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2011年8月

2011年8月19日 (金)

「NMEMSイノベーション棟開所式のご案内」 のご案内

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「NMEMSイノベーション棟開所式のご案内」 のご案内
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 MEMS協議会は、MEMS関連企業の構成メンバーを中心として、
マイクロナノ・MEMSに係わる大学研究室、地域拠点、海外機関
等と連携しつつ、行政、関係機関への政策提言活動や、産業交
流・活性化のための諸々の活動を推進しております。

 特に最近では、国が主導してつくばの地に産学の力を結集
した世界的に魅力あるナノテク研究拠点を形成しようとする
取り組みであるTIA(つくばイノベーションアリーナ)事業の
一環としてのNMEMS拠点作りの活動を支援しており、拠点作り
を推進するためのTIA-NMEMS事務局(TIA-NMEMS WG)も担当し
ております。

 このたび、TIA-NMEMS拠点作りの推進に大きく係わっている
以下の4機関が、産総研つくば東事業所内の4G棟(旧くらし
とJISセンター棟)にまとめて入居することとなり、棟の名前
も「NMEMSイノベーション棟」に改称することとなりました。

(NMEMSイノベーション棟に結集する4機関)
1. 独立行政法人産業技術総合研究所
         集積マイクロシステム研究センター(UMEMSME)
2. 一般財団法人マイクロマシンセンター 
         マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)
3. 技術研究組合NMEMS技術研究機構 つくば研究センター
4. 技術研究組合BEANS研究所マクロ BEANSセンター

 このように、NMEMS分野の研究開発に関する産学の力が結集
する「NMEMSイノベーション棟」は、今後のTIA-NMEMS拠点整備
に重要な役割を担っていくものと大きく期待されます。

 つきましては来る8月30日(火)、「NMEMSイノベーション棟」
の開所を記念する式典を開催することといたしましたので、
皆様方には、ご多忙とは存じますが、ご出席戴きたく、ご案内
申し上げます。
 
 なお、本ご案内はTIA-NMEMS事務局を担当するMEMS協議会が
行っております。

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TIA-NMEMS“NMEMSイノベーション棟”開所式
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日時: 2011年8月30日(火)14時30分から
場所: 産業技術総合研究所・東事業所
    NMEMSイノベーション棟(4G棟:旧JIS棟)1F
    国際セミナー室
    http://www.aist.go.jp/aist_j/guidemap/tsukuba/east/tsukuba_map_e.html

内容: 開所式 式次第 

- TIA-NMEMS “NMEMSイノベーション棟”開所式 -
「世界最先端MEMS研究拠点の誕生」
-主催-
(独)産業技術総合研究所・集積マイクロシステム研究センター(UMEMSME)
一般財団法人マイクロマシンセンター マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)
技術研究組合 NMEMS技術研究機構 (グリーンセンサネットワーク研究所)つくば研究センター
技術研究組合 BEANS研究所 Macro BEANSセンター

日時: 2011年8月30日(火)14時30分から
場所: (独)産業技術総合研究所・東事業所 
NMEMSイノベーション棟(4G棟:旧JIS棟)、1F 国際セミナー室

― 開催趣意書 ―

東日本大震災による多くの犠牲者の方々に対し哀悼の意を表しますとともに、被災された皆様に心よりお見舞い申し上げます。
 TIA拠点事業であるMEMSの大口径最先端試作ラインが、昨年度末に稼働し始めましたが、震災により不幸にして、短期的とはいえ研究活動の中断を余儀なくされました。その後順調に復旧が進み、8月から産総研集積マイクロシステム研究センター(UMEMSME)の所有するMEMS 8インチ試作ラインを産学官で有効利用するための組織、マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)が始動いたしました。また、MEMSセンサネットワークにより、大幅な電力節約を行うための「グリーンセンサネットワーク」NEDOプロジェクトを遂行するためのNMEMS技術研究機構も発足し、既存のBEANS研究所、UMEMSMEとともにMEMSの研究開発と産業競争力を強化する体制が整いました。以上4つの機関がNMEMSイノベーション棟に結集し、新たなシナジーを生み出すことを祈念しまして、標記の開所式を開催させていただきます。ご多忙とは存じますが、万障繰り合わせてのご参加をお願い申し上げます。

― プログラム ―
<第一部>  14時30分 主催者・ご来賓挨拶  司会 MMC青柳桂一専務理事
 主催者挨拶    産総研・ナノテク分野研究企画室 松原一郎室長
 同 マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC) 今仲行一所長
 来賓ご挨拶    経済産業省 産業機械課 野田太一課長補佐
 同 NEDO 機械システム部 久木田正次部長

<第二部>  14 時50分  講演 座長 産総研UMEMSME・前田龍太郎センター長
 特別講演 「世界におけるMEMS最新技術動向と課題、TIA-NMEMS研究拠点への期待」  
  (仮題)
東京大学・生産技術研究所 藤田博之教授
 NMEMSイノベーション棟紹介(構成、入所組織、研究開発内容の概略) 
産総研UMEMSME・伊藤寿浩副センター長

<第三部> 15時30分 パネル討論会
テーマ「世界最先端MEMS研究拠点に寄せる期待」
・モデレーター  前田センター長
・パネラー    
 唐木幸一執行役員(オリンパス):産業界から
 今仲行一 所長(MNOIC)
 小寺秀俊教授(京都大学):京大ナノハブご紹介
 藤田博之教授(東京大学・生産技術研究所)

― 休憩 10分 ―

<第四部>  16時50分  NMEMSイノベーション棟のご紹介ツアー
ご希望者はMNOIC研究施設ツアーを行います、当日ご案内致しますので予約は不要です。
<第五部>  17時30分 懇親会 
(NMEMSイノベーション棟 国際セミナー室にて)(会費:2,000円)
 ご挨拶 TIA-nano 運営最高会議 松川文彦事務局長
 乾杯のご挨拶 BEANS研究所    遊佐厚研究所長
 各組織からの決意表明
 集積マイクロシステム研究センター 高橋正春副センター長
 MNOIC 荒川雅夫開発センター長
 NMEMS技術研究機構 逆水登志夫研究企画部長
 BEANS研究所 福本宏副所長
 中締め マイクロマシンセンター  青柳桂一専務理事
19時終了予定

参加予定:
 ・ MEMS協議会企業メンバー(正メンバー、アソシエートメンバー)
 ・ MEMS協議会フェロー
 ・ TIA-NMEMS顧問
 ・ 経済産業省
 ・ 新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)
 ・ UMEMSME関連の方々
 ・ 技術研究組合NMEMS技術研究機構のご関係者
 ・ 技術研究組合BEANS研究所のご関係者
 ・ HPをご覧になってご参加頂く方々

======================= 参加申込 =======================
一般財団法人マイクロマシンセンター MEMS協議会事務局 行 
    (メール:front@mmc.or.jp / Fax: 03-5835-1873)
    
      
「NMEMSイノベーション棟開所式」(8月30日(火曜) 14:30~ )
申込者氏名:
会社・団体名:
所属部署:
役職:
勤務先〒番号:
勤務先住所:
TEL:
Email:
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<お問合せ>
一般財団法人マイクロマシンセンター MEMS協議会事務局 三原/酒向
E-mail:front@mmc.or.jp (MEMS協議会 共通使用アドレス)
Tel: 03-5835-1870

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2011年8月11日 (木)

マイクロマシン/MEMS展同時開催TIA-NMEMSシンポジウム PartⅠ"MEMS協議会フォーラム"開催報告

 7月13日~15日東京ビッグサイトで開催されました第22回マイクロマシン/MEMS展において同時開催されましたTIA-NMESシンポジウムPartⅠ「MEMS協議会フォーラム」(15日)での講演内容を報告します。MEMS協議会では近年ますます拡大しつつあるMEMS産業の一層の発展を支援し、ひいてはわが国産業の国際競争力強化に貢献することを目的とし、政策提言事業や産業交流・活性化事業を推進しております。本シンポジムでは、MEMS協議会の活動の中から、マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)の設立、MEMS産業動向調査報告、MEMS国内外技術動向調査報告、MEMS国際標準化動向、MEMS設計解析ソフト「MemsONE」の紹介がありました。以下各講演の要点を紹介します。

1.TIA-NMES研究拠点の利活用:MNOICの設立

 MNOICは、TIA-NMEMS拠点 において産学連携によるマイクロナノ分野のイノベーション実現の場を提供する主体として、MEMS協議会の下に本年度から設置し、稼働準備を進めていたものです。
 MNOICにおいては、
産総研集積マイクロシステム研究センター(UMEMSME)の研究力やMEMS製造設備R&Dプラットフォームとして活用することが出来、各企業はMyラボやMyファブなどの形でMNOICを利活用することが可能となります。
 特に、設備面ではUMEMSMEが保有する様々なMEMS製造設備が利用できます。中でも、最先端の8/12インチMEMS製造設備については高価なものも多く、企業にとって利用価値が高いとされています。また、もちろん4インチラインの設備、ナノインプリント装置なども利用できます。

2.MEMS産業動向:成功事例に見るビジネスモデル

 最近、米国を中心としてMEMSファブレスベンチャーが次々と現れ、いくつかのベンチャーは大きな事業規模に至るまで成功を収めています。どのようにして成功に至ったのか国内外、大手/ベンチャーのビジネスモデルの比較から、成功要因を探ろうとする調査・分析結果について報告されました。本講演の内容の詳細はマイクロマシンセンター発行:平成22年度産業動向調査報告書としてまとめられています。

3.MEMS技術動向:MEMS関連学会より最新技術動向を見る

 マイクロマシンセンターでは、例年MEMS関連の主要学会を定点観測してMEMSの技術動向を分析している。平成22年度は調査対象としてAPCOT2010(オーストラリア)及びMEMS2011(メキシコ)を選択して行った分析に関して報告されました。本講演の内容の詳細はマイクロマシンセンター発行:平成22年度分野別動向調査報告書としてまとめられています。

4.MEMS国際標準化最新動向:高まる重要性とビジネス活用

 マイクロマシンセンターではMEMSに関する国際標準化を推進しています。本講演では世界全体のMEMSの標準化動向と現時点での日本のMEMS標準化実施状況が報告されました。

5.MEMS設計解析ソフト「MemsONE」最新バージョン紹介

 MemsONEはMEMSの設計・開発をサポートするためのソフトウェアで、NEDOプロジェクト(04~07年)で開発されたものです。今回最新バージョンがリリースされましたので、その特徴に関して報告されました。本件に関するお問い合わせはマイクロマシンセンターまでお願いします。

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2011年8月 9日 (火)

「マイクロナノ2011」 TIA-NMEMSシンポジウムPart2 MNOIC設立シンポジウム開催(2011年7月15日)

                                   MMC 三原 孝士
 世界最大規模のマイクロマシン/MEMSの総合イベントである「マイクロナノ2011」(東京ビッグサイト)の中で、MEMS協議会が主催する同時開催プログラムとして国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムとともに、MEMS協議会のフォーラムがあります。2010年からMEMS協議会がTIA(つくばイノベーションアリーナ)のTIA-NMEMS WGの事務局となってから、MEMS協議会フォーラムをTIA-NMEMSシンポジウムとして開催しています。
 

 今回もイベントの最終日である7月15日にこのプログラムを企画しました。特に今年は、マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)の設立に合わせて、午後のプログラムをTIA-NMEMSシンポジウムPart2:MNOIC設立シンポジウムとしました。今回はMNOICの設立を記念して、このシンポジウムに参加すれば、「MNOICの設立趣旨、MNOICの最先端装置、MNOICの目指す将来が全て俯瞰できる」様な、濃厚なプログラムにしたつもりです。
 

 今仲MNOIC所長の主催者挨拶に続いて、経産省・福島研究開発課長のご来賓のご挨拶のあと、導入講演と以下の3つのセッションを行いました。
 

 導入講演:「MEMSで日本を元気に」
1)TIA研究拠点の紹介(前田センター長、UMEMSME):TIAと聞いてもまだまだご存知のない方も多いので、つくばの研究拠点のご紹介
2)ロボットMEMSで日本を元気に(下山教授、東京大学):MEMSからロボット技術まで幅広い領域でご活躍の下山先生が、大学発ベンチャーを最近立ち上げられました。世界的にも数少ないシュア変位や応力を計測できるセンサー事業のご紹介です。
 

 セッション1:「MNOICのご紹介」
 このシンポジウムの目的であるMNOICの設立の意義、利用可能な設備、ユーザからの期待を2つの講演でご案内しました。
1)MNOICの提供するサービスと利用設備(MNOIC 荒川開発センター長)
2)産業界・MEMSファンドリからの期待(大日本印刷、鈴木「MEMSセンター」副センター長):オムロンと並んで、日本で8インチMEMSファンドリを持つ企業からの、MNOICへの期待を幅広い視点から講演、力強い応援団です。
 

 セッション2:「MNOICの提供する世界最先端設備のご紹介」
 MNOICには日本で数台しかないような世界最先端装置を含む、約50台の装置群があります。その最先端装置を装置メーカの方からご紹介頂きました。
1)X線CT、犠牲層エッチング装置(キヤノンMJ、笹川様):形状計測やシミュレーション、不良解析に有効なX線CTを用いた三次元形状計測装置(Xradia)や枚様式の犠牲層エッチング装置(memsstar)の紹介、
2)Chip/Wafer、Wafer/Wafer接合装置(丸紅情報システム、谷様):プラズマ活性化表面処理で200度以下の低温接合、接合チャンバー内で高精度アライメント可能なBondtech社の接合装置の紹介
 

 セッション3:「TIA-NMEMSの最新の成果と、今後の研究開発」
 このセッションでは、集積マイクロシステム研究センターでの最新の研究成果や、新規に始まる研究開発プロジェクトを紹介して貰いました。
1)センサーネットワークによる節電事例(オムロン、安藤様): 2010年度のNEDOプロジェクト(Gデバイス)の成果として、クリーンルームのセンサーネットワークによる環境可視化のシステムの詳細と、その成果
2)未来をひらくグリーンイノベーション(集積マイクロシステム研究センター、伊藤様):2011年から開始されるNEDOプロジェクト「グリーンセンサーネットワークシステムの研究開発」のご紹介に関して
 

 以上のように、午前中のPart1では、MEMSを取り巻く産業界の課題を国際会議の最新状況や標準化等の課題を交えて議論を行い、Part2ではNMOICの設立に合わせてMEMS協議会を中心に、TIAで現在進行中の多彩な活動をご紹介できたと思っています。  個人的なことで恐縮ですが、私はマイクロマシンセンターに4月に出向したあと、4月のマイクロマシンサミット、5-6月のTIA-NMEMS、MNOIC、MEMS協議会の各種委員会、MNOICの制度設計、7月の本総合イベントと、慣れない業務の性もあって目の回るような毎日でしたが、国際シンポジウムやTIAの本シンポジウムに沢山の方々に参加頂いたことで、MEMS協議会の役割に強い手応えを実感することが出来ました。  MNOICは震災の影響もあって当初の予定より遅れての運用になりましたが、ホームページが開設され、MNOICの利用受付も開始しました。皆様の積極的な利用をお待ちしています。  このTIA-NMEMSシンポジウムPart2の参加者数は232名でした。多くの方々にご参加頂いたことに感謝致します。来年に向けて更に充実した企画をして行きたいと思いますので、お気軽にご意見を頂ければと思います。 
 

図1、 導入講演の前田センター長 Tianmems_p2_mae
 
図2、 導入講演の下山先生 Tianmems_p2_shi
 
図3、 セッション3の伊藤副センター長 Tianmems_p2_ito

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2011年8月 3日 (水)

マイクロナノ・オープンイノベーションセンター(MNOIC)の利用申込の受付が始まりました


 このたび、マイクロナノ・オープンイノベーションセンター(MNOIC)の利用申込の受付を開始しました。 →ご利用案内
 

 MNOICは、TIA-NMEMS拠点 において産学連携によるマイクロナノ分野のイノベーション実現の場を提供する主体として、一般財団法人マイクロマシンセンターMEMS協議会の下に本年度から設置し、稼働準備を進めていたものです。
 

 MNOICにおいては、産総研集積マイクロシステム研究センター(UMEMSME)の研究力やMEMS製造設備R&Dプラットフォームとして活用することが出来、各企業はMyラボやMyファブなどの形でMNOICを利活用することが可能となります。
 

 特に、設備面ではUMEMSMEが保有する様々なMEMS製造設備が利用できます。中でも、最先端の8/12インチMEMS製造設備については高価なものも多く、企業にとって利用価値が高いとされています。また、もちろん4インチラインの設備、ナノインプリント装置なども利用できます。
 

 
 MNOICではスタッフ一同、万全の体制で皆さまのご利用をお待ちしております。 





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