MEMSの波（ブログニュース）

Ｈ23年　第1回　TIA-NMEMS WG 開催される
                                                                   2011年6月15日
                                                                ＭＭＣ　三原孝士

  ＴＩＡ（つくばイノベーションアリーナ）は世界水準の先端ナノテク研究設備・人材が集積するつくばにおいて、産業技術総合研究所(産総研)、物質・材料研究機構(物材機構)、筑波大学が中核となっている世界的なナノテク研究拠点です。一般財団法人・マイクロマシンセンター・ＭＥＭＳ協議会は、このＴＩＡ（チィアと呼びます）の中でも産総研・集積マイクロシステム研究センター（前田龍太郎センター長）が中心になって進めている、ＮＭＥＭＳ領域の研究拠点の有効利用を議論するワーキンググループ（TIA-NMEMS WG）の事務局となっており、ＭＥＭＳ研究拠点の利用から国/ＮＥＤＯプロジェクトの進捗状況、2011年4月に開設されたＭＮＯＩＣ（マイクロナノオープンイノベーションセンター）の立ち上げ状況等、を産官学のメンバーが一体となって、議論や課題の共有化、全体の方向付けを行っています。
　

　2011年6月8日にマイクロマシンセンター・テクノサロンにおいてＨ２３年度、第一回のTIA-NMEMS WG（今仲委員長）が企業と産業技術総合研究所からの委員、顧問の先生方、オブザーバーとして経済産業省、内閣府の方々と事務局を合わせて総勢24名で開催されました。第一回目は、
・6月2日に開催された第5回つくばナノテク拠点運営会議の報告
・Ｈ22年度のTIA-NMEMS WGの活動報告
・Ｈ23年度のTIA-NMEMS WGの活動計画
・ＮＭＥＭＳ研究拠点の震災状況、復旧状況
・TIA-nano　推進協議会の発足
・筑波大学、社会人のための早期修了プログラム
・ＮＭＯＩＣの準備状況
が報告されました。
　

　トピックスとして
・第5回つくばナノテク拠点運営会議にて、集積マイクロシステム研究センターにて震災前に実施されたセンサーネットワークを使ったクリーンルームの節電の事例が話題に上ったこと。
・ＮＭＥＭＳ研究拠点での最先端装置の震災による影響は軽微で7月から稼働する予定であること。影響のあった廃液設備やユーティリティの復旧が急ピッチで進んでいること。
・ＭＮＯＩＣに大きな期待が寄せられていること。
でした。今後も、“ＭＥＭＳの波”でご紹介していきたいと考えています。