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2011年5月13日 (金)

マイクロマシンセンター標準化事業の動き

 マイクロマシンセンターではMEMS関連の標準化を進めています。MEMS関連の国際標準はIECのTC47(半導体デバイス専門委員会)の中のSC47F(MEMS分科委員会)で審議されています。我が国はSC47Fの幹事国として積極的な役割を務めていますが、わが国の活動状況は以下の通りです。
<我が国から提案し、国際標準として成立>
・MEMS用語集(IEC62047-1)
・薄膜材料引張試験法(IEC62047-2)
・引張試験用標準試料(IEC62047-3)
・薄膜材料疲労試験法(IEC62047-6)
<我が国が提案し、審議中>
・共振振動疲労試験法
・構造体接合試験法
・曲げ試験法
<新たに提案及び提案準備中>
・曲げ試験用標準試料
・電子コンパス
・Angular rate sensor(ジャイロ)
・形状計測法(開発中)

 最近活発な活動をしているのが韓国です。MEMS通則がIEC62047-4として国際標準となっていますが、以下の提案が審議中です。
・RF MEMSスイッチ
・FBARフィルター
・薄膜曲げ引張試験法
・ウエハー・ツーウエハー接合試験法
・マイクロピラー圧縮試験法
・熱膨張係数試験法
・金属薄膜成形限界測定法
・バルジ試験法

 また、これまで議論には参加していましたが具体的な提案がなかった中国から標準の提案予定が表明されています。

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