MEMSの波（ブログニュース）

第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム｣シンポジウムにてMNOICの展示
MMC　三原　孝士

　電気学会センサ・ マイクロマシン部門（E部門）が主催する第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム｣シンポジウム（2011年9月26～27日、東京都タワーホール船堀）にてMNOICの展示を行いました。マイクロナノ・オープンイノベーションセンター（MNOIC）も既に多くの方々からお問い合わせを頂き、事業を開始しました。MNOICはTIA（つくばイノベーションアリーナ）の集積マイクロシステム研究センター（前田センター長）の最先端8/12インチMEMS研究施設を産業界で利用するもので研究・製造装置を持たない企業、ベンチャーであってもMEMSへの参入が可能となる、画期的な（産業戦略的な）イノベーションと言えます。
　「センサ・マイクロマシンと応用システム｣シンポジウムは電気学会センサ・ マイクロマシン部門（E部門）が主催ですが、3年前から機械学会主催「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催の「集積化MEMSシンポジウム」の3つのMEMS関連のシンポ＆研究会が同時開催することで日本最大のMEMS関連の最先端学術発表ができる場になっています。今回は過去最高の455名の参加者を集め、学術発表やポスター発表、企業展示等を併せて行うMEMS関連学術総合イベントになりました。すなわち全国の大学・研究所・企業の研究者が一同に集まる場になっています。
　MNOICは展示コーナの1ブースに、ポスターとパンフレッドを置いてMNOICのご紹介をさせて頂きました。海外では研究予算が必ずしも十分ではないため、大学や産業界が共通に使う最先端のコモンラボがあり、その設備を用いて研究を行うのが一般的です。しかし、日本では1つの研究室が装置を所有しているのが一般的です。MNOICは大学や公的な研究所のユーザの方には、アカデミアコースと言うデスカウントも準備してあります。またMNOICはTIA-NMEMS(集積マイクロシステム研究センター)との連携で、常時80名以上の産官学連携研究者が集まっていますので、大学の研究シーズを産業界に紹介、マイクロマシンセンターの各種委員会で企業が実用化を推進することも可能です。ご利用をお待ちしております。
　ご参考：
日本電気学会・E部門：http://www2.iee.or.jp/ver2/smas/
日本機械学会・マイクロナノ工学専門会議：http://www.jsme.or.jp/mnm/
応用物理学会・集積化MEMS技術研究会：http://annex.jsap.or.jp/MEMS/

写真　１　展示の様子