MEMSの波（ブログニュース）

マイクロナノ２０１１開催（2011年7月13-15日）
MMC 三原　孝士

　既に何件かの速報が出されていますが、先週の水曜から金曜まで東京ビッグサイトにおいて、総合イベントマイクロナノ２０１１が開催されました。今年で22回を数えるマイクロマシン/MEMS展に、昨年からROBOTECH、SURTECHが加わり、更に併設のシンポジウムを加えて総合イベントマイクロナノ２０１１と呼んでいます。このイベントは展示会に加えて、7つの220名を収容可能なシンポジウムと、出展社プレゼンテーション、ワークショップと常時3個の講演会を、しかも無料で提供出来ている濃密なイベントになっています。特に今回は、何時も人気が高い国際シンポジウムを始め、TIA（つくばイノベーションアリーナ）のシンポジウムとしてのMEMS協議会フォーラム、MNOIC設立シンポジウムと言う3本の大きなシンポジウムを、MEMS協議会にて企画運営を行いました。東日本大震災の影響で海外からの講演者の依頼が難航、海外からの出展者が大幅に減る等の影響を受けましたが、これらのシンポジウムは常時150人から200人の参加者を集め、大変盛況でした。特に今年度の国際シンポジウムのテーマは「大災害復興、節電に必須のMEMSグリーンイノベーション」としてＵＣバークレーのPisano先生から、「地熱発電とそれに必要な耐環境MEMSセンサーシステム」を筆頭に、MEMSセンサーネットワークによるクリーンルームの節電事例、MEMSの新しい応用として電磁メタマテーリアル、スマートフォン用MEMS、集積化MEMS市場予測、韓国から集積化CMOS-MEMS、フランスLETIからMEMSカンチレバーを使った化学センサー事例、等の新しい応用事例の発表と「MEMSの再発見と新規な展望」を見せたイベントでした。最終的な来場者数は、昨年比約8％減の1万3千人弱でした。震災と節電によって製造業全体が委縮傾向になり、更に海外からの来場者が大幅減となりましたが、多くの方々にご来場頂いたことに感謝致します。同時に来年に向けて更に充実した企画をして行きたいと思います。

図１　国際シンポジウムにおけるPisano先生のご講演

図２　マイクロマシンセンター　ＭＮＯＩＣのブース

図３　マイクロナノ２０１１全体