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2011年8月 9日 (火)

「マイクロナノ2011」 TIA-NMEMSシンポジウムPart2 MNOIC設立シンポジウム開催(2011年7月15日)

                                   MMC 三原 孝士
 世界最大規模のマイクロマシン/MEMSの総合イベントである「マイクロナノ2011」(東京ビッグサイト)の中で、MEMS協議会が主催する同時開催プログラムとして国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムとともに、MEMS協議会のフォーラムがあります。2010年からMEMS協議会がTIA(つくばイノベーションアリーナ)のTIA-NMEMS WGの事務局となってから、MEMS協議会フォーラムをTIA-NMEMSシンポジウムとして開催しています。
 

 今回もイベントの最終日である7月15日にこのプログラムを企画しました。特に今年は、マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)の設立に合わせて、午後のプログラムをTIA-NMEMSシンポジウムPart2:MNOIC設立シンポジウムとしました。今回はMNOICの設立を記念して、このシンポジウムに参加すれば、「MNOICの設立趣旨、MNOICの最先端装置、MNOICの目指す将来が全て俯瞰できる」様な、濃厚なプログラムにしたつもりです。
 

 今仲MNOIC所長の主催者挨拶に続いて、経産省・福島研究開発課長のご来賓のご挨拶のあと、導入講演と以下の3つのセッションを行いました。
 

 導入講演:「MEMSで日本を元気に」
1)TIA研究拠点の紹介(前田センター長、UMEMSME):TIAと聞いてもまだまだご存知のない方も多いので、つくばの研究拠点のご紹介
2)ロボットMEMSで日本を元気に(下山教授、東京大学):MEMSからロボット技術まで幅広い領域でご活躍の下山先生が、大学発ベンチャーを最近立ち上げられました。世界的にも数少ないシュア変位や応力を計測できるセンサー事業のご紹介です。
 

 セッション1:「MNOICのご紹介」
 このシンポジウムの目的であるMNOICの設立の意義、利用可能な設備、ユーザからの期待を2つの講演でご案内しました。
1)MNOICの提供するサービスと利用設備(MNOIC 荒川開発センター長)
2)産業界・MEMSファンドリからの期待(大日本印刷、鈴木「MEMSセンター」副センター長):オムロンと並んで、日本で8インチMEMSファンドリを持つ企業からの、MNOICへの期待を幅広い視点から講演、力強い応援団です。
 

 セッション2:「MNOICの提供する世界最先端設備のご紹介」
 MNOICには日本で数台しかないような世界最先端装置を含む、約50台の装置群があります。その最先端装置を装置メーカの方からご紹介頂きました。
1)X線CT、犠牲層エッチング装置(キヤノンMJ、笹川様):形状計測やシミュレーション、不良解析に有効なX線CTを用いた三次元形状計測装置(Xradia)や枚様式の犠牲層エッチング装置(memsstar)の紹介、
2)Chip/Wafer、Wafer/Wafer接合装置(丸紅情報システム、谷様):プラズマ活性化表面処理で200度以下の低温接合、接合チャンバー内で高精度アライメント可能なBondtech社の接合装置の紹介
 

 セッション3:「TIA-NMEMSの最新の成果と、今後の研究開発」
 このセッションでは、集積マイクロシステム研究センターでの最新の研究成果や、新規に始まる研究開発プロジェクトを紹介して貰いました。
1)センサーネットワークによる節電事例(オムロン、安藤様): 2010年度のNEDOプロジェクト(Gデバイス)の成果として、クリーンルームのセンサーネットワークによる環境可視化のシステムの詳細と、その成果
2)未来をひらくグリーンイノベーション(集積マイクロシステム研究センター、伊藤様):2011年から開始されるNEDOプロジェクト「グリーンセンサーネットワークシステムの研究開発」のご紹介に関して
 

 以上のように、午前中のPart1では、MEMSを取り巻く産業界の課題を国際会議の最新状況や標準化等の課題を交えて議論を行い、Part2ではNMOICの設立に合わせてMEMS協議会を中心に、TIAで現在進行中の多彩な活動をご紹介できたと思っています。  個人的なことで恐縮ですが、私はマイクロマシンセンターに4月に出向したあと、4月のマイクロマシンサミット、5-6月のTIA-NMEMS、MNOIC、MEMS協議会の各種委員会、MNOICの制度設計、7月の本総合イベントと、慣れない業務の性もあって目の回るような毎日でしたが、国際シンポジウムやTIAの本シンポジウムに沢山の方々に参加頂いたことで、MEMS協議会の役割に強い手応えを実感することが出来ました。  MNOICは震災の影響もあって当初の予定より遅れての運用になりましたが、ホームページが開設され、MNOICの利用受付も開始しました。皆様の積極的な利用をお待ちしています。  このTIA-NMEMSシンポジウムPart2の参加者数は232名でした。多くの方々にご参加頂いたことに感謝致します。来年に向けて更に充実した企画をして行きたいと思いますので、お気軽にご意見を頂ければと思います。 
 

図1、 導入講演の前田センター長 Tianmems_p2_mae
 
図2、 導入講演の下山先生 Tianmems_p2_shi
 
図3、 セッション3の伊藤副センター長 Tianmems_p2_ito

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