市の象徴?

Enas1_2
写真 2 ENASの研究施設

Enas2
写真 3 情報交換会 

It1
写真 4 イテホーで間違えて乗ったローカル電車、危うく遅刻しそうになった。

Isit2
写真 5 ISIT研究所 全景

Isit3
写真 6 沢山の企業と共存するISIT

Isit4
写真 7 辛抱強くお付き合い頂いたDudde氏に感謝します。


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